專利名稱：修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明提供一種修補(bǔ)缺陷(defect)的方法，尤指一種利用導(dǎo)電材料與激光光束修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法。
背景技術(shù)：
隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，平面顯示器(flat panel display，F(xiàn)PD)的應(yīng)用以及需求不斷擴(kuò)大，其中等離子體顯示器(plasma display panet，PDP)由于具有體積小、大尺寸及視角廣等特點(diǎn)，因此已成為平面顯示器中極具發(fā)展?jié)摿Φ漠a(chǎn)品。
等離子體顯示器主要包含有一前基板(front substrate)，一后基板(backsubstrate)，一電離氣體(未顯示)填充于前基板與后基板之間用來(lái)產(chǎn)生紫外線，以及多對(duì)彼此平行的維持電極(sustain electrode)設(shè)置于前基板表面，作為放電用。前基板上另包含有多條輔助電極(bus electrode)，分別電連接于各維持電極上。后基板上則包含有多個(gè)定址電極(address electrode)，其方向與各維持電極垂直，以及多個(gè)阻隔壁(rib)，其方向與各定址電極平行，以及一螢光層涂布于各阻隔壁側(cè)壁及各定址電極上。其中，任相鄰的二阻隔壁與其上方相對(duì)應(yīng)的二維持電極形成一放電單元(discharge cell)作為發(fā)光之用。一般而言，等離子體顯示器是由數(shù)十萬(wàn)個(gè)約數(shù)百微米的放電單元排列組合而成，其發(fā)光原理是給予該對(duì)維持電極一啟動(dòng)電壓，使填充于前基板與后基板間電離氣體放電而產(chǎn)生紫外線，當(dāng)紫外線照射不同螢光層時(shí)，便能使各放電單元的螢光層分別發(fā)出紅色、綠色與藍(lán)色光作為顯示用。
由以上可知，等離子體顯示器能否正常運(yùn)作其中一重要因素在于每一放電單元的維持電極對(duì)是否可正常放電，使得電離產(chǎn)生紫外線。而維持電極無(wú)法放電的原因往往是因?yàn)樵陔姌O圖案的制作過(guò)程中，因?yàn)榉N種因素使得電極圖案產(chǎn)生缺陷所造成。此外，由于維持電極的啟動(dòng)電壓太高會(huì)容易造成等離子體顯示器過(guò)熱并導(dǎo)致元件壽命減短，因此在電極圖案設(shè)計(jì)上也不斷推陳出新，以期能夠降低維持電極的啟動(dòng)電壓，在此前提下電極圖案復(fù)雜度也相對(duì)提高，因此電極圖案的制作更加復(fù)雜。以維持電極為例，維持電極的材料為透明導(dǎo)電材料，如氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)等，其制作方法一般是先以濺鍍方式將透明導(dǎo)電材料形成于前基板表面，然后利用一掩模暨蝕刻工藝定義出電極圖案。然而在電極圖案精密度不斷提升、線寬愈來(lái)愈小的情形下，電極圖案很容易因微粒子(particle)的存在，或是掩模上的刮痕產(chǎn)生缺陷，造成維持電極在給予預(yù)定的啟動(dòng)電壓后無(wú)法穩(wěn)定放電，或者是造成維持電極在未給予啟動(dòng)電壓的情形下異常放電的情形。
等離子體顯示器的電極圖案缺陷導(dǎo)致電極放電效果不佳，而使等離子體顯示器顯示效果惡化，然而目前對(duì)于在制作電極圖案時(shí)所造成的缺陷并無(wú)相關(guān)解決方法。廠商往往采用較寬松的品管標(biāo)準(zhǔn)，藉以提高良率避免大量提高成本，但即使如此，仍有相當(dāng)比例的等離子體顯示器因?yàn)殡姌O圖案缺陷過(guò)多而嚴(yán)重影響等離子體顯示器品質(zhì)，甚至報(bào)廢，嚴(yán)重影響等離子體顯示器的產(chǎn)能。因此對(duì)于目前成本極高的等離子體顯示器來(lái)說(shuō)，如何解決電極圖案缺陷以提升電極放電的穩(wěn)定性，便是目前等離子體顯示器研發(fā)上相當(dāng)重要課題。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的主要目的在于提供一種修補(bǔ)等離子體顯示器電極圖案缺陷的方法，以解決上述電極圖案缺陷所造成的問(wèn)題。
