本實用新型涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于承載掩膜板的承載臺、掩膜板、掩膜板固定組件。

背景技術(shù)：

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩陣有機發(fā)光二極體)顯示的實現(xiàn)方式有LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低溫多晶硅技術(shù))背板+精細(xì)金屬掩膜(FMM Mask)方式。利用掩膜板進行蒸鍍之前，需要把掩膜板放置于光刻系統(tǒng)中的承載臺上，光刻前需保證Mask Mark(掩膜板標(biāo)記)在CCD視野范圍之內(nèi)，Align(光刻)才可能成功。這樣掩膜板要被限制或固定在一個區(qū)域內(nèi)。目前的固定方式為四邊軸承固定，在掩膜板定位過程中，軸承起導(dǎo)向和限位的雙重作用，如圖1所示。但是，這種固定方式存在以下不足：

1.由于軸承起導(dǎo)向作用，經(jīng)常受掩膜板擠壓力，容易松動導(dǎo)致位置發(fā)生偏移，從而限位作用產(chǎn)生大的誤差，導(dǎo)致掩膜板上的標(biāo)記偏離出CCD視野范圍之外，從而導(dǎo)致光刻失敗。

2.理想狀況下掩膜板到達預(yù)定位置后各邊與固定軸承分離，距離為0.1mm。但是實際情況下掩膜板與固定軸承的相對位置并不固定，有時會發(fā)生掩膜板的一邊與軸承緊貼，這樣掩膜板邊緣受力，邊緣FMM Sheet PPA(掩膜板邊緣受力不均會發(fā)生偏移，這樣在蒸鍍時蒸鍍膜會相對于像素發(fā)生一個位置偏移，由此產(chǎn)生的偏移量稱為PPA)發(fā)生變化，造成顯示器件邊緣混色。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種用于承載掩膜板的承載臺、掩膜板、掩膜板固定組件，提高掩膜板在承載臺上的位置穩(wěn)定性，降低混色發(fā)生比率。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：一種用于承載掩膜板的承載臺，所述承載臺上設(shè)置有能夠與待承載掩膜板上第二固定結(jié)構(gòu)相配合的第一固定結(jié)構(gòu)，所述第一固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述承載臺上能夠與所述待承載掩膜板的邊緣區(qū)域接觸的多個支撐桿，通過所述第一固定結(jié)構(gòu)與所述第二固定結(jié)構(gòu)相配合，能夠使得待承載掩膜板在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間切換，

其中，第一狀態(tài)下，所述待承載掩膜板與多個支撐桿中的第一支撐桿接觸且繞所述第一支撐桿的軸線在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，在第二狀態(tài)下，所述待承載掩膜板與多個支撐桿中的至少兩個支撐桿接觸且相對所述承載臺固定。

進一步的，所述第一固定結(jié)構(gòu)包括對應(yīng)于所述掩膜板四個邊角設(shè)置于所述承載臺上的四個支撐桿。

進一步的，所述支撐桿與所述掩膜板接觸的一端為球面結(jié)構(gòu)。

進一步的，還包括用于調(diào)整每個所述支撐桿高度以使得所述承載臺上的掩膜板位于水平面的調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括可伸縮設(shè)置的第一連接桿和第二連接桿，所述第一連接桿和所述第二連接桿連接形成所述支撐桿的桿體。

本實用新型還提供一種掩膜板，所述掩膜板上設(shè)有能夠與用于承載掩膜板的承載臺上的第一固定結(jié)構(gòu)相配合的第二固定結(jié)構(gòu)，所述第二固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述掩膜板面向所述承載臺的一面的邊緣區(qū)域的第一連接部，所述第一連接部能夠與所述第一固定結(jié)構(gòu)配合以使得所述掩膜板在水平面上旋轉(zhuǎn)運動；

所述第二固定結(jié)構(gòu)還包括設(shè)置于所述掩膜板面向所述承載臺的一面的邊緣區(qū)域的第二連接部，所述第二連接部能夠與所述第一固定結(jié)構(gòu)配合以使得所述掩膜板相對于所述承載臺固定。

進一步的，所述第一連接部為設(shè)置于所述掩膜板第一邊角的第一凹槽，所述第一凹槽的內(nèi)表面與所述第一固定結(jié)構(gòu)相配合以使得所述掩膜板在水平面上旋轉(zhuǎn)運動的曲面結(jié)構(gòu)。

進一步的，所述第二連接部為設(shè)置于所述掩膜板第二邊角的第二凹槽，該第二凹槽為一條形凹槽，條形凹槽的長度方向和第一方向相垂直，所述第一方向為與所述掩膜板的旋轉(zhuǎn)反向相切的切線方向，所述第二邊角與所述第一邊角相鄰或相對。

