顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法,陣列基板及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及陣列基板的制備領(lǐng)域，特別涉及一種顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法，陣列基板及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的液晶顯示面板中，已經(jīng)存在將彩膜層直接形成在陣列基板上(Colorfilter On Array，簡(jiǎn)稱(chēng)COA)的技術(shù)，該技術(shù)能夠提高液晶顯示面板的開(kāi)口率，進(jìn)而提高液晶顯示面板的亮度和畫(huà)面品質(zhì)。這樣的陣列基板的制備過(guò)程，包括如下步驟:
[0003]步驟1:在襯底基板之上形成對(duì)位標(biāo)記和薄膜晶體管開(kāi)關(guān)；在對(duì)位標(biāo)記，薄膜晶體管開(kāi)關(guān)和襯底基板之上形成第一隔離層；
[0004]步驟2:在第一隔離層的表面涂覆黑矩陣材料，形成黑矩陣材料膜層，即對(duì)位標(biāo)記之上覆蓋有第一隔離層和黑矩陣材料膜層，這樣，對(duì)位標(biāo)記被第一隔離層和黑矩陣材料膜層遮蓋住，不能顯示出對(duì)位標(biāo)記的位置；
[0005]步驟3:曝光機(jī)以對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行對(duì)位，對(duì)黑矩陣材料膜層進(jìn)行曝光，形成與前序工藝的其他圖形相對(duì)位的黑矩陣圖形?，F(xiàn)有的曝光機(jī)與對(duì)位標(biāo)記的對(duì)位是透射光方式。由于黑矩陣材料膜層的光密度較高，會(huì)導(dǎo)致曝光機(jī)無(wú)法清晰的識(shí)別黑矩陣材料膜層下的對(duì)位標(biāo)記。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明提供了一種顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法，陣列基板及其制備方法，與現(xiàn)有技術(shù)相比，解決了不能顯示出對(duì)位標(biāo)記的位置的技術(shù)問(wèn)題。
[0007]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:
[0008]一種顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法，包括如下步驟:
[0009]在襯底基板的第一板面形成對(duì)位標(biāo)記；
[0010]形成覆蓋所述對(duì)位標(biāo)記的第一隔離層；
[0011]在所述第一隔離層形成過(guò)孔，露出所述對(duì)位標(biāo)記；
[0012]在所述過(guò)孔處涂覆第一極性涂料，形成第一極性涂料圖形；
[0013]在所述第一極性涂料圖形和第一隔離層的表面涂覆無(wú)法附著在第一極性涂料表面的第二極性材料，形成第二極性涂料膜層。
[0014]優(yōu)選的，所述第一極性涂料是親水性涂料，所述第二極性材料是疏水性黑色材料。
[0015]優(yōu)選的，所述親水性涂料是超親水性涂料，持續(xù)親水角小于5度，原生粒徑為5?50納米，比表面積大于200平方米每克。
[0016]本發(fā)明還提供以下技術(shù)方案:
[0017]一種陣列基板的制備方法，包括如下步驟:
[0018]在襯底基板的第一板面形成對(duì)位標(biāo)記和薄膜晶體管開(kāi)關(guān)；
[0019]形成覆蓋所述對(duì)位標(biāo)記，薄膜晶體管開(kāi)關(guān)和襯底基板的第一隔離層；
[0020]在所述第一隔離層形成過(guò)孔，露出所述對(duì)位標(biāo)記；
[0021]在所述過(guò)孔處涂覆第一極性涂料，形成第一極性涂料圖形；
[0022]在所述第一極性涂料圖形和第一隔離層的表面涂覆第二極性黑矩陣材料，所述第二極性黑矩陣材料在所述第一極性涂料表面無(wú)法附著，所述第二極性黑矩陣材料和第一極性涂料圖形之間形成邊界，顯示出所述對(duì)位標(biāo)記的位置。
[0023]優(yōu)選的，所述第一極性涂料是親水性涂料，所述第二極性黑矩陣材料是疏水性黑矩陣材料。
[0024]優(yōu)選的，所述親水性涂料是超親水性涂料，持續(xù)親水角小于5度，原生粒徑為5?50納米，比表面積大于200平方米每克。
[0025]優(yōu)選的，所述第一極性涂料是曝光機(jī)可透過(guò)的親水性涂料；
[0026]所述陣列基板的制備方法還包括以下步驟:
[0027]曝光機(jī)透過(guò)所述第一極性涂料識(shí)別所述對(duì)位標(biāo)記，根據(jù)對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行對(duì)位，對(duì)所述黑矩陣材料進(jìn)行曝光，形成黑矩陣圖形。
[0028]優(yōu)選的，還包括如下步驟:
[0029]在所述黑矩陣圖形形成的空間內(nèi)形成像素。
