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一種調(diào)節(jié)光束的系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:40397761發(fā)布日期:2024-12-20 12:21閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種調(diào)節(jié)光束的系統(tǒng),其特征在于,包括:反射鏡、面形檢測裝置、計算分析裝置和補(bǔ)償光發(fā)生裝置,其中:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的系統(tǒng),其特征在于,所述第一補(bǔ)償光用于將所述反射鏡的初始面形改變?yōu)榈谝幻嫘伟ǎ核龅谝谎a(bǔ)償光用于與所述入射光共同使所述反射鏡的表面的光學(xué)熱場勻化或所述補(bǔ)償光用于對所述反射鏡的局部區(qū)域加熱使所述反射鏡的局部區(qū)域產(chǎn)生熱形變。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:環(huán)境控制裝置,其中:

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng),其特征在于,所述計算分析裝置根據(jù)所述環(huán)境信息生成環(huán)境控制信息,所述環(huán)境控制信息指示對所述反射鏡所處的環(huán)境進(jìn)行改變,所述環(huán)境控制裝置根據(jù)所述環(huán)境控制信息改變所述反射鏡所處的環(huán)境。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的系統(tǒng),其特征在于,所述環(huán)境信息為所述反射鏡所處的溫度、濕度和真空度中的至少一項。

8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述計算分析裝置,具體用于根據(jù)所述功率信息、所述位置信息、所述第一面形的信息和所述環(huán)境信息生成所述第二指示信息。

9.根據(jù)權(quán)利要求5至8中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:溫度檢測裝置,其中:

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:溫度檢測裝置,其中:

11.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置包括:第二光源、分光裝置、光源發(fā)生裝置和功率測量裝置,其中:

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng),其特征在于,所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置還包括:擴(kuò)束縮束裝置,所述擴(kuò)束縮束裝置位于所述第二光源與所述分光裝置之間,用于改變所述第一光束的光斑直徑。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的系統(tǒng),其特征在于,所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置還包括:測距裝置,所述測距裝置用于獲取所述位置信息。

14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,當(dāng)所述反射鏡處于真空環(huán)境時,所述系統(tǒng)還包括真空腔,所述真空腔包括舷窗,

15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:整形模塊,所述整形模塊位于所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置至所述反射鏡之間的光路上,用于對所述第一補(bǔ)償光進(jìn)行整形。


技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N調(diào)節(jié)光束的系統(tǒng),可以應(yīng)用于對反射波前有較高要求的光學(xué)系統(tǒng)中。該系統(tǒng)包括:反射鏡、面形檢測裝置、計算分析裝置和補(bǔ)償光發(fā)生裝置。其中:反射鏡用于接收來自第一光源的入射光,并出射反射光。面形檢測裝置用于獲取入射光入射后反射鏡的初始面形的信息。計算分析裝置用于根據(jù)初始面形的信息生成第一指示信息,該第一指示信息指示補(bǔ)償光發(fā)生裝置向反射鏡發(fā)射第一補(bǔ)償光。補(bǔ)償光發(fā)生裝置用于根據(jù)第一指示信息向反射鏡發(fā)射第一補(bǔ)償光,該第一補(bǔ)償光用于將反射鏡的初始面形改變?yōu)榈谝幻嫘?。本申請的系統(tǒng)不僅能夠保持反射光的波前,還能夠提升調(diào)控反射光的指向和發(fā)散角的精度。

技術(shù)研發(fā)人員:王旭東,徐文偉,朱海,李昊政,趙冉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華為技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/19
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