專利名稱：等離子顯示器的不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種等離子顯示器的阻隔壁結(jié)構(gòu)的制作方法，特別是涉及一種等離子顯示器的不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)的制作方法。
等離子顯示器(Plasma Display Panel，簡稱PDP)是一種薄型的顯示器，其主要的特色在于可以做到超大尺寸、超薄厚度的屏幕，以節(jié)省大量的屏幕空間。等離子顯示器的發(fā)光原理與日光燈類似，是在真空玻璃槽中注入惰性氣體，以電壓加壓的方式使惰性氣體產(chǎn)生電槳效應而放出紫外線，此時紫外線再照射到涂布于玻璃槽壁表面上的熒光材質(zhì)，可以使熒光材質(zhì)激發(fā)出紅色、綠色或藍色的可見光。因此，等離子顯示器的屏幕是由數(shù)十萬個能夠自行發(fā)光的單位組合而成，每一個發(fā)光單位又包含紅、綠、藍(R、G、B)三種顏色的細小燈泡，經(jīng)由三原色巧妙的組合而產(chǎn)生不同的顏色，然后形成了我們所看到的畫面。
請參考

圖1，其顯示現(xiàn)有等離子顯示器10的示意圖?，F(xiàn)有等離子顯示器10的結(jié)構(gòu)主要由平行設置的一上玻璃基板12與一下玻璃基板14所構(gòu)成，而上、下玻璃基板12、14之間存在一間隙，充入惰性氣體(如Ar、Xe)以形成一放電空間16。上玻璃基板12表面上包括多組橫向電極，每一組橫向電極包括一第一維持電極(sustaining electrode)18與一第二維持電極20，而第一、第二維持電極18、20均各自包括一透明電極181、201以及一輔助電極(bus electrode)182、202。此外，上玻璃基板12表面上包括一介電層24覆蓋住橫向電極，以及一保護層26覆蓋住介電層24。
下玻璃基板14上設置有多個阻隔壁(barrier rib)28，平行且等距地設置于下玻璃基板14表面上，用來將放電空間16分隔成多個放電空間組，其中每一放電空間組定義為包括一紅色放電空間16R、一綠色放電空間16G以及一藍色放電空間16B。等離子顯示器10亦包含多個縱向電極22則是置于兩阻隔壁28之間的下基板14表面上，用來作為尋址電極(addresselectrode)。此外，一紅色熒光層29R涂布于紅色放電空間16R內(nèi)的下玻璃基板14表面與阻隔壁28側(cè)壁上；一綠色熒光層29G涂布于綠色放電空間16G內(nèi)的下玻璃基板14表面與阻隔壁28側(cè)壁上；一藍色熒光層29B涂布于藍色放電空間16B內(nèi)的下玻璃基板14表面與阻隔壁28側(cè)壁上。
等離子顯示器10的操作方式，是于電極間通入一驅(qū)動電壓，利用高電壓將放電空間16內(nèi)的惰性氣體解離而產(chǎn)生紫外光，則紫外光會打在紅色、綠色、藍色熒光層29R、29G、29B上，以發(fā)出一般人可看見的紅、藍、綠三種顏色，三原色經(jīng)不同比例混合后，可見光經(jīng)由上玻璃基板12傳達至一般人的視線中。
考慮到熒光層29被紫外光激起發(fā)出紅、綠、藍三原色的發(fā)光特性與色純度，目前采用的三種熒光物質(zhì)組成各有不同。舉例來說，紅色熒光材質(zhì)可為(Y，Gd)BO3Eu+3與Y2O3Eu，綠色熒光材質(zhì)可為Zn2SiO4Mn與BaAl12O19Mn，藍色熒光材質(zhì)可為BaMgAl14O23Eu+2與SrMg(SiO4)2Eu+2。然而，目前使用的材質(zhì)有一定的限制，例如藍色熒光材質(zhì)使用壽命過短，綠色熒光材質(zhì)的殘光時間太長等，使現(xiàn)有等離子顯示器10的色溫(colortemperature)過低，這些問題均會影響到等離子顯示器的顯示品質(zhì)。為了改善等離子顯示器10的顯示品質(zhì)，現(xiàn)有方法是調(diào)整紅色放電空間16R、綠色放電空間16G與藍色放電空間16B之間的開口寬度比例，以使藍色放電空間16B增加至最大，進而增加藍色熒光層29B的表面積，以改善藍光問題。此外，等離子顯示器的色溫亦能提高，顯示品質(zhì)亦有改善。不過，此種設計方式會過度縮小紅色放電空間16R的寬度，使得阻隔壁28的制作、紅色熒光層29R的涂布工藝的困難度提高，在封合上玻璃基板12與下玻璃基板14時也會產(chǎn)生對位的問題。因為紅色放電空間16R的開口寬度過窄，也很容易使放電的電離氣體跨越(cross talk)至相鄰的放電空間中產(chǎn)生干擾，進而影響等離子顯示器10的電性表現(xiàn)，反而無法確保等離子顯示器10的顯示品質(zhì)。