進一步的，所述第二凹槽在垂直于掩膜板的方向上的截面為梯形，且該梯形遠(yuǎn)離所述承載臺的一邊的長度小于梯形靠近所述承載臺的一邊的長度。

本實用新型還提供一種掩膜板固定組件，包括掩膜板和用于承載掩膜板的承載臺，還包括相配合以將掩膜板限定于所述承載臺上的預(yù)設(shè)區(qū)域的第一固定結(jié)構(gòu)和第二固定結(jié)構(gòu)；

所述第一固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述承載臺上的、能夠與所述掩膜板的邊緣區(qū)域接觸的多個支撐桿；

所述第二固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述掩膜板面向所述承載臺的一面的邊緣區(qū)域的第一連接部，所述第一連接部能夠旋轉(zhuǎn)的連接于多個所述支撐桿中的第一支撐桿上、以使得所述掩膜板在水平面上旋轉(zhuǎn)運動；

所述第二固定結(jié)構(gòu)還包括設(shè)置于所述掩膜板面向所述承載臺的一面的邊緣區(qū)域的第二連接部，所述第二連接部能夠與多個所述支撐桿中的第二支撐桿卡接、以使得所述掩膜板固定。

進一步的，所述第一固定結(jié)構(gòu)包括對應(yīng)于所述掩膜板四個邊角設(shè)置于所述承載臺上的四個支撐桿。

進一步的，所述支撐桿與所述掩膜板接觸的一端為球面結(jié)構(gòu)。

進一步的，所述第一連接部為設(shè)置于所述掩膜板第一邊角的第一凹槽，該第一凹槽的內(nèi)表面為與多個所述支撐桿中的第一支撐桿的球面結(jié)構(gòu)相匹配的曲面結(jié)構(gòu)。

進一步的，所述第二連接部為設(shè)置于所述掩膜板第二邊角的第二凹槽，該第二凹槽為一條形凹槽，條形凹槽的長度方向和第一方向相垂直，所述第一方向為與所述掩膜板的旋轉(zhuǎn)反向相切的切線方向，所述第二邊角與所述第一邊角相鄰或相對。

進一步的，所述第二凹槽在垂直于掩膜板的方向上的截面為梯形，且該梯形遠(yuǎn)離所述承載臺的一邊的長度小于梯形靠近所述承載臺的一邊的長度。

進一步的，還包括用于調(diào)整每個所述支撐桿高度以使得所述承載臺上的掩膜板位于水平面的調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括可伸縮設(shè)置的第一連接桿和第二連接桿，所述第一連接桿和所述第二連接桿連接形成所述支撐桿的桿體。

本實用新型的有益效果是：承載臺上的第一固定結(jié)構(gòu)和掩膜板上的第二固定結(jié)構(gòu)相配合，將掩膜板限位固定于承載臺上的預(yù)設(shè)區(qū)域，且第一固定結(jié)構(gòu)采用支撐桿的結(jié)構(gòu)形式支撐固定掩膜板，降低了掩膜板的邊緣受力使得掩膜板偏移而造成的混色比率。

附圖說明

圖1表示現(xiàn)有技術(shù)中掩膜板固定于承載臺的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2表示本實用新型實施例中承載臺俯視圖；

圖3表示本實用新型實施例中承載臺側(cè)視圖；

圖4表示本實用新型實施例中掩膜板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5表示本實用新型實施例中第一凹槽結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6表示本實用新型實施例中第二凹槽結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型的特征和原理進行詳細(xì)說明，所舉實施例僅用于解釋本實用新型，并非以此限定本實用新型。

如圖2和圖3所示，本實施例提供一種用于承載掩膜板的承載臺，所述承載臺1上設(shè)置有能夠與待承載掩膜板上第二固定結(jié)構(gòu)相配合的第一固定結(jié)構(gòu)，所述第一固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述承載臺1上能夠與所述待承載掩膜板3的邊緣區(qū)域接觸的多個支撐桿2，通過所述第一固定結(jié)構(gòu)與所述第二固定結(jié)構(gòu)相配合，能夠使得待承載掩膜板在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間切換，

其中，第一狀態(tài)下，所述待承載掩膜板與多個支撐桿2中的第一支撐桿2接觸且繞所述第一支撐桿2的軸線在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，在第二狀態(tài)下，所述待承載掩膜板與多個支撐桿2中的至少兩個支撐桿2接觸且相對所述承載臺1固定。

承載臺1上的第一固定結(jié)構(gòu)和掩膜板3上的第二固定結(jié)構(gòu)相配合，將掩膜板3限位固定于承載臺1上的預(yù)設(shè)區(qū)域，且第一固定結(jié)構(gòu)采用支撐桿2的結(jié)構(gòu)形式支撐固定掩膜板3，在第一狀態(tài)下，待承載掩膜板3可繞所述第一支撐桿2的軸線在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、實現(xiàn)掩膜板3在一水平面內(nèi)的位置的水平調(diào)整，在第二狀態(tài)下，所述待承載掩膜板3相對于所述承載臺1固定，減少待承載掩膜板3邊緣的受力，降低待承載掩膜板3邊緣混色比率。