本發(fā)明提供一種修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法。該方法包含有進(jìn)行一檢測(cè)程序，以檢測(cè)該等離子體顯示器上的電極圖案是否具有缺陷，進(jìn)行一第一修補(bǔ)程序，以填補(bǔ)該電極圖案的凹陷部分，以及進(jìn)行一第二修補(bǔ)程序，以去除該電極圖案的突出部分。其中在該第一修補(bǔ)程序中，是利用一導(dǎo)電漿料來(lái)填補(bǔ)該電極圖案的凹陷部分，而在該第二修補(bǔ)程序中，是利用一激光光束(laser beam)來(lái)去除該電極圖案的突出部分，使等離子體顯示器的電極圖案發(fā)揮穩(wěn)定放電功能。
由于本發(fā)明修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法，利用一第一修補(bǔ)程序以導(dǎo)電漿料填補(bǔ)電極圖案的凹陷部分，并利用一第二修補(bǔ)程序以激光光束去除該電極圖案的突出部分，能在電極圖案因制作過(guò)程中無(wú)法避免的污染或其他因素產(chǎn)生缺陷后進(jìn)行有效的修補(bǔ)，避免等離子體顯示器因少數(shù)維持電極無(wú)法正常放電影響整體顯示效果。


為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖。然而附圖僅供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制，其中圖1為本發(fā)明修補(bǔ)電極圖案方法的流程圖；圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的示意圖；圖3為本發(fā)明第二實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的示意圖；圖4為本發(fā)明第三實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的示意圖；以及圖5為本發(fā)明第四實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的示意圖。
附圖中的附圖標(biāo)記說(shuō)明如下10電極圖案12透明電極14輔助電極16凹陷部分17斷線部分18導(dǎo)電漿料20凹陷部分30電極圖案32透明電極34輔助電極36突出部分100開始110進(jìn)行一檢測(cè)程序120判斷電極圖案是否有缺陷130進(jìn)行一第一修補(bǔ)程序140進(jìn)行一第二修補(bǔ)程序150結(jié)束具體實(shí)施方式
請(qǐng)參考圖1，圖1為本發(fā)明修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法的流程圖。如圖1所示，本發(fā)明修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法包含有下列步驟步驟100開始；步驟110進(jìn)行一檢測(cè)程序，檢測(cè)等離子體顯示器的電極圖案；步驟120判斷電極圖案是否有缺陷，若有缺陷則進(jìn)行修補(bǔ)，若無(wú)則結(jié)束修補(bǔ)流程；步驟130進(jìn)行一第一修補(bǔ)程序，以填補(bǔ)電極圖案的凹陷部分；
步驟140進(jìn)行一第二修補(bǔ)程序，以去除電極圖案的突出部分；以及步驟150結(jié)束。
如上所述，本發(fā)明修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法是于等離子體顯示器電極圖案制作完成后進(jìn)行一檢測(cè)程序，利用光學(xué)檢測(cè)或是電檢測(cè)方式判斷電極圖案是否有缺陷，若電極圖案具有缺陷則進(jìn)行后續(xù)修補(bǔ)程序，若電極圖案無(wú)缺陷則結(jié)束修補(bǔ)程序，接著進(jìn)行第一修補(bǔ)程序，填補(bǔ)電極圖案的破孔、不完全電連接或斷線等凹陷部分，并進(jìn)行一第二修補(bǔ)程序，去除電極圖案的突出部分。其中，該第一修補(bǔ)程序是利用一導(dǎo)電材料，如銀漿料(silverpaste)、金漿料、銀膠、含有ITO或IZO等透明導(dǎo)電材質(zhì)的漿料等，涂抹在該電極圖案的破孔、不完全電連接或斷線等凹陷部分，使其恢復(fù)或接收原始的電極圖案，以達(dá)到正常放電功能，而第二修補(bǔ)程序則是利用一激光光束將電極圖案突出或不該存在的部分切除，使維持電極保持正常的放電間隙(discharge gap)，避免等離子體顯示器的放電單元產(chǎn)生不正常的放電情形。