有鑒于此，本發(fā)明則提出一種不對稱阻隔壁的制作方法，于相同開口寬度的條件下，藉由制作不同放電空間的深度來調(diào)整不同放電空間的電容值，以達到改善色溫的目的。
下面結(jié)合附圖來描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。附圖中圖1顯示現(xiàn)有等離子顯示器的示意圖。
圖2顯示本發(fā)明等離子顯示器的示意圖。
圖3A至3I顯示本發(fā)明制作不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)的方法的示意圖。
圖4A至4C顯示本發(fā)明另一種制作不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)的方法的示意圖。
附圖標號的說明等離子顯示器～30；上玻璃基板～32；下玻璃基板～34； 紅色放電空間～36R；綠色放電空間～36G； 藍色放電空間～36B；第一維持電極～38；第二維持電極～40；尋址電極～42；第二介電層～44；第一介電層～45； 保護層～47；第一阻隔壁結(jié)構(gòu)～461； 第二阻隔壁結(jié)構(gòu)～462；第三阻隔壁結(jié)構(gòu)～463； 第四阻隔壁結(jié)構(gòu)～464；底層465、466；紅色熒光層～48R；綠色熒光層～48G； 藍色熒光層～48B；阻隔壁材料層～50；第一感光性干膜～51；底部圖案定義層～52、521、522、523；第二感光性干膜～53；層間圖案定義層～54、541、542、543；第三感光性干膜～55；頂部圖案定義層～56、561、562；第一掩模～581、581’；第二掩?！?82；第三掩?！?83； 淺溝～601、602、603；深渠溝～621、622、623。
請參考圖2，其顯示本發(fā)明等離子顯示器30的示意圖。本發(fā)明等離子顯示器30的結(jié)構(gòu)主要由平行設置的一上玻璃基板32與一下玻璃基板34所構(gòu)成，而上、下玻璃基板32、34之間存在一間隙，充入惰性氣體以形成一放電空間36。上玻璃基板32表面上包括多組橫向電極，每一組橫向電極包括一第一維持電極38與一第二維持電極40，一第一介電層45覆蓋住橫向電極，以及一保護層47覆蓋住介電層。
下玻璃基板34上包括多個縱向的尋址電極42，一第二介電層44覆蓋住尋址電極42，以及多個阻隔壁結(jié)構(gòu)46平行且等距的方式設置于第二介電層44表面上，隔開形成多個放電空間組。其中，該阻隔壁結(jié)構(gòu)至少包括一第一阻隔壁結(jié)構(gòu)461、一第二阻隔壁結(jié)構(gòu)462、一第三阻隔壁結(jié)構(gòu)463、以及一第四阻隔壁結(jié)構(gòu)464。第一阻隔壁結(jié)構(gòu)461與第二阻隔壁結(jié)構(gòu)462之間定義一藍色放電空間36B，且第二介電層44的表面曝露于其中。第二阻隔壁結(jié)構(gòu)462、第三阻隔壁結(jié)構(gòu)463與一較薄的底層465，則定義出一綠色放電空間36G。第三阻隔壁結(jié)構(gòu)463、第四阻隔壁結(jié)構(gòu)464與一較厚的底層466，則定義出一紅色放電空間36R。雖然第一、第二、第三、第四阻隔壁結(jié)構(gòu)461～464的側(cè)壁的高度、間距均相同，但是底層465、466厚度不同，因此藍色放電空間36B最大，綠色放電空間36G次的，紅色放電空間36R最小，可以藉此有效提高藍色放電空間36B的電容值，并降低紅色放電空間36R的電容值。
