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光波導(dǎo)用干膜、使用其的光波導(dǎo)和光電復(fù)合線路板、以及光電復(fù)合線路板的制造方法_2

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的情況下,具有 能使形成干膜時(shí)的膜厚變薄的優(yōu)點(diǎn)。
[0039] 構(gòu)成鍍敷貼緊層的樹(shù)脂組合物中固體微粒的混合量?jī)?yōu)選在20質(zhì)量%至50質(zhì) 量%。在該范圍內(nèi)的情況下,能夠充分地獲得提高鍍敷貼緊性的效果,也能易于維持透明 性。
[0040] 固體微粒通過(guò)如下方式得以分散,即在將固體微粒添加到構(gòu)成鍍敷貼緊層的樹(shù)脂 組合物中后,例如在利用分散器等以3000rpm至6000rpm左右攪拌1小時(shí)至2小時(shí)后,通過(guò) 珠磨機(jī)等使其分散。
[0041] 對(duì)于具體的固體微粒而言,例如可以使用:二氧化硅;如鋯(Zr)、鈦(Ti)、錫(Sn) 等的氧化物;或者,橡膠粒子等高分子微粒或聚合物微粒等。這些既可以單獨(dú)使用,也可以 組合兩種以上來(lái)使用。
[0042] 其中,優(yōu)選使用二氧化硅粒子,因?yàn)槠湔凵渎式朴诃h(huán)氧樹(shù)脂的折射率。
[0043] 也可以使用市場(chǎng)銷售的二氧化硅粒子,具體而言,例如可以舉出株式會(huì)社亞都瑪 科技制的SOC2 (S025R)(中值粒徑0. 5 y m)、電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制的SFP-130MC (中值 粒徑0. 7 y m)、電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制的FB-1SDX(中值粒徑1. 8 y m)、株式會(huì)社德山制的 SS-04 (中心粒徑0. 4 y m)、株式會(huì)社德山制的SS-07 (中心粒徑0. 7 y m)、株式會(huì)社德山制的 SS-15(中心粒徑1.5 ym)等。這些即可以單獨(dú)使用,也可以組合兩種以上來(lái)使用。
[0044] 另外,也可以使用對(duì)二氧化娃表面利用環(huán)氧硅烷(epoxysilane)等物質(zhì)實(shí)施了表 面處理的二氧化硅粒子。
[0045] 另一方面,當(dāng)使用橡膠粒子等高分子微?;蚓酆衔镂⒘5葧r(shí),由于這些粒子伸長(zhǎng) 而增加剝離面積,有望增強(qiáng)貼緊性。
[0046] 對(duì)于具體的橡膠粒子等而言,可以使用由丙烯系(丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯)單 體、苯乙烯系單體、乙烯系單體或者它們的共聚物形成的粒子。即使是這些以外的粒子,只 要是能在高錳酸處理工序中蝕刻的透明粒子就可以使用。
[0047] 也可以使用市場(chǎng)銷售的橡膠粒子等,具體而言,例如可以舉出三菱麗陽(yáng)株式會(huì)社 制的核殼型粒子METABLEN KW4426(0. 1 ym)、核殼型粒子W300(0. 1 ym)、丙烯酸橡膠粒子 W450A (0. 2 y m)、JSR株式會(huì)社制的丙烯酸橡膠粒子X(jué)SK500 (0. 5 y m)等。
[0048] 對(duì)于本實(shí)施方式的固體微粒而言,也可以組合使用二氧化硅粒子等無(wú)機(jī)固體微粒 和橡膠粒子,從透明性等觀點(diǎn)考慮,在與20質(zhì)量%至50質(zhì)量%的二氧化硅粒子組合使用時(shí) 的橡膠粒子的混合量在2質(zhì)量%至5質(zhì)量%為宜。
[0049] 通過(guò)將如上所述的固體微粒分散在構(gòu)成鍍敷貼緊層的樹(shù)脂組合物中,能夠獲得發(fā) 揮良好的鍍敷貼緊性的光波導(dǎo)用干膜。
[0050] 接著,對(duì)于包覆層用光波導(dǎo)材料而言,只要是折射率低于為芯層使用的光波導(dǎo)材 料的折射率的透明樹(shù)脂,就可以適當(dāng)?shù)厥褂贸叵鲁使腆w的環(huán)氧、苯氧、丙烯、丙烯酸酯等 光反應(yīng)性或熱反應(yīng)性的材料。在本實(shí)施方式中,光是指以紫外線為代表的能量線。光反應(yīng) 性是指,通過(guò)照射能量線發(fā)生固化、折射率變化、針對(duì)特定液體的溶解性變化等的性質(zhì)。熱 反應(yīng)性是指,通過(guò)加熱發(fā)生固化、折射率變化、針對(duì)特定液體的溶解性變化等的性質(zhì)。