請(qǐng)參考圖2，圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案10的示意圖。如圖2所示，電極圖案10為一等離子體顯示器的維持電極，包含有一封透明電極12，且各透明電極12上并連接有一輔助電極14，用來(lái)增加透明電極12的導(dǎo)電性，以及一異常的破孔等凹陷部分16。根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的方法，當(dāng)進(jìn)行檢測(cè)程序或是電檢測(cè)程序并檢測(cè)出電極圖案10包含有凹陷部分16時(shí)，本發(fā)明即利用一導(dǎo)電漿料18，如上述的銀漿料(silverpaste)、ITO漿料、IZO漿料、金漿料或銀膠等，涂抹在電極圖案10的凹陷部分16，以利用導(dǎo)電漿料18來(lái)填補(bǔ)凹陷部分16，使得電極圖案10恢復(fù)成完整的電極圖案，進(jìn)而發(fā)揮正常導(dǎo)電放電功能。
請(qǐng)參考圖3，圖3為本發(fā)明第二實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案10的示意圖。如圖3所示，電極圖案10為一等離子體顯示器的維持電極，包含有一對(duì)輔助電極14，多個(gè)連接于該對(duì)輔助電極14上相對(duì)的T型透明電極12，以及異常的電極斷線部分17。在本實(shí)施例中的透明電極12的形狀及排列是為了使透明電極12的放電功能更穩(wěn)定，但相對(duì)地在制作過(guò)程中容易產(chǎn)生如圖3所示的異常斷線部分17。同樣地根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的方法，當(dāng)進(jìn)行檢測(cè)程序或是電檢測(cè)程序并檢測(cè)出電極圖案10包含有斷線部分17時(shí)，本發(fā)明即利用一導(dǎo)電漿料18，如上述的銀漿料、ITO漿料、IZO漿料、金漿料或銀膠等，涂抹在電極圖案10的斷線部分17，利用導(dǎo)電漿料18來(lái)填補(bǔ)斷線部分17，使得電極圖案10恢復(fù)成完整的電極圖案，進(jìn)而發(fā)揮正常導(dǎo)電放電功能。
如上所述，利用導(dǎo)電漿料18將電極圖案10的凹陷部分16或斷線部分17完整填補(bǔ)，可有效修補(bǔ)電極圖案10，并使等離子體顯示器的電極發(fā)揮正常放電功能，然而由于導(dǎo)電漿料18一般是由包含有銀或金等透光度不佳的金屬材料，所以利用導(dǎo)電漿料18將完整填補(bǔ)電極圖案的凹陷部分16或斷線部分17雖然可使電極發(fā)揮正常功能，但若凹陷部分16或斷線部分17的面積較大，則導(dǎo)電漿料18可能會(huì)影響等離子體顯示器放電單元的透光度，造成顯示亮度不足。因此在本發(fā)明第三實(shí)施例中利用部分填補(bǔ)的方式來(lái)修復(fù)電極圖案10的凹陷部分16，以期在不影響放電單元透光度的情形下，使電極發(fā)揮正常放電功能，至于電極圖案10的斷線部分17的部分修補(bǔ)方法，與凹陷部分16的修補(bǔ)方法，以下不多作贅述。
請(qǐng)參考圖4，圖4為本發(fā)明第三實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案10的示意圖。如圖4所示，電極圖案10為一等離子體顯示器的維持電極，包含有一對(duì)透明電極12，且透明電極12上均連接有一輔助電極14，用來(lái)增加透明電極12的導(dǎo)電性，以及一異常的凹陷部分16。根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的方法，當(dāng)進(jìn)行檢測(cè)程序時(shí)檢測(cè)出電極圖案10包含有凹陷部分16時(shí)，本發(fā)明即利用一導(dǎo)電漿料18，涂抹在電極圖案10的凹陷部分16，以利用導(dǎo)電漿料18填補(bǔ)凹陷部分16來(lái)使電極圖案10恢復(fù)完整，達(dá)到正常放電功能。