由上述可知，將一藍色熒光層48B涂布于藍色放電空間36B內(nèi)的第一阻隔壁與第二阻隔壁461、462表面上時，藍色熒光層48B的涂布面積會最大，而將一綠色熒光層48G涂布于綠色放電空間36G內(nèi)的第二阻隔壁與第三阻隔壁462、463表面上時，綠色熒光層48G的涂布面積會次的。至于將一紅色熒光層48R涂布于紅色放電空間36R內(nèi)的第三阻隔壁結(jié)構(gòu)與第四阻隔壁463、464表面上時，紅色熒光層48R的涂布面積將會最小。如此一來，藉由不對稱的阻隔壁結(jié)構(gòu)46來調(diào)整不同放電空間36的深度與表面積，可以有效改善藍光與綠光的問題，以提升等離子顯示器30的色溫。
第一優(yōu)選實施例請參閱圖3A至3I，其顯示本發(fā)明不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)46的制作方法的示意圖。如圖3A所示，提供下玻璃基板34，其表面上包括多個平行排列的尋址電極42，以及第二介電層44覆蓋住尋址電極42與下玻璃基板34的表面。首先，使用涂布或是絲網(wǎng)印刷(screen-print)方法于第二介電層44表面上形成一定厚度的玻璃材料，用來作為一阻隔壁材料層50。然后，如第3B與3C圖所示，利用壓膜的方式，于阻隔壁材料層50上形成一第一感光性干膜51，再使用一第一光掩模(未顯示)對第一感光性干膜51進行曝光與顯影工藝，以于阻隔壁材料層50上定義形成多組底部圖案層52。其中，每一組底部圖案層52由寬度相同、等間距(D)且平行排列的一第一底部圖案層521、第二底部圖案層522、第三底部圖案層523所構(gòu)成，而且第一、第二、第三底部圖案層521～523的位置均與尋址電極42的位置交錯開來，以使尋址電極42上方的阻隔壁材料層50的表面曝露出來。
接著，如第3D與3E圖所示，利用壓膜的方式，于阻隔壁材料層50與底部圖案層52表面上形成一第二感光性干膜53，然后使用一第二光掩模(未顯示)對第二感光性干膜53進行曝光與顯影工藝，以分別于多組底部圖案層52上定義形成多組層間圖案層54。其中，每一組層間圖案層54由寬度不同、不等距且平行排列的一第一層間圖案層541、第二層間圖案層542、第三層間圖案層543所構(gòu)成。第一層間圖案層541的寬度較第一底部圖案層521的寬度小，且左側(cè)對齊設置于第一底部圖案層521的上方，而使第一底部圖案層521的右側(cè)部分曝露出來；第二層間圖案層542的寬度較第二底部圖案層522的寬度小，且右側(cè)對齊設置于第二底部圖案層522的上方，而使第二底部圖案層522的左側(cè)部分曝露出來；第三層間圖案層543的寬度約略與第三底部同案層523的寬度相當，左右對齊設置于第三底部圖案層523的上方。
后續(xù)如圖3F與3G所示，利用壓膜的方式，于阻隔壁材料層50、底部圖案層52與層間圖案層54表面上形成一第三感光性干膜55，然后使用一第三光掩模(未顯示)對第三感光性干膜55進行曝光與顯影工藝，以分別于多組層間圖案層54上定義形成多組頂部圖案層56。其中，每一組頂部圖案層56由寬度不同且平行排列的一第一頂部圖案層561以及一第二頂部圖案層562所構(gòu)成。第一頂部圖案層561的寬度較第一層間圖案層541的寬度小，且左側(cè)對齊設置于第一層間圖案層541的上方，而使第一層間圖案層541的右側(cè)部分曝露出來；第二頂部圖案層562的寬度較第三層間圖案層543的寬度小，右側(cè)對齊設置于第三層間圖案層543的上方，而使該第三層間圖案層543的左側(cè)部分曝露出來。這樣，阻隔壁材料層50上形成一組用于定義阻隔壁形狀的掩模，其中第一底部、層間、頂部圖案層521、541、561構(gòu)成一第一掩模581；第二底部、層間圖案層522、542構(gòu)成一第二掩模582；第三底部、層間、頂部圖案層523、543、562構(gòu)成一第三掩模583。而第一掩模581與第二掩模582之間形成一第一淺溝601，第二掩模582與第三掩模583之間形成一第二淺溝602，第三掩模583與第一掩模581之間形成一第三淺溝603，其中第一、第二、第三淺溝601～603的底部寬度相等(D＝D＝D)，而第一、第二、第三淺溝601～603的側(cè)壁高度不相等(h1＜h2＜h3)。
