一種探測光平行掃描設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種探測光平行掃描設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002] 在光學(xué)探測領(lǐng)域，光學(xué)掃描探測是當(dāng)前研宄熱點(diǎn)之一。光學(xué)掃描探測是一種動態(tài) 光學(xué)探測技術(shù)，入射光按照一定的方向和速度改變所照射的被探測區(qū)域的位置，從而實(shí)現(xiàn) 對被探測區(qū)域的不同位置的探測樣品進(jìn)行探測。
[0003] 為了實(shí)現(xiàn)對探測區(qū)域中不同位置的探測樣品的光學(xué)掃描探測，有兩種技術(shù)方案。 一種方案是保持探測光位置不變，移動探測區(qū)域。還有一種方案是保持探測區(qū)域不變，移動 探測光。通常情況下，移動探測光來掃面探測區(qū)域是更容易實(shí)現(xiàn)、更有實(shí)際應(yīng)用價值的方 案。
[0004] 目前，移動片狀光實(shí)現(xiàn)光學(xué)掃描探測時，主要采用振鏡實(shí)現(xiàn)掃描，但是，由振鏡反 射至探測區(qū)域不同位置的探測光，入射時彼此不平行，即不同探測區(qū)域的探測樣品對入射 光的反射率不同，導(dǎo)致很大誤差，影響探測精度。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005] 本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題在于提供一種探測光平行掃描設(shè)備，解決了現(xiàn)有技術(shù) 探測光在探測區(qū)域的不同位置入射時彼此不平行的問題。
[0006] 為此，本實(shí)用新型解決技術(shù)問題的技術(shù)方案是：
[0007] -種探測光平行掃描設(shè)備，所述設(shè)備包括：
[0008] 第一反射鏡、第二反射鏡，第一轉(zhuǎn)動平臺，第二轉(zhuǎn)動平臺以及驅(qū)動設(shè)備；
[0009] 所述第一反射鏡固定安裝在所述第一轉(zhuǎn)動平臺上，所述第二反射鏡固定安裝在所 述第二轉(zhuǎn)動平臺上；
[0010] 所述驅(qū)動設(shè)備驅(qū)動所述第一轉(zhuǎn)動平臺繞所述第一反射鏡的第一中軸轉(zhuǎn)動，以使得 所述第一反射鏡繞所述第一中軸轉(zhuǎn)動，所述驅(qū)動設(shè)備驅(qū)動所述第二轉(zhuǎn)動平臺繞所述第二反 射鏡的第二中軸轉(zhuǎn)動，以使得所述第二反射鏡繞所述第二中軸轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)動平臺和第二 轉(zhuǎn)動平臺同步、同向并且同速轉(zhuǎn)動，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平行，所述 第一中軸為所述第一反射鏡兩條長邊中點(diǎn)的連線，所述第二中軸為所述第二反射鏡兩條長 邊中點(diǎn)的連線；
[0011] 所述第一中軸的中點(diǎn)為第一軸心，所述第二中軸的中點(diǎn)為第二軸心，所述第一軸 心和所述第二軸心的連線垂直于探測光入射平面；
[0012] 探測光入射至所述第一反射鏡，第一反射鏡將所述探測光反射至所述第二反射 鏡，所述第二反射鏡將所述探測光反射至探測區(qū)域，所述驅(qū)動設(shè)備驅(qū)動所述第一轉(zhuǎn)動平臺 繞所述第一中軸轉(zhuǎn)動，并且所述驅(qū)動設(shè)備驅(qū)動所述第二轉(zhuǎn)動平臺繞所述第二中軸轉(zhuǎn)動，始 終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平行，不斷改變所述探測光照射探測區(qū)域的位 置，對探測區(qū)域進(jìn)行掃描探測。