[0051] 另外,在本實(shí)施方式中使用的包覆層用光波導(dǎo)材料更優(yōu)選為使包覆層具有因能量 線固化的性質(zhì)的材料。因?yàn)檫@樣就可以利用掩膜僅向所需部分照射能量線使其固化,并利 用顯影液去除不被照射能量線的部分從而形成圖案。更優(yōu)選的是包覆層所包含的樹(shù)脂具有 光固化性,進(jìn)一步優(yōu)選的是其與形成所述鍍敷貼緊層的樹(shù)脂組合物所包含的樹(shù)脂相同。包 含相同樹(shù)脂的優(yōu)點(diǎn)在于:通過(guò)使它們一并固化,鍍敷貼緊層和包覆層材料之間的貼緊性進(jìn) 一步優(yōu)化,并且實(shí)現(xiàn)工序簡(jiǎn)化。另外,也有即使樹(shù)脂成分在鍍敷貼緊層和包覆層的界面處相 混合,也不會(huì)影響到包覆層(光層)的透明性的優(yōu)點(diǎn)。
[0052] 更具體而言,在本實(shí)施方式中,用于形成包覆層的包覆層用光波導(dǎo)材料例如由包 含2, 2-雙(羥甲基)_1_ 丁醇與1,2-環(huán)氧-4-(2_環(huán)氧乙烷基)環(huán)己烷的加成物、雙酚型 環(huán)氧樹(shù)脂、苯氧樹(shù)脂及陽(yáng)離子固化引發(fā)劑的環(huán)氧樹(shù)脂組合物形成。
[0053] 通過(guò)包含所述2, 2-雙(羥甲基)_1_ 丁醇與1,2-環(huán)氧-4-(2-環(huán)氧乙烷基)環(huán)己 烷的加成物,能夠降低包覆層的折射率,并能提高透明性,可以降低光損失。另外,能夠調(diào)整 固化性薄膜的粘結(jié)性(tackiness)使其降低,還能將固化物的Tg調(diào)整為較高。如果2,2_雙 (羥甲基)_1_ 丁醇與1,2_環(huán)氧-4-(2-環(huán)氧乙烷基)環(huán)己烷的加成物的含量過(guò)多,則固化 性薄膜變脆而操作性下降,因此,相對(duì)于樹(shù)脂成分總量的含量?jī)?yōu)選在30質(zhì)量%至70質(zhì)量% 的范圍內(nèi)。
[0054] 另外,通過(guò)包含所述雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂,能夠?qū)⒐袒锏腡g調(diào)整為較低從而降低固 化物的脆弱程度,還能夠提高透明性,可以降低光損失。對(duì)于該雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂而言,常溫 下呈液狀的雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂以及常溫下呈固體的雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂都可以使用,據(jù)此,通過(guò) 使用液狀的雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂能夠提高固化性薄膜的粘結(jié)性,而通過(guò)使用固體的雙酚型環(huán)氧 樹(shù)脂能夠降低固化性薄膜的粘結(jié)性,從而能夠調(diào)整固化性薄膜的粘結(jié)性。相對(duì)于樹(shù)脂總量 的雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂的含量?jī)?yōu)選在10質(zhì)量%至30質(zhì)量%的范圍內(nèi)。
[0055] 對(duì)于該雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂而言,可以使用雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂、雙 酚E型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚S型環(huán)氧樹(shù)脂等。
[0056] 另外,通過(guò)含有所述苯氧樹(shù)脂,能夠抑制固化物的脆弱程度從而提高包覆體的堅(jiān) 韌性,并能將Tg調(diào)整為較低,而且,能夠提高折射率,并能提高透明性,可以降低光損失。另 外,能夠?qū)⒃谥谱鞴袒员∧r(shí)制備的溶劑溶液(清漆(varnish))的粘度調(diào)整為較高,使 得固化性薄膜的制作變得容易,還能夠?qū)⒐袒员∧さ恼辰Y(jié)性調(diào)整為較低。如果苯氧樹(shù)脂 的含量過(guò)多,則清漆的觸變性變高從而不適合在制作固化性薄膜時(shí)的涂布,因此,相對(duì)于樹(shù) 脂總量的苯氧樹(shù)脂的含量?jī)?yōu)選在10質(zhì)量%至25質(zhì)量%的范圍內(nèi)。
