技術編號：9374330
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。曝光機在曝光時為保持各點光程一致需要使用光通狹縫將原本方形光遮擋成弧形光，其中光通狹縫為弧形。傳統(tǒng)的曝光機中，光源發(fā)射出的入射光經過光積分器后形成均勻的方形光，經過平面鏡反射后通過光通狹縫的遮擋形成弧形光，其被遮擋部分的光線會被浪費，從而影響曝光機曝光時的照度，并且這部分被遮擋的光線會照射在光通狹縫的非有效區(qū)域上產生熱量，給曝光機的溫控系統(tǒng)造成負擔。發(fā)明內容本發(fā)明主要解決的技術問題是提供一種能提高曝光時的照度并減小機臺溫控負擔的曝光機。為解決上述技術問題，...
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