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【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種探測(cè)光平行掃描設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括： 第一反射鏡、第二反射鏡，第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)以及驅(qū)動(dòng)設(shè)備； 所述第一反射鏡固定安裝在所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)上，所述第二反射鏡固定安裝在所述第 二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)上； 所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)繞所述第一反射鏡的第一中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，以使得所述 第一反射鏡繞所述第一中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)繞所述第二反射鏡 的第二中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，以使得所述第二反射鏡繞所述第二中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)和第二轉(zhuǎn)動(dòng) 平臺(tái)同步、同向并且同速轉(zhuǎn)動(dòng)，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平行，所述第一 中軸為所述第一反射鏡兩條長(zhǎng)邊中點(diǎn)的連線，所述第二中軸為所述第二反射鏡兩條長(zhǎng)邊中 點(diǎn)的連線； 所述第一中軸的中點(diǎn)為第一軸心，所述第二中軸的中點(diǎn)為第二軸心，所述第一軸心和 所述第二軸心的連線垂直于探測(cè)光入射平面； 探測(cè)光入射至所述第一反射鏡，第一反射鏡將所述探測(cè)光反射至所述第二反射鏡，所 述第二反射鏡將所述探測(cè)光反射至探測(cè)區(qū)域，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)繞所述 第一中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，并且所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)繞所述第二中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，始終保持 所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平行，不斷改變所述探測(cè)光照射探測(cè)區(qū)域的位置，對(duì)探 測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描探測(cè)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括： 第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)以及第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)； 所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)繞所述第一中軸轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)繞所述第二中軸轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)和所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)執(zhí)行同步驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)所述第一反射鏡和所述第 二反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)的方向和角速度相同，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平行。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括： 非彈性連接設(shè)備； 所述非彈性連接設(shè)備一端與所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)固定連接，另一端與所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái) 固定連接，所述非彈性連接設(shè)備平行于所述第一軸心和所述第二軸心的連線； 所述非彈性連接設(shè)備在所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備的驅(qū)動(dòng)下，帶動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)和所述第二轉(zhuǎn) 動(dòng)平臺(tái)沿同一方向，以同一角速度同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡 平行。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于， 所述非彈性連接設(shè)備包括第一非彈性連桿以及第二非彈性連桿； 所述第一非彈性連桿的一端與所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)靠近探測(cè)區(qū)域的一端固定連接，另一 端與所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)靠近探測(cè)區(qū)域的一端固定連接； 所述第二非彈性連桿的一端與所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)遠(yuǎn)離探測(cè)區(qū)域的一端固定連接，另一 端與所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)遠(yuǎn)離探測(cè)區(qū)域的一端固定連接； 所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述第一非彈性連桿和所述第二非彈性連桿，所述第一非彈性 連桿和所述第二非彈性連桿帶動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)沿同一方向，以同 一角速度同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平行。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括： 第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述非彈性連接設(shè)備中的所述第一非彈性 連桿和所述第二非彈性連桿，以使得所述非彈性連接設(shè)備帶動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)和所述第 二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)沿同一方向，以同一角速度同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于， 所述探測(cè)光為片狀探測(cè)光，照射探測(cè)區(qū)域的不同位置的片狀探測(cè)光彼此平行，對(duì)探測(cè) 區(qū)域進(jìn)行三維掃描照射。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于， 以第一反射鏡的反射面與入射的探測(cè)光夾角為135°時(shí)，第一反射鏡和第二反射鏡的 位置作為參考位置； 參考位置上第一反射鏡和第二反射鏡的旋轉(zhuǎn)角度φ為〇,所述探測(cè)光所照射的探測(cè)區(qū) 域的位置為掃描原點(diǎn)； 所述第一反射鏡和第二反射鏡逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)后，第一反射鏡與所述參考位置的夾角為Φ 為負(fù)，第二反射鏡與所述參考位置的夾角為φ為負(fù)，掃描距離ζ為負(fù)； 所述第一反射鏡和第二反射鏡逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)后，第一反射鏡與所述參考位置的夾角為φ 為正，第二反射鏡與所述參考位置的夾角為φ為正，掃描距離ζ為正； 則掃描的最大距離ζ、軸心距d和旋轉(zhuǎn)角度φ的關(guān)系為：
所述軸心距d為所述第一軸心和所述第二軸心之間的距離。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于， 所述第二反射鏡長(zhǎng)邊長(zhǎng)度2R、軸心距d，第一反射鏡和第二反射鏡的旋轉(zhuǎn)角度φ之間的 關(guān)系為：
9. 根據(jù)權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于， 所述第一軸心和所述第二軸心的軸心距為lm。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于， 所述第二反射鏡長(zhǎng)邊長(zhǎng)度2R為0. 7m，軸心距為Im ; 則第一反射鏡和第二反射鏡能夠旋轉(zhuǎn)的角度范圍是14.45°，所述探測(cè)光能夠照射的 探測(cè)區(qū)域的掃描范圍為0. 5m。
【專利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種探測(cè)光平行掃描設(shè)備：第一反射鏡、第二反射鏡，第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)以及驅(qū)動(dòng)設(shè)備；第一反射鏡固定安裝在第一轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)上，第二反射鏡固定安裝在第二轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)上；探測(cè)光入射至第一反射鏡，第一反射鏡將探測(cè)光反射至第二反射鏡，第二反射鏡將探測(cè)光反射至探測(cè)區(qū)域，始終保持第一反射鏡與第二反射鏡平行，第一反射鏡和第二反射鏡同步、同向并且同速轉(zhuǎn)動(dòng)，不斷改變探測(cè)光照射探測(cè)區(qū)域的位置，實(shí)現(xiàn)對(duì)探測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描探測(cè)。本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的掃描設(shè)備，保證探測(cè)光在探測(cè)區(qū)域不同位置入射時(shí)，彼此水平，實(shí)現(xiàn)片狀光對(duì)不同探測(cè)區(qū)域的探測(cè)樣品的平行掃描，提高探測(cè)精度。
【IPC分類】G02B26-10
【公開號(hào)】CN204360011
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420866626
【發(fā)明人】黃真理
【申請(qǐng)人】黃真理
【公開日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2014年12月30日