其中，與本發(fā)明第一實(shí)施例主要不同之處在于，在本發(fā)明第三實(shí)施例中，為避免導(dǎo)電漿料18影響等離子體顯示器放電單元透光度，故采用部分填補(bǔ)的方式填補(bǔ)凹陷部分16，來(lái)修補(bǔ)電極圖案10。如圖4所示，電極圖案10的凹陷部分16僅有部分區(qū)域是以導(dǎo)電漿料18加以填補(bǔ)，形成一長(zhǎng)條狀修補(bǔ)線條，如此不僅可恢復(fù)電極的放電功能，又可兼顧透光度。另外如圖4中所示的另一凹陷部分20由于面積較大，故利用導(dǎo)電漿料18填補(bǔ)出二長(zhǎng)條狀修補(bǔ)線條，使電極正常放電。此外值得注意的是在本發(fā)明的第三實(shí)施例中，由于是利用部分修補(bǔ)的方式修補(bǔ)電極圖案10，因此在進(jìn)行檢測(cè)程序110時(shí)，即先判斷出電極圖案10凹陷部分的種類，使得在進(jìn)行第一修補(bǔ)程序130時(shí)即可調(diào)整導(dǎo)電漿料18填補(bǔ)的數(shù)量與形狀，在不影響等離子體顯示器透光率的前提下，有效修補(bǔ)電極圖案10，使電極發(fā)揮正常放電功能。
請(qǐng)參考圖5，圖5為本發(fā)明第四實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案30的示意圖。如圖5所示，電極圖案30為一等離子體顯示器的維持電極，包含有一對(duì)透明電極32，且透明電極32上并連接有一輔助電極34，用來(lái)增加透明電極32的導(dǎo)電性，以及異常的突出部分36。其中透明電極32上的突出部分36可能會(huì)縮短維持電極的放電間隙造成放電不穩(wěn)定，或是接觸到相對(duì)的透明電極32形成短路，而導(dǎo)致等離子體顯示器放電單元持續(xù)放電，使得等離子體顯示器螢?zāi)簧袭a(chǎn)生亮點(diǎn)。根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例修補(bǔ)電極圖案的方法，當(dāng)進(jìn)行檢測(cè)程序時(shí)檢測(cè)出電極圖案30包含有突出部分36時(shí)，本發(fā)明即利用一激光光束去除電極圖案30的突出部分36，避免電極產(chǎn)生異常放電。
等離子體顯示器的電極圖案由于微粒污染等因素容易產(chǎn)生缺陷，再加上電極圖案設(shè)計(jì)日益復(fù)雜，使得電極圖案缺陷產(chǎn)生的比例相對(duì)提高，且等離子體顯示器的成本昂貴，生產(chǎn)良率對(duì)于制造成本影響相當(dāng)大，因此本發(fā)明提供一種修補(bǔ)電極圖案的方法，包含有進(jìn)行一檢測(cè)程序，以檢測(cè)該等離子體顯示器上的電極圖案缺陷，進(jìn)行一第一修補(bǔ)程序，以填補(bǔ)該電極圖案的凹陷部分，以及進(jìn)行一第二修補(bǔ)程序，以去除該電極圖案的突出部分。亦即分別利用一導(dǎo)電漿料填補(bǔ)電極圖案凹陷部分，以及利用一激光光束去除電極圖案突出部分，因此可有效修補(bǔ)電極圖案上不同種類的缺陷，使電極發(fā)揮正常放電功能。而本發(fā)明的方法亦可合理地應(yīng)用在等離子體顯示器的輔助電極(bus electrode)以及定址電極(address electrode)，甚至是其他光電顯示器的電極修補(bǔ)工藝。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求書所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明專利的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種缺陷修補(bǔ)的方法，其用來(lái)修補(bǔ)一基板上的一電極圖案的缺陷，該方法包含有進(jìn)行一檢測(cè)程序，以檢測(cè)該基板上的該電極圖案是否具有缺陷；以及進(jìn)行一第一修補(bǔ)程序，以修補(bǔ)該電極圖案的缺陷。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該電極圖案是一等離子體顯示器的維持電極圖案。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中該維持電極圖案的材料包含有一透明導(dǎo)電材料或一金屬導(dǎo)電材料。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該電極圖案的缺陷包含有破孔、不完全電連接或斷線等凹陷部分。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中該第一修補(bǔ)程序利用一導(dǎo)電材料來(lái)填補(bǔ)該凹陷部分。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中該第一修補(bǔ)程序完整地填補(bǔ)該凹陷部分。
