r>[0040]可選地，在本實(shí)施例中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組310中的每個(gè)金屬線的寬度可以小于I厘米，優(yōu)選為2微米。所述第二預(yù)設(shè)金屬線組310中的金屬線可以為直線、曲線或折線。在其他實(shí)施例中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組310的金屬線可以為其他形狀的線體。
[0041 ] 可選地，在本實(shí)施例中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為虛線狀。
[0042]需要說明的是，所述相同長度的虛線狀的金屬線相較于實(shí)線狀的金屬線的金屬量小，且可以形成的引流通的數(shù)量更多，從而可以更加加速蝕刻的速度及范圍，使得所述第一外圍區(qū)域殘留的金屬量大大減少，從而大大降低了顯示面板制作過程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而更加提高了顯示面板的良率。在其他實(shí)施例中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線也可以為實(shí)線狀。
[0043]可選地，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組310中的相鄰兩金屬線之間的距離均相同。
[0044]需要說明的是，由于相鄰兩金屬線之間的距離均相同，使得若干引流道相同且均勻，從而可以使得蝕刻液均勻地被引導(dǎo)流動(dòng)，蝕刻的速度及范圍更均勻，使得所述第一外圍區(qū)域不會(huì)再由大面的金屬殘留，大大降低了顯示面板制作過程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而大大提高了顯示面板的良率。在其他實(shí)施例中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組310中的相鄰兩金屬線之間的距離也可以相同。
[0045]請參參閱圖4，本發(fā)明第二實(shí)施例提供一種顯示面板的制作方法。所述第二實(shí)施例提供的制作方法與所述第一實(shí)施例提供的制作方法相似，兩者的區(qū)別在于:在所述第二實(shí)施例中，所述基板上還具有第二金屬層。所述第二金屬層包括第二顯示區(qū)域及第二外圍區(qū)域。所述第二顯示區(qū)域?qū)?yīng)所述第一顯示區(qū)域。所述第二外圍區(qū)域?qū)?yīng)所述第一外圍區(qū)域。所述第二金屬層可以是將鋁或者銅于不活潑金屬(如鉬或者鈦)疊層在一起的層。所述制作方法還包括以下步驟。
[0046]步驟401、在所述第二金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第三半成板。
[0047]需要說明的是，本實(shí)施例中，采用旋涂方式或輥涂方法在所述第二金屬層上涂布光阻劑。在其他實(shí)施例中，也可以采用其他的方式在所述第二金屬層上涂布光阻劑。
[0048]步驟402、對(duì)所述第三半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第四半成板，其中，所述第四半成板對(duì)應(yīng)所述第二顯示區(qū)域及第二外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第三預(yù)設(shè)圖案及第四預(yù)設(shè)圖案。
[0049]在本實(shí)施例中，所述光阻劑為正型光阻劑。所述正型光阻劑在所述預(yù)設(shè)波長的紫外線的照射下光阻劑的光照部分發(fā)生分解，溶解度增大，在所述第三半成板的對(duì)應(yīng)所述第二顯示區(qū)域的區(qū)域內(nèi)形成所述第三預(yù)設(shè)圖案，且在對(duì)應(yīng)所述第一外圍區(qū)域的區(qū)域上形成所述第四預(yù)設(shè)區(qū)域。在其他的實(shí)施例中，所述光阻劑也可以為負(fù)型光阻劑。所述負(fù)型光阻劑在所述預(yù)設(shè)波長的紫外線的照射下光阻劑的光照部分發(fā)生反應(yīng)，溶解度變小，在所述第三半成板的對(duì)應(yīng)第一顯示區(qū)域的區(qū)域內(nèi)形成與所述第三預(yù)設(shè)圖案相反的圖案，在對(duì)應(yīng)所述第一外圍區(qū)域的區(qū)域上形成與所述四預(yù)設(shè)圖案相反的圖案。
[0050]步驟403、對(duì)所述第四半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第二顯示區(qū)域上形成第三預(yù)設(shè)金屬線組，所述第二外圍區(qū)域上形成第四預(yù)設(shè)金屬線組。
[0051]需要說明的是，可以采用混合酸作為蝕刻劑。其中，所述混合酸包括磷酸及硝酸?？梢酝ㄟ^預(yù)設(shè)濃度的堿液進(jìn)行剝離，在所述第二顯示區(qū)域內(nèi)形成第三預(yù)設(shè)金屬線組，在所述第一外圍區(qū)域上形成所述第四預(yù)設(shè)金屬線組。其中，所述預(yù)設(shè)濃度的堿液為KOH、NaOH或有機(jī)堿。相鄰的兩個(gè)金屬線之間形成引流道，用于引導(dǎo)蝕刻液的流動(dòng)方向。所述第三預(yù)設(shè)金屬線組包括柵極線及數(shù)據(jù)線。
[0052]在本實(shí)施例中，所述顯示面板的制作方法包括在所述第二金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第三半成板。對(duì)所述第三半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第四半成板，其中，所述第四半成板對(duì)應(yīng)所述第二顯示區(qū)域及第二外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第三預(yù)設(shè)圖案及第四預(yù)設(shè)圖案。對(duì)所述第四半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第二顯示區(qū)域上形成第三預(yù)設(shè)金屬線組，所述第二外圍區(qū)域上形成第四預(yù)設(shè)金屬線組。由于在所述第二外圍區(qū)域上形成了所述第四預(yù)設(shè)金屬線組，從而形成了若干的引流道，以在進(jìn)行蝕刻時(shí)引導(dǎo)蝕刻液進(jìn)行流動(dòng)，進(jìn)而加速了蝕刻的速度及范圍，使得所述第一外圍區(qū)域不會(huì)再由大面的金屬殘留，大大降低了顯示面板制作過程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而大大提高了顯示面板的良率。
[0053]可選地，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的每個(gè)金屬線的寬度可以小于I厘米，優(yōu)選為2微米。所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為直線、曲線或折線。在其他實(shí)施例中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組的金屬線可以為其他形狀的線體。