其后，如第3H圖所示，進行一噴砂(sandblasting)工藝，將未被第一、第二、第三掩模581～583所覆蓋的阻隔壁材料層50去除，以分別于第一、第二、第三淺溝601～603內(nèi)形成一第一、第二、第三深渠溝621～623，直至第一深渠溝621曝露出第二介電層44的表面。最后，如第3I圖所示，進行一干膜剝離工藝，同時將第一、第二、第三掩模581～583完全剝除，而殘留的阻隔壁材料層50便成為本發(fā)明的不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)46。由于第一、第二、第三掩模581～583的側(cè)壁形成階梯狀而具有不同的厚度，使噴砂工藝的砂阻受到不同程度的阻擋，噴砂強度因而遞減。因此當?shù)谝簧钋?21底部曝露出第二介電層44的表面時，第二、第三深渠溝622、623的底部仍為阻隔壁材料層50，使得第一深渠溝621的底部位置最低，第二深渠溝622的底部位置次的，第三深渠溝623的底部位置最高。
此外，在第三掩模旁另形成下一組掩模中的第一掩模581’，于噴砂工藝后可定義形成一第四阻隔壁464。如此一來，圍繞第一深渠溝621側(cè)壁的第一、第二阻隔壁461、462可定義一藍色放電空間36B；圍繞第二深渠溝622側(cè)壁的第二、第三阻隔壁462、463與底部465可定義一綠色放電空間36G；圍繞第三深渠溝623側(cè)壁的第三、第四阻隔壁463、464與底部466可用來定義一紅色放電空間36R。由于第三阻隔壁463與第四阻隔壁464包括一較厚的底層466，故其表面積最小，而第二阻隔壁結(jié)構(gòu)462包括一較薄的底層465，故其表面積次之，而第一阻隔壁461結(jié)構(gòu)沒有底層，故其表面積最大。另外，依據(jù)工藝與熒光材質(zhì)的考慮，可以將綠色放電空間36G的大小設計為與藍色放電空間36B相等或更大。除此的外，本發(fā)明另外提供一種制作不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)的方法。請參考圖4A至4C，其顯示本發(fā)明另一種制作不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)46的方法。如圖4A所示，利用壓膜的方式，于阻隔壁材料層50表面上形成第一感光性干膜51，然后使用第一光掩模(未顯示)進行曝光工藝，以于第一感光性干膜51上定義多組底部圖案層52。然后，利用壓膜的方式，于第一感光性干膜51表面上形成第二感光性干膜53，然后使用第二光掩模(未顯示)進行曝光工藝，以于第二感光性干膜53上定義多組層間圖案層54。接著，利用壓膜的方式，于第二感光性干膜55表面上形成第三感光性干膜55，然后使用第三光掩模(未顯示)進行曝光工藝，以于第三感光性干膜55上定義多組頂部圖案層56。
如圖4B所示，同時對第一、第二、第三感光性干膜51、53、55進行顯影工藝，將底部、層間、頂部圖案層52、54、56以外的區(qū)域去除，以形成第一、第二、第三掩模581～583。接著，如圖4C所示，進行噴砂工藝，將未被第一、第二、第三掩模581～583所覆蓋的阻隔壁材料層50去除，以分別形成第一、第二、第三深渠溝621～623，直至第一深渠溝621曝露出第二介電層44的表面。最后，進行一干膜剝離工藝，同時將第一、第二、第三掩模581～583完全剝除，而殘留的阻隔壁材料層50便成為本發(fā)明的不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)46。第二實施例的好處在于將原有的三次顯影工藝整合為一次，可縮短工藝時間以及降低制造成本。
雖然本發(fā)明已結(jié)合一優(yōu)選實施例揭露如上，然而其并非用以限定本發(fā)明，本領域的技術人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作出各種更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍應當由后附的權利要求的范圍所界定。
權利要求
