曝光機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及曝光裝置，特別是涉及一種能夠提高照度的曝光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)在曝光時(shí)為保持各點(diǎn)光程一致需要使用光通狹縫將原本方形光遮擋成弧形光，其中光通狹縫為弧形。傳統(tǒng)的曝光機(jī)中，光源發(fā)射出的入射光經(jīng)過光積分器后形成均勻的方形光，經(jīng)過平面鏡反射后通過光通狹縫的遮擋形成弧形光，其被遮擋部分的光線會(huì)被浪費(fèi)，從而影響曝光機(jī)曝光時(shí)的照度，并且這部分被遮擋的光線會(huì)照射在光通狹縫的非有效區(qū)域上產(chǎn)生熱量，給曝光機(jī)的溫控系統(tǒng)造成負(fù)擔(dān)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種能提高曝光時(shí)的照度并減小機(jī)臺(tái)溫控負(fù)擔(dān)的曝光機(jī)。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種曝光機(jī)，包括一光源、透鏡組、一蠅眼、一光纖變換單元、一通路開關(guān)、一光通狹縫以及一放大光路，光源發(fā)出的入射光依次經(jīng)過透鏡組、蠅眼到達(dá)光線變換單元，光纖變換單元的接收端朝向蠅眼以接收入射光，光纖變換單元的輸出端朝向通路開關(guān)，入射光經(jīng)光纖變換單元轉(zhuǎn)換成曝光需要的任意形狀的出射光，出射光經(jīng)通路開關(guān)、光通狹縫射出至放大光路。
[0005]其中，光纖變換單元的接收端為方形，光纖變換單元的輸出端為弧形。
[0006]其中，放大光路包括第一凹面鏡、第二凹面鏡及反射鏡，進(jìn)入放大光路的出射光依次經(jīng)過第一凹面鏡、反射鏡和第二凹面鏡后從放大光路出射，光纖變換單元的輸出端的弧形的曲率與第一凹面鏡的曲率一致。
[0007]其中，光纖變化單元的輸出端的弧形寬度大于光通狹縫的寬度。
[0008]其中，曝光機(jī)還包括一照度傳感器，照度傳感器位于光纖變換單元的輸出端與通路開關(guān)之間，照度傳感器監(jiān)測光纖變化單元的輸出端的光強(qiáng)。
[0009]其中，曝光機(jī)還包括設(shè)于光纖變換單元的輸出端的一準(zhǔn)直器及一準(zhǔn)直透鏡，準(zhǔn)直器及準(zhǔn)直透鏡監(jiān)測出射光的平行度。
[0010]其中，透鏡組包括依次間隔排列的一濾光鏡、一延遲透鏡以及第一聚光鏡。
[0011]其中，蠅眼與光纖變換單元的接收端之間還設(shè)有一第二聚光鏡。
[0012]其中，曝光機(jī)還包括一設(shè)于光源前方的濾光片以及一反射鏡，光源發(fā)出的入射光經(jīng)濾光片入射至反射鏡，反射鏡將光線反射至透鏡組。
[0013]其中，入射光為方形，出射光為弧形。
[0014]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的曝光機(jī)的入射光經(jīng)光纖變換單元轉(zhuǎn)換成曝光需要的任意形狀的出射光，可大幅度提高曝光時(shí)的照度且減少光照到光通狹縫的非有效區(qū)域所導(dǎo)致的溫度升高，另外還可以通過調(diào)節(jié)光通狹縫的寬度來調(diào)節(jié)照度，提高機(jī)臺(tái)光源的使用效率。
【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明曝光機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡化示意圖；
[0016]圖2是本發(fā)明曝光機(jī)的放大光路的光路不意圖；
[0017]圖3是本發(fā)明曝光機(jī)的光纖變換單元的立體圖；
[0018]圖4是本發(fā)明曝光機(jī)的光纖變換單元的接收端及輸出端的光纖分布圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0020]參閱圖1，本發(fā)明提供一種曝光機(jī)100，所述曝光機(jī)100包括一光源10、濾光片20、平面鏡30、透鏡組40、一蠅眼50、一光纖變換單元60、一通路開關(guān)70、一光通狹縫80以及一放大光路90。其中，透鏡組40包括依次間隔排列的一濾光鏡42、一延遲透鏡44以及第一聚光鏡46，該曝光機(jī)100還包括一位于繩眼50及光纖變換單兀60之間的第二聚光鏡55。上述透鏡組40及第二聚光鏡55均為本領(lǐng)域習(xí)知技術(shù)，在此不再贅述。
[0021]該光源10包括一功率為8kw的萊燈(圖未不)及一聚光凹面鏡12。光源10發(fā)出的入射光經(jīng)位于光源10前方的濾光片20過濾后將遠(yuǎn)紫外光入射至平面鏡30，平面鏡30將入射光反射至透鏡組40并射入蠅眼50。請(qǐng)一并參照?qǐng)D4所示，入射光經(jīng)過蠅眼50形成均勻的方形光后射出至光纖變化單元60的接收端62，入射光經(jīng)該光纖變換單元60的輸出端64輸出弧形的出射光。出射光依次經(jīng)通路開關(guān)70、光通狹縫80射出至放大光路90后輸出。
[0022]請(qǐng)參照?qǐng)D2，該放大光路90包括第一凹面鏡92、第二凹面鏡94及兩反射鏡96，該第一凹面鏡92與第二凹面鏡94曲率相同，第一凹面鏡92的半徑小于該第二凹面鏡94的半徑。該光纖變換單元60的輸出端64的弧形的曲率與第一凹面鏡92的曲率一致。該放大光路90將經(jīng)過光通狹縫80的出射光的寬度放大一倍，形成背光。例如，在本實(shí)施方式中，光通狹縫80的寬度為7mm，經(jīng)過該放大光路90后的出射光寬度為14mm。