[0054]可選地，在本實(shí)施例中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為虛線。
[0055]需要說明的是，所述相同長度的虛線狀的金屬線相較于實(shí)線狀的金屬線的金屬量小，且可以形成的引流通的數(shù)量更多，從而可以更加加速蝕刻的速度及范圍，使得所述第二外圍區(qū)域殘留的金屬量大大減少，從而大大降低了顯示面板制作過程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而更加提高了顯示面板的良率。在其他實(shí)施例中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線也可以為實(shí)線狀。
[0056]可選地，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的相鄰兩金屬線之間的距離均相同。
[0057]需要說明的是，由于相鄰兩金屬線之間的距離均相同，使得若干引流道相同且均勻，從而可以使得蝕刻液均勻地被引導(dǎo)流動(dòng)，蝕刻的速度及范圍更均勻，使得所述第二外圍區(qū)域不會(huì)再由大面的金屬殘留，大大降低了顯示面板制作過程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而大大提高了顯示面板的良率。在其他實(shí)施例中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的相鄰兩金屬線之間的距離也可以相同。
[0058]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種顯示面板的制作方法，包括: 提供一基板，所述基板上具有第一金屬層，所述基板包括第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域，所述第一金屬層覆蓋所述第一顯示區(qū)域及所述第一外圍區(qū)域； 在所述第一金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第一半成板； 對(duì)所述第一半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板對(duì)應(yīng)所述第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第一預(yù)設(shè)圖案及第二預(yù)設(shè)圖案； 對(duì)所述第二半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第一顯示區(qū)域上形成第一預(yù)設(shè)金屬線組，所述第一外圍區(qū)域上形成第二預(yù)設(shè)金屬線組。2.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的每個(gè)金屬線的寬度小于I厘米。3.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為直線、曲線或折線。4.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為虛線狀。5.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的相鄰兩金屬線之間的距離均相同。6.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述基板上還具有第二金屬層，所述第二金屬層包括第二顯示區(qū)域及第二外圍區(qū)域；其中，所述制作方法還包括: 在所述第二金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第三半成板； 對(duì)所述第三半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第四半成板，其中，所述第四半成板對(duì)應(yīng)所述第二顯示區(qū)域及第二外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第三預(yù)設(shè)圖案及第四預(yù)設(shè)圖案； 對(duì)所述第四半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第二顯示區(qū)域上形成第三預(yù)設(shè)金屬線組，所述第二外圍區(qū)域上形成第四預(yù)設(shè)金屬線組。7.如權(quán)利要求6所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的每個(gè)金屬線的寬度小于I厘米。8.如權(quán)利要求6所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為直線、曲線或折線。9.如權(quán)利要求6所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為虛線。10.如權(quán)利要求6所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的相鄰兩金屬線之間的距離均相同。
【專利摘要】本發(fā)明公開本發(fā)明所述顯示面板的制作方法包括提供一基板，基板上具有第一金屬層，基板包括第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域，第一金屬層覆蓋第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域；在第一金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第一半成板；對(duì)第一半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第二半成板，其中，第二半成板對(duì)應(yīng)第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第一及第二預(yù)設(shè)圖案；對(duì)第二半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，使得第一顯示區(qū)域上形成第一預(yù)設(shè)金屬線組，第一外圍區(qū)域上形成第二預(yù)設(shè)金屬線組。本發(fā)明大大降低了顯示面板制作過程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而大大提高了顯示面板的良率。
【IPC分類】G02F1/1362
【公開號(hào)】CN104950539
【申請?zhí)枴緾N201510414055
【發(fā)明人】劉元甫
【申請人】深圳市華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2015年7月15日