[0030]優(yōu)選的，所述在襯底基板的第一板面形成薄膜晶體管開(kāi)關(guān)具體包括如下步驟:
[0031]在襯底基板的第一板面形成與所述對(duì)位標(biāo)記位于同一層的柵極；
[0032]形成覆蓋所述柵極，對(duì)位標(biāo)記和襯底基板的柵極絕緣層；
[0033]在所述柵極絕緣層的表面且位于柵極上方的位置形成有源層；
[0034]在所述有源層和柵極絕緣層的表面形成跨接在所述有源層表面的源極和漏極；所述第一隔離層覆蓋所述源極，漏極，有源層和柵極絕緣層。
[0035]本發(fā)明還提供以下技術(shù)方案:
[0036]一種陣列基板，采用所述的陣列基板的制備方法制備的陣列基板。
[0037]本發(fā)明提供的顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法，對(duì)位標(biāo)記形成在襯底基板的第一板面且位于第一隔離層的過(guò)孔內(nèi)；在過(guò)孔處涂覆第一極性涂料，形成第一極性涂料圖形；在第一極性涂料圖形和第一隔離層的表面涂覆無(wú)法附著在第一極性涂料表面的第二極性材料，形成第二極性涂料膜層。這樣，雖然對(duì)位標(biāo)記被第一極性涂料圖形覆蓋，但是由于第一極性涂料圖形的表面沒(méi)有第二極性材料，而第一隔離層表面除過(guò)孔處的位置形成第二極性涂料膜層，使得所述第二極性材料膜層和第一極性涂料圖形之間形成邊界，通過(guò)邊界可以顯示出對(duì)位標(biāo)記的位置。
【附圖說(shuō)明】
[0038]圖1為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法的流程圖；
[0039]圖2為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的陣列基板的制備方法的流程圖；
[0040]圖3為圖2所示的在襯底基板的第一板面形成對(duì)位標(biāo)記和薄膜晶體管開(kāi)關(guān)的示意圖；
[0041]圖4為圖2所示的形成覆蓋所述對(duì)位標(biāo)記，薄膜晶體管開(kāi)關(guān)和襯底基板的第一隔離層的示意圖；
[0042]圖5為圖2所示的在所述第一隔離層形成過(guò)孔，露出所述對(duì)位標(biāo)記的示意圖；
[0043]圖6為圖2所示的在所述過(guò)孔處涂覆第一極性涂料，形成第一極性涂料圖形的示意圖；
[0044]圖7為圖2所示的在所述第一極性涂料圖形和第一隔離層的表面涂覆無(wú)法附著在第一極性涂料表面的第二極性黑矩陣材料，形成第二極性黑矩陣涂料膜層的示意圖。
[0045]主要元件附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0046]100襯底基板，200對(duì)位標(biāo)記，310柵極，320柵極絕緣層，330有源層，
[0047]400第一隔離層，410過(guò)孔，
[0048]510第一極性涂料圖形，520第二極性黑矩陣涂料膜層。
【具體實(shí)施方式】
[0049]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0050]實(shí)施例一
[0051]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法，如圖1所示，包括如下步驟:
[0052]步驟SlOl:在襯底基板的第一板面形成對(duì)位標(biāo)記；
[0053]步驟S102:形成覆蓋所述對(duì)位標(biāo)記的第一隔離層；
[0054]步驟S103:在所述第一隔離層形成過(guò)孔，露出所述對(duì)位標(biāo)記；
[0055]步驟S104:在所述過(guò)孔處涂覆第一極性涂料，形成第一極性涂料圖形；
[0056]步驟S105:在所述第一極性涂料圖形和第一隔離層的表面涂覆無(wú)法附著在第一極性涂料表面的第二極性材料，形成第二極性涂料膜層。
[0057]本實(shí)施例的顯示對(duì)位標(biāo)記位置的方法，對(duì)位標(biāo)記形成在襯底基板的第一板面且位于第一隔離層的過(guò)孔內(nèi)；在過(guò)孔處涂覆第一極性涂料，形成第一極性涂料圖形；在第一極性涂料圖形和第一隔離層的表面涂覆無(wú)法附著在第一極性涂料表面的第二極性材料，形成第二極性涂料膜層。這樣，雖然對(duì)位標(biāo)記被第一極性涂料圖形覆蓋，但是由于第一極性涂料圖形的表面沒(méi)有第二極性材料，而第一隔離層表面除過(guò)孔處的位置形成第二極性涂料膜層，使得所述第二極性材料膜層和第一極性涂料圖形之間形成邊界，通過(guò)邊界可以顯示出對(duì)位標(biāo)記的位置。
[0058]作為一種優(yōu)選的方式，所述第一極性涂料是親水性涂料，所述第二極性材料是疏水性材料。
[0059]為了更好地使第二極性涂料不附著在第一極性涂料的表面，所述第一極性涂料采用超親水性涂料，持續(xù)親水角小于5度，原生粒徑為5?50納米，比表面積大于200平方米每克。這樣，第一極性涂料圖形的表面附著第二極性涂料幾率更小，第二極性涂料膜層和第一極性涂料圖形之間形成的邊界更加清晰，能更清晰的顯示出對(duì)位標(biāo)記的位置。
[0060]作為一種優(yōu)選的方