[0057] 另外,對(duì)于給環(huán)氧樹(shù)脂組合物賦予固化性的固化引發(fā)劑而言,如上所述,通過(guò)包含 陽(yáng)離子固化引發(fā)劑來(lái)能夠提高包覆體的透明性,可以降低光損失。對(duì)于該陽(yáng)離子固化劑而 言,有只能因光開(kāi)始固化的光陽(yáng)離子固化引發(fā)劑、只能因熱開(kāi)始固化的熱陽(yáng)離子固化引發(fā) 劑、因光和因熱都能開(kāi)始固化的光熱陽(yáng)離子固化引發(fā)劑,這些陽(yáng)離子固化劑部可以使用,而 且這些陽(yáng)離子固化劑既可以單獨(dú)使用,也可以組合多種來(lái)使用。陽(yáng)離子固化劑的含量按需 要設(shè)定,但一般而言,相對(duì)于樹(shù)脂總量?jī)?yōu)選在〇. 5質(zhì)量%至2質(zhì)量%的范圍內(nèi)。
[0058] 構(gòu)成包覆體形成用的固化性薄膜的環(huán)氧樹(shù)脂組合物除了包含上述成分以外,還優(yōu) 選包含下式(1)的環(huán)氧樹(shù)脂。在此情況下,優(yōu)選將熱陽(yáng)離子固化引發(fā)劑和光陽(yáng)離子固化引 發(fā)劑組合使用來(lái)作為陽(yáng)離子固化引發(fā)劑。
[0059]
[0060] 式(1)的環(huán)氧樹(shù)脂是三羥甲基丙烷型環(huán)氧樹(shù)脂,其透明性極高,能夠形成透明性 高的包覆體來(lái)降低光波導(dǎo)的光損失。另外,如果包含式(1)的環(huán)氧樹(shù)脂,即使環(huán)氧樹(shù)脂組合 物中包含熱陽(yáng)離子固化引發(fā)劑來(lái)作為陽(yáng)離子固化引發(fā)劑,當(dāng)涂布環(huán)氧樹(shù)脂的清漆來(lái)制作固 化性薄膜時(shí),在干燥過(guò)程中也難以促進(jìn)樹(shù)脂固化,能夠獲得可使用時(shí)間長(zhǎng)且層壓性優(yōu)異的 固化性薄膜。另外,通過(guò)組合使用熱陽(yáng)離子固化引發(fā)劑和光陽(yáng)離子固化引發(fā)劑來(lái)作為包含 式(1)的環(huán)氧樹(shù)脂的環(huán)氧樹(shù)脂組合物的陽(yáng)離子固化引發(fā)劑,在從芯體的上面層壓由該環(huán)氧 樹(shù)脂組合物制成的固化性薄膜并使其曝光固化從而形成包覆體時(shí),即使存在不能光照射的 部分而此部分的光固化不充分的情況下,也可以通過(guò)加熱來(lái)使此部分熱固化從而防止固化 不足,能夠提高芯體與包覆體的貼緊性來(lái)形成光損失更少的光波導(dǎo)。優(yōu)選的是,式(1)的 環(huán)氧樹(shù)脂相對(duì)于樹(shù)脂成分總量的混合量在3質(zhì)量%至25質(zhì)量%的范圍內(nèi)。當(dāng)混合量不足 3質(zhì)量%時(shí)不能充分地獲得混合帶來(lái)的效果,相反地,當(dāng)混合量超過(guò)25質(zhì)量%時(shí),由于固化 性薄膜的粘結(jié)性變得過(guò)強(qiáng),因此不理想。另外,當(dāng)組合使用熱陽(yáng)離子固化引發(fā)劑與光陽(yáng)離子 固化引發(fā)劑時(shí),優(yōu)選設(shè)定熱陽(yáng)離子固化引發(fā)劑的比例為20質(zhì)量%至80質(zhì)量%。當(dāng)熱陽(yáng)離 子固化引發(fā)劑不足20質(zhì)量%時(shí)不能充分地使沒(méi)被光固化的部分熱固化,相反地,當(dāng)熱陽(yáng)離 子固化引發(fā)劑超過(guò)80質(zhì)量%時(shí)不能充分地進(jìn)行光固化。
[0061] 優(yōu)選的是,包覆層形成用的環(huán)氧樹(shù)脂組合物除了包含上述成分以外,還包含一分 子中具有多個(gè)3,4-環(huán)氧環(huán)己烯基結(jié)構(gòu)且在室溫下呈液狀的環(huán)氧樹(shù)脂。在此情況下,優(yōu)選的 是只使用光陽(yáng)離子固化引發(fā)劑來(lái)作為陽(yáng)離子固化引發(fā)劑。
[0062] 具有該3,4_環(huán)氧環(huán)己烯基骨架的環(huán)氧樹(shù)脂的透明性極高,可以形成透明性高且 折射率低的包覆體,能夠制成光損失小的光波導(dǎo)。另外,由于其具有被稱
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