[0023]請(qǐng)參照?qǐng)D3及圖4，光纖變化單元60的接收端62為方形，接收端62中用于接收入射光的光纖排列方式如602所示。應(yīng)理解，光纖變化單元60的接收端62不限于方形，其可根據(jù)受光的大小及范圍來設(shè)計(jì)，以保證所有的光都能進(jìn)入接收端62的光纖入口。光纖變換單元60的輸出端64為弧形，該輸出端64的光纖排列方式如604所示。該光纖變化單元60的輸出端64的弧形寬度大于光通狹縫80的寬度。該光纖變換單元的輸出端64設(shè)有一準(zhǔn)直器66及一準(zhǔn)直透鏡68以保證出射光為平行光。在其他實(shí)施方式中，光纖變化單元60的輸出端64還可以是其他形狀，如圓形等。
[0024]該光纖變換單元60的輸出端64與通路開關(guān)70之間還設(shè)有一照度傳感器65，該照度傳感器65用于監(jiān)測光纖變化單元60的輸出端64輸出的出射光的光強(qiáng)。
[0025]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的曝光機(jī)的入射光經(jīng)光纖變換單元轉(zhuǎn)換成曝光需要的任意形狀的出射光，可大幅度提高曝光時(shí)的照度且減少光照到光通狹縫的非有效區(qū)域所導(dǎo)致的溫度升高，另外還可以通過調(diào)節(jié)光通狹縫的寬度來調(diào)節(jié)照度，提高機(jī)臺(tái)光源的使用效率。
[0026]以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施方式，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種曝光機(jī)，包括一光源、透鏡組、一蠅眼、一光纖變換單元、一通路開關(guān)、一光通狹縫以及一放大光路，所述光源發(fā)出的入射光依次經(jīng)過所述透鏡組、所述蠅眼到達(dá)所述光線變換單元，所述光纖變換單元的接收端朝向所述蠅眼以接收所述入射光，所述光纖變換單元的輸出端朝向所述通路開關(guān)，所述入射光經(jīng)光纖變換單元轉(zhuǎn)換成曝光需要的任意形狀的出射光，通路開關(guān)打開，所述出射光經(jīng)所述光通狹縫射出至所述放大光路。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述光纖變換單元的接收端為方形，所述光纖變換單元的輸出端為弧形。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述放大光路包括第一凹面鏡、第二凹面鏡及反射鏡，進(jìn)入所述放大光路的所述出射光依次經(jīng)過所述第一凹面鏡、所述反射鏡和所述第二凹面鏡后從所述放大光路出射，所述光纖變換單元的輸出端的弧形的曲率與所述第一凹面鏡的曲率一致。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述光纖變化單元的輸出端的弧形寬度大于所述光通狹縫的寬度。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述曝光機(jī)還包括一照度傳感器，所述照度傳感器位于所述光纖變換單元的輸出端與所述通路開關(guān)之間，所述照度傳感器監(jiān)測所述光纖變化單元的輸出端的光強(qiáng)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述曝光機(jī)還包括設(shè)于所述光纖變換單元的輸出端的一準(zhǔn)直器及一準(zhǔn)直透鏡，所述準(zhǔn)直器及準(zhǔn)直透鏡監(jiān)測所述出射光的平行度。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述透鏡組包括依次間隔排列的一濾光鏡、一延遲透鏡以及第一聚光鏡。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述蠅眼與所述光纖變換單元的接收端之間還設(shè)有一第二聚光鏡。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述曝光機(jī)還包括一設(shè)于光源前方的濾光片以及一反射鏡，所述光源發(fā)出的入射光經(jīng)濾光片入射至所述反射鏡，所述反射鏡將所述光線反射至所述透鏡組。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)，其特征在于:所述入射光為方形，所述出射光為弧形。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種曝光機(jī)，包括一光源、透鏡組、一蠅眼、一光纖變換單元、一通路開關(guān)、一光通狹縫以及一放大光路，光源發(fā)出的入射光依次經(jīng)過透鏡組、蠅眼到達(dá)光線變換單元，入射光經(jīng)光纖變換單元轉(zhuǎn)換成曝光需要的任意形狀的出射光。通過上述方式，本發(fā)明曝光機(jī)的入射光經(jīng)光纖變換單元轉(zhuǎn)換成曝光需要的任意形狀的出射光，可大幅度提高曝光時(shí)的照度且減少光照到光通狹縫的非有效區(qū)域所導(dǎo)致的溫度升高，另外還可以通過調(diào)節(jié)光通狹縫的寬度來調(diào)節(jié)照度，提高機(jī)臺(tái)光源的使用效率。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號(hào)】CN105093847
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510470557
【發(fā)明人】孟小龍
【申請(qǐng)人】深圳市華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年8月4日