1.一種調(diào)節(jié)光束的系統(tǒng),其特征在于,包括:反射鏡、面形檢測裝置、計算分析裝置和補(bǔ)償光發(fā)生裝置,其中:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的系統(tǒng),其特征在于,所述第一補(bǔ)償光用于將所述反射鏡的初始面形改變?yōu)榈谝幻嫘伟ǎ核龅谝谎a(bǔ)償光用于與所述入射光共同使所述反射鏡的表面的光學(xué)熱場勻化或所述補(bǔ)償光用于對所述反射鏡的局部區(qū)域加熱使所述反射鏡的局部區(qū)域產(chǎn)生熱形變。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:環(huán)境控制裝置,其中:
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng),其特征在于,所述計算分析裝置根據(jù)所述環(huán)境信息生成環(huán)境控制信息,所述環(huán)境控制信息指示對所述反射鏡所處的環(huán)境進(jìn)行改變,所述環(huán)境控制裝置根據(jù)所述環(huán)境控制信息改變所述反射鏡所處的環(huán)境。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的系統(tǒng),其特征在于,所述環(huán)境信息為所述反射鏡所處的溫度、濕度和真空度中的至少一項。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述計算分析裝置,具體用于根據(jù)所述功率信息、所述位置信息、所述第一面形的信息和所述環(huán)境信息生成所述第二指示信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求5至8中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:溫度檢測裝置,其中:
10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:溫度檢測裝置,其中:
11.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置包括:第二光源、分光裝置、光源發(fā)生裝置和功率測量裝置,其中:
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng),其特征在于,所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置還包括:擴(kuò)束縮束裝置,所述擴(kuò)束縮束裝置位于所述第二光源與所述分光裝置之間,用于改變所述第一光束的光斑直徑。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的系統(tǒng),其特征在于,所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置還包括:測距裝置,所述測距裝置用于獲取所述位置信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,當(dāng)所述反射鏡處于真空環(huán)境時,所述系統(tǒng)還包括真空腔,所述真空腔包括舷窗,
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:整形模塊,所述整形模塊位于所述補(bǔ)償光發(fā)生裝置至所述反射鏡之間的光路上,用于對所述第一補(bǔ)償光進(jìn)行整形。