一種顯示面板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電子領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示面板的制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前常用的電子設(shè)備及儀器主要以金屬線作為導(dǎo)線來(lái)傳播信號(hào)，使用金屬導(dǎo)線有助于降低設(shè)備的生產(chǎn)成本增加電子設(shè)備穩(wěn)定性，所以形成金屬線的材料要求價(jià)格低廉，具有較低的電阻和耐腐蝕性。液晶顯示器的液晶面板一般由彩膜基板和陣列基板構(gòu)成，陣列基板中的柵極線和數(shù)據(jù)線一般都是用包括鋁及鋁合金或者銅作為金屬導(dǎo)線。然而使用純鋁作為導(dǎo)線，在后續(xù)高溫制成中由于應(yīng)力作用，鋁的表面容易形成凸起進(jìn)而破壞絕緣層導(dǎo)致播磨晶體管的電性異常。如果使用純銅作為金屬電極，由于銅與玻璃或者氮化硅或者氧化硅的附著力不好，容易形成金屬膜剝落的現(xiàn)象。為克服這些問(wèn)題經(jīng)常使用多層鋁結(jié)構(gòu)或者多層銅結(jié)構(gòu)作為柵極或者數(shù)據(jù)電極，具體的是將鋁或者銅與高耐腐蝕性的鉬或者鈦疊層在一起。然而在顯示器面板的制作過(guò)程中，多層結(jié)構(gòu)的電極中不同金屬的蝕刻率不同，特別是鉬或者鈦比較不活潑，顯示區(qū)外圍有大面積金屬待蝕刻時(shí)經(jīng)常會(huì)現(xiàn)出大面積現(xiàn)底層金屬鉬或者鈦殘留，容易引起后續(xù)制成出現(xiàn)靜電放電(ESD)，從而造成面板良率大大降低失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種顯示面板的制作方法，以提供顯示面板的良率。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施方式提供如下技術(shù)方案:
[0005]本發(fā)明供了一種顯示面板的制作方法，包括:
[0006]提供一基板，所述基板上具有第一金屬層，所述基板包括第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域，所述第一金屬層覆蓋所述第一顯示區(qū)域及所述第一外圍區(qū)域；
[0007]在所述第一金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第一半成板；
[0008]對(duì)所述第一半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板對(duì)應(yīng)所述第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第一預(yù)設(shè)圖案及第二預(yù)設(shè)圖案；
[0009]對(duì)所述第二半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第一顯示區(qū)域上形成第一預(yù)設(shè)金屬線組，所述第一外圍區(qū)域上形成第二預(yù)設(shè)金屬線組。
[0010]其中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的每個(gè)金屬線的寬度小于I厘米。
[0011]其中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為直線、曲線或折線。
[0012]其中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為虛線狀。
[0013]其中，所述第二預(yù)設(shè)金屬線組中的相鄰兩金屬線之間的距離均相同。
[0014]其中，所述基板上還具有第二金屬層，所述第二金屬層包括第二顯示區(qū)域及第二外圍區(qū)域；其中，所述制作方法還包括:
[0015]在所述第二金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第三半成板；
[0016]對(duì)所述第三半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第四半成板，其中，所述第四半成板對(duì)應(yīng)所述第二顯示區(qū)域及第二外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第三預(yù)設(shè)圖案及第四預(yù)設(shè)圖案；
[0017]對(duì)所述第四半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第二顯示區(qū)域上形成第三預(yù)設(shè)金屬線組，所述第二外圍區(qū)域上形成第四預(yù)設(shè)金屬線組。
[0018]其中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的每個(gè)金屬線的寬度小于I厘米。
[0019]其中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為直線、曲線或折線。
[0020]其中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的金屬線為虛線。
[0021]其中，所述第四預(yù)設(shè)金屬線組中的相鄰兩金屬線之間的距離均相同。
[0022]本發(fā)明所述顯示面板的制作方法包括提供一基板，所述基板上具有第一金屬層，所述基板包括第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域，所述第一金屬層覆蓋所述第一顯示區(qū)域及所述第一外圍區(qū)域；在所述第一金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第一半成板；對(duì)所述第一半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板對(duì)應(yīng)所述第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第一預(yù)設(shè)圖案及第二預(yù)設(shè)圖案；對(duì)所述第二半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第一顯示區(qū)域上形成第一預(yù)設(shè)金屬線組，所述第一外圍區(qū)域上形成第二預(yù)設(shè)金屬線組。由于在所述第一外圍區(qū)域上形成了所述第二預(yù)設(shè)金屬線組，從而形成了若干的引流道，以在進(jìn)行蝕刻時(shí)引導(dǎo)蝕刻液進(jìn)行流動(dòng)，進(jìn)而加速了蝕刻的速度及范圍，使得所述第一外圍區(qū)域不會(huì)再由大面的金屬殘留，大大降低了顯示面板制作過(guò)程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而大大提高了顯示面板的良率。