[0013] 可選的，所述驅(qū)動設(shè)備包括：
[0014] 第一驅(qū)動電機(jī)以及第二驅(qū)動電機(jī)；
[0015] 所述第一驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動所述第一轉(zhuǎn)動平臺繞所述第一中軸轉(zhuǎn)動；
[0016] 所述第二驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動所述第二轉(zhuǎn)動平臺繞所述第二中軸轉(zhuǎn)動；
[0017] 所述第一驅(qū)動電機(jī)和所述第二驅(qū)動電機(jī)執(zhí)行同步驅(qū)動，驅(qū)動所述第一反射鏡和所 述第二反射鏡轉(zhuǎn)動的方向和角速度相同，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平 行。
[0018] 可選的，所述設(shè)備還包括：
[0019] 非彈性連接設(shè)備；
[0020] 所述非彈性連接設(shè)備一端與所述第一轉(zhuǎn)動平臺固定連接，另一端與所述第二轉(zhuǎn)動 平臺固定連接，所述非彈性連接設(shè)備平行于所述第一軸心和所述第二軸心的連線；
[0021] 所述非彈性連接設(shè)備在所述驅(qū)動設(shè)備的驅(qū)動下，帶動所述第一轉(zhuǎn)動平臺和所述第 二轉(zhuǎn)動平臺沿同一方向，以同一角速度同時轉(zhuǎn)動，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反 射鏡平行。
[0022] 可選的，
[0023] 所述非彈性連接設(shè)備包括第一非彈性連桿以及第二非彈性連桿；
[0024] 所述第一非彈性連桿的一端與所述第一轉(zhuǎn)動平臺靠近探測區(qū)域的一端固定連接， 另一端與所述第二轉(zhuǎn)動平臺靠近探測區(qū)域的一端固定連接；
[0025] 所述第二非彈性連桿的一端與所述第一轉(zhuǎn)動平臺遠(yuǎn)離探測區(qū)域的一端固定連接， 另一端與所述第二轉(zhuǎn)動平臺遠(yuǎn)離探測區(qū)域的一端固定連接；
[0026] 所述驅(qū)動設(shè)備同時驅(qū)動所述第一非彈性連桿和所述第二非彈性連桿，所述第一非 彈性連桿和所述第二非彈性連桿帶動所述第一轉(zhuǎn)動平臺和所述第二轉(zhuǎn)動平臺沿同一方向， 以同一角速度同時轉(zhuǎn)動，始終保持所述第一反射鏡與所述第二反射鏡平行。
[0027] 可選的，所述驅(qū)動設(shè)備包括：
[0028] 第三驅(qū)動電機(jī)，所述第三驅(qū)動電機(jī)用于驅(qū)動所述非彈性連接設(shè)備中的所述第一非 彈性連桿和所述第二非彈性連桿，以使得所述非彈性連接設(shè)備帶動所述第一轉(zhuǎn)動平臺和所 述第二轉(zhuǎn)動平臺沿同一方向，以同一角速度同時轉(zhuǎn)動。
[0029] 可選的，
[0030] 所述探測光為片狀探測光，照射探測區(qū)域的不同位置的片狀探測光彼此平行，對 探測區(qū)域進(jìn)行三維掃描照射。
[0031] 可選的，
[0032] 以第一反射鏡的反射面與入射的探測光夾角為135°時，第一反射鏡和第二反射 鏡的位置作為參考位置；
[0033] 參考位置上第一反射鏡和第二反射鏡的旋轉(zhuǎn)角度Φ為0,所述探測光所照射的探 測區(qū)域的位置為掃描原點(diǎn)；
[0034] 所述第一反射鏡和第二反射鏡逆時針旋轉(zhuǎn)后，第一反射鏡與所述參考位置的夾角 為Φ為負(fù)，第二反射鏡與所述參考位置的夾角為Φ為負(fù)，掃描距離Z為負(fù)；
[0035] 所述第一反射鏡和第二反射鏡逆時針旋轉(zhuǎn)后，第一反射鏡與所述參考位置的夾角 為Φ為正，第二反射鏡與所述參考位置的夾角為Φ為正，掃描距離Z為正；
[0036] 則掃描的最大距離Z、軸心距d和旋轉(zhuǎn)角度Φ的關(guān)系為：