1.一種等離子顯示器(Plasma Display Panel，PDP)的不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)的制作方法，其包括下列步驟(a)提供一基板，其包括多個電極，定義形成于該基底表面上；一介電層，覆蓋住該多個電極與該基底表面；以及一阻隔壁材料層，形成于該介電層表面上；(b)于該阻隔壁材料層上定義形成多組底部圖案層，其中每一組底部圖案層包括寬度相同且等距排列的一第一底部圖案層、一第二底部圖案層以及一第三底部圖案層；(c)分別于該多組底部圖案層表面上定義形成多組層間圖案層，其中每一組層間圖案層包括一第一層間圖案層、一第二層間圖案層以及一第三層間圖案層，該第一層間圖案層左側(cè)對齊設置于該第一底部圖案層的上方而使該第一底部圖案層的右側(cè)部分曝露出來，該第二層間圖案層右側(cè)對齊設置于該第二底部圖案層的上方而使該第二底部圖案層的左側(cè)部分曝露出來，該第三層間圖案層左右對齊設置于該第三底部圖案層的上方；(d)分別于該多組層間圖案層表面上定義形成多組頂部圖案層，其中每一組頂部圖案層包括一第一頂部圖案層以及一第二頂部圖案層，該第一頂部圖案層左側(cè)對齊設置于該第一層間圖案層的上方而使該第一層間圖案層的右側(cè)部分曝露出來，該第二頂部圖案層右側(cè)對齊設置于該第三層間圖案層的上方而使該第三層間圖案層的左側(cè)部分曝露出來；(e)進行一噴砂(sandblasting)工藝，將未被該多組底部圖案層、該多組層間圖案層以及該多組頂部圖案層所覆蓋的阻隔壁材料去除，直至使部份的該介電層表面曝露出來；以及(f)進行一剝離工藝，將該多組底部圖案層、該多組層間圖案層以及該多組頂部圖案層完全去除，而存留的該阻隔壁材料層構(gòu)成多組不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)。
2.如權利要求1所述的制作方法，其中該第一底部圖案層、該第二底部圖案層以及該第三底部圖案層互相平行排列，且設置于每一電極上方的以外區(qū)域。
3.如權利要求1所述的制作方法，其中該步驟(b)包括(b1)于該阻隔壁材料層上形成一第一感光性干膜(photosensitive dryfilm)；(b2)對該第一感光性干膜進行一第一曝光工藝；以及(b3)對該第一感光性干膜進行一第一顯影工藝，將該第一感光性干膜未被曝光的區(qū)域去除，以定義形成該多組底部圖案層。
4.如權利要求3所述的制作方法，其中該步驟(c)包括(c1)于該基板表面上形成一第二感光性干膜；(c2)對該第二感光性干膜進行一第二曝光工藝；以及(c3)對該第二感光性干膜進行一第二顯影工藝，將該第二感光性干膜未被曝光的區(qū)域去除，以定義形成該多組層間圖案層。
5.如權利要求4所述的制作方法，其中該步驟(d)包括(d1)于該基板表面上形成一第三感光性干膜；(d2)對該第三感光性干膜進行一第三曝光工藝；以及(d3)對該第三感光性干膜進行一第三顯影工藝，將該第三感光性干膜未被曝光的區(qū)域去除，以定義形成該多組頂部圖案層。
6.如權利要求1所述的制作方法，其中該多組底部圖案層、該多組層間圖案層以及該多組頂部圖案層的制作方法包括于該阻隔壁材料層上形成一第一感光性干膜；對該第一感光性干膜進行一第一曝光工藝；于該第一感光性干膜上形成一第二感光性干膜；對該第二感光性干膜進行一第二曝光工藝；于該第二感光性干膜上形成一第三感光性干膜；對該第三感光性干膜進行一第三曝光工藝；以及進行一顯影工藝，將該第一感光性干膜、該第二感光性干膜以及該第二感光性干膜未被曝光的區(qū)域去除，以定義形成該多組底部圖案層、該多組層間圖案層以及該多組頂部圖案層。
全文摘要
一種等離子顯示器的不對稱阻隔壁結(jié)構(gòu)的制作方法,包括于一阻隔壁材料層上形成第一、二和三底部圖案層以及第一、二和三層間圖案層,第一層間圖案層左側(cè)對齊第一底部圖案層的上方,第二層間圖案層右側(cè)對齊第二底部圖案層上方,第三層間圖案層左右對齊第三底部圖案層的上方。形成第一和二頂部圖案層,第一頂部圖案層左側(cè)對齊第一層間圖案層上方,該第二頂部圖案層右側(cè)對齊第三層間圖案層上方。進行噴砂工藝,將未被覆蓋的阻隔壁材料去除,直至使部分介電層表面曝露。最后進行剝離工藝。
文檔編號H01J9/00GK1373491SQ0110898
公開日2002年10月9日 申請日期2001年2月28日 優(yōu)先權日2001年2月28日
發(fā)明者林建和, 周眾望 申請人:達碁科技股份有限公司