【附圖說(shuō)明】
[0023]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以如這些附圖獲得其他的附圖。
[0024]圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例提供的一種顯示面板的制作方法的流程圖；
[0025]圖2是采用圖1的方法制成的顯示面板在處于步驟101時(shí)的示意圖；
[0026]圖3是采用圖1的方法制成的顯示面板在處于步驟104時(shí)的示意圖，其中顯示區(qū)域的第一預(yù)設(shè)金屬線組未示出；
[0027]圖4是本發(fā)明第一實(shí)施例提供的一種顯示面板的制作方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施方式中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0029]請(qǐng)參閱圖1至圖3，本發(fā)明第一實(shí)施例提供一種顯示面板的制作方法。所述方法包括一下步驟:
[0030]步驟101、提供一基板200，所述基板200上具有第一金屬層，所述基板200包括第一顯示區(qū)域210及第一外圍區(qū)域220。所述第一金屬層覆蓋所述第一顯示區(qū)域210及所述第一外圍區(qū)域220。
[0031]需要說(shuō)明的是，所述基板200可以為薄膜晶體管陣列基板。所述第一金屬層可以為所述基板上的第一層，也可以為所述基板200的其他層。所述第一金屬層可以為在所述基板上通過(guò)金屬濺射成膜形成所述第一金屬層。所述第一金屬層為金屬膜。所述第一外圍區(qū)域220為所述第一顯示區(qū)域210的外圍區(qū)域。所述第一金屬層可以是將鋁或者銅于不活潑金屬(如鉬或者鈦)疊層在一起的層。
[0032]步驟102、在所述第一金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第一半成板。
[0033]需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，采用旋涂方式或輥涂方法在所述第一半成板表面上涂布光阻劑。在其他實(shí)施例中，也可以采用其他的方式在所述第一半成板表面上涂布光阻劑。
[0034]步驟103、對(duì)所述第一半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板對(duì)應(yīng)所述第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第一預(yù)設(shè)圖案及第二預(yù)設(shè)圖案。
[0035]在本實(shí)施例中，所述光阻劑為正型光阻劑。所述正型光阻劑在所述預(yù)設(shè)波長(zhǎng)的紫外線的照射下光阻劑的光照部分發(fā)生分解，溶解度增大，在所述第一半成板的對(duì)應(yīng)所述第一顯示區(qū)域的區(qū)域內(nèi)形成所述第一預(yù)設(shè)圖案，且在對(duì)應(yīng)所述第一外圍區(qū)域的區(qū)域上形成所述第二預(yù)設(shè)區(qū)域。在其他的實(shí)施例中，所述光阻劑也可以為負(fù)型光阻劑。所述負(fù)型光阻劑在所述預(yù)設(shè)波長(zhǎng)的紫外線的照射下光阻劑的光照部分發(fā)生反應(yīng)，溶解度變小，在所述第一半成板的對(duì)應(yīng)第一顯示區(qū)域的區(qū)域內(nèi)形成與所述第一預(yù)設(shè)圖案相反的圖案，在對(duì)應(yīng)所述第一外圍區(qū)域的區(qū)域上形成與所述二預(yù)設(shè)圖案相反的圖案。
[0036]步驟104、對(duì)所述第二半成板進(jìn)行蝕刻、剝離，從而使得所述第一顯示區(qū)域上形成第一預(yù)設(shè)金屬線組，所述第一外圍區(qū)域上形成第二預(yù)設(shè)金屬線組310(參閱圖3)。
[0037]需要說(shuō)明的是，可以采用混合酸作為蝕刻劑。其中，所述混合酸包括磷酸及硝酸?？梢酝ㄟ^(guò)預(yù)設(shè)濃度的堿液進(jìn)行剝離，在所述第一顯示區(qū)域內(nèi)形成第一預(yù)設(shè)金屬線組，在所述第一外圍區(qū)域上形成所述第二預(yù)設(shè)金屬線組。其中，所述預(yù)設(shè)濃度的堿液為KOH、NaOH或有機(jī)堿。相鄰的兩個(gè)金屬線之間形成引流道，用于引導(dǎo)蝕刻液的流動(dòng)方向。所述第一預(yù)設(shè)金屬線組包括柵極線及數(shù)據(jù)線。
[0038]需要說(shuō)明的是，在步驟104完成之后，所述顯示面板還尚未完成，后續(xù)還需要進(jìn)行真空制成等，最后在進(jìn)行切割得到一個(gè)一個(gè)顯示面板。
[0039]在本實(shí)施例中，所述顯示面板的制作方法包括提供一基板，所述基板上具有第一金屬層，所述基板包括第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域，所述第一金屬層覆蓋所述第一顯示區(qū)域及所述第一外圍區(qū)域；在所述第一金屬層上鋪設(shè)光阻層，形成第一半成板；對(duì)所述第一半成板進(jìn)行曝光、顯影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板對(duì)應(yīng)所述第一顯示區(qū)域及第一外圍區(qū)域的區(qū)域分別形成第一預(yù)設(shè)圖案及第二預(yù)設(shè)圖案；對(duì)所述第二半成板進(jìn)行蝕亥IJ、剝離，從而使得所述第一顯示區(qū)域上形成第一預(yù)設(shè)金屬線組，所述第一外圍區(qū)域上形成第二預(yù)設(shè)金屬線組310。由于在所述第一外圍區(qū)域上形成了所述第二預(yù)設(shè)金屬線組310，從而形成了若干的引流道，以在進(jìn)行蝕刻時(shí)引導(dǎo)蝕刻液進(jìn)行流動(dòng)，進(jìn)而加速了蝕刻的速度及范圍，使得所述第一外圍區(qū)域不會(huì)再由大面的金屬殘留，大大降低了顯示面板制作過(guò)程中出現(xiàn)靜電放電的出現(xiàn)，進(jìn)而大大提高了顯示面板的良率。