7.如權(quán)利要求5所述的方法，其中該第一修補(bǔ)程序部分地填補(bǔ)該凹陷部分。
8.如權(quán)利要求5所述的方法，其中該導(dǎo)電材料包含有銀漿料、氧化銦錫漿料、氧化銦鋅漿料、金漿料，或銀膠。
9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該電極圖案的缺陷包含有一突出部分。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，還包含有一第二修補(bǔ)程序，且該第二修補(bǔ)程序利用一激光光束去除該突出部分。
11.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該檢測(cè)程序包含有光學(xué)檢測(cè)程序或電檢測(cè)程序。
12.一種缺陷修補(bǔ)的方法，其用來(lái)修補(bǔ)一等離子體顯示器上的一電極圖案的缺陷，該電極圖案的缺陷包含有一第一缺陷與一第二缺陷，該方法包含有進(jìn)行一檢測(cè)程序，以檢測(cè)該等離子體顯示器上的該電極圖案的缺陷；進(jìn)行一第一修補(bǔ)程序，以修補(bǔ)該第一缺陷；以及進(jìn)行一第二修補(bǔ)程序，以去除該第二缺陷。
13.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該電極圖案的材料包含有一透明導(dǎo)電材料或一金屬導(dǎo)電材料。
14.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該第一缺陷包含有破孔、不完全電連接或斷線等凹陷部分。
15.如權(quán)利要求13所述的方法，其中該第一修補(bǔ)程序利用一導(dǎo)電材料來(lái)填補(bǔ)該電極圖案的該凹陷部分。
16.如權(quán)利要求14所述的方法，其中該導(dǎo)電材料包含有銀漿料、氧化銦錫漿料、氧化銦鋅漿料、金漿料，或銀膠。
17.如權(quán)利要求14所述的方法，其中該第一修補(bǔ)程序利用該導(dǎo)電材料完整地填補(bǔ)該凹陷部分。
18.如權(quán)利要求14所述的方法，其中該第一修補(bǔ)程序利用該導(dǎo)電材料部分地填補(bǔ)該凹陷部分。
19.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該第二缺陷是該電極圖案的一突出部分。
20.如權(quán)利要求18所述的方法，其中該第二修補(bǔ)程序利用一激光光束去除該突出部分。
21.如權(quán)利要求18所述的方法，其中該檢測(cè)程序包含有光學(xué)檢測(cè)程序或電檢測(cè)程序，且該電極圖案包含有維持電極、輔助電極以及定址電極。
全文摘要
本發(fā)明提供一種修補(bǔ)電極圖案缺陷的方法。該方法包含有進(jìn)行一檢測(cè)程序，以檢測(cè)該等離子體顯示器上的電極圖案是否具有缺陷，進(jìn)行一第一修補(bǔ)程序，以填補(bǔ)該電極圖案的凹陷部分，以及進(jìn)行一第二修補(bǔ)程序，以去除該電極圖案的突出部分。其中在該第一修補(bǔ)程序中，利用一導(dǎo)電漿料來(lái)填補(bǔ)該電極圖案的凹陷部分，而在該第二修補(bǔ)程序中，利用一激光光束來(lái)去除該電極圖案的突出部分，使電極發(fā)揮穩(wěn)定放電功能。
文檔編號(hào)H01J9/02GK1567509SQ0314868
公開日2005年1月19日 申請(qǐng)日期2003年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月17日
發(fā)明者吳逸人 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司