本實施例中，所述第一固定結(jié)構(gòu)包括對應(yīng)于所述掩膜板3四個邊角設(shè)置于所述承載臺1上的四個支撐桿2，四個支撐桿2的設(shè)置足以支撐待承載掩膜板3，且四個支撐桿2對應(yīng)于待承載掩膜板3的四個邊角設(shè)置，保證待承載掩膜板3可穩(wěn)定于一水平面上。

需要說明的是，所述第一固定結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要實現(xiàn)與所述第二固定結(jié)構(gòu)相配合將掩膜板3限位于承載臺1上的預(yù)設(shè)區(qū)域即可，并不限于上述結(jié)構(gòu)形式，所述支撐桿2的數(shù)量也可以是其他，只要穩(wěn)定的承載掩膜板即可，四個支撐桿2的位置也可以對應(yīng)于掩膜板邊緣的其他位置，不限于邊角。

本實施例中，所述支撐桿2與所述掩膜板3接觸的一端為球面結(jié)構(gòu)，便于掩膜板3位置的微調(diào)，且防止掩膜板3時，支撐桿2對掩膜板3造成損傷。

本實施例中，承載臺1還包括用于調(diào)整每個所述支撐桿2高度以使得所述承載臺1上的掩膜板3位于水平面的調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要實現(xiàn)所述支撐桿2高度的調(diào)整即可，

本實施例的一實施方式中，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括可伸縮設(shè)置的第一連接桿和第二連接桿，所述第一連接桿和所述第二連接桿連接形成所述支撐桿2的桿體。

所述支撐桿2的高度的調(diào)整可以是自動的，也可以是手動的，相應(yīng)的所述調(diào)整結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，例如，在一手動實現(xiàn)支撐桿2高度調(diào)整的實施方式中，所述第一連接桿的一端設(shè)置有所述球面結(jié)構(gòu)，所述第一連接桿的另一端插裝于所述第二連接桿內(nèi)，所述第一連接桿的外周面上設(shè)有連接塊，連接塊通過彈性件彈性連接于所述連接桿上，所述第二連接桿的外周面上、沿其軸線設(shè)有多個通孔，所述第一連接桿與所述第二連接桿固定連接，所述連接塊穿過多個通孔中的第一通孔、并外露于所述第二連接桿，需要調(diào)整所述支撐桿2的高度時，手動按下所述連接塊、使得所述連接塊從所述第一通孔內(nèi)脫離，此時，所述第一連接桿可相對于所述第二連接桿移動，調(diào)整到需要的高度時，只要松開手并使得所述連接塊穿過多個通孔中的第二通孔，此時所述第一連接桿和所述第二連接桿相對固定。

本實施例的另一實施方式中，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括與每個支撐桿2連接的氣缸，氣缸可與所述第一連接桿連接，使得所述第一連接桿相對于所述第二連接桿移動以調(diào)節(jié)所述支撐桿2的高度。

本實施例的另一實施方式中，所述支撐桿2為一整體結(jié)構(gòu)，即所述支撐桿2包括一個桿狀結(jié)構(gòu)，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括可控制所述支撐桿2升降的氣缸，或者電機。

本實施例另一實施方式中，所述承載臺包括一中空腔體，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括在所述中空腔體內(nèi)對應(yīng)掩膜板3邊角的位置設(shè)置有豎直方向的軌道，所述支撐桿2可移動的設(shè)置于所述軌道上。

如圖4所示，本實用新型還提供一種掩膜板3，所述掩膜板3上設(shè)有能夠與用于承載掩膜板3的承載臺1上的第一固定結(jié)構(gòu)相配合的第二固定結(jié)構(gòu)，所述第二固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述掩膜板3面向所述承載臺1的一面的邊緣區(qū)域的第一連接部，所述第一連接部能夠與所述第一固定結(jié)構(gòu)配合以使得所述掩膜板3在水平面上旋轉(zhuǎn)運動；

所述第二固定結(jié)構(gòu)還包括設(shè)置于所述掩膜板3面向所述承載臺1的一面的邊緣區(qū)域的第二連接部，所述第二連接部能夠與所述第一固定結(jié)構(gòu)配合以使得所述掩膜板3相對于所述承載臺1固定。

承載臺1上的第一固定結(jié)構(gòu)和掩膜板3上的第二固定結(jié)構(gòu)相配合，將掩膜板3限位固定于承載臺1上的預(yù)設(shè)區(qū)域，且第一固定結(jié)構(gòu)采用支撐桿2的結(jié)構(gòu)形式支撐固定掩膜板3，第一連接部的設(shè)置使得待承載掩膜板3在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、實現(xiàn)掩膜板3在一水平面內(nèi)的位置的水平調(diào)整，第二連接部的設(shè)置使得所述待承載掩膜板3相對于所述承載臺1固定，減少待承載掩膜板3邊緣的受力，降低待承載掩膜板3邊緣混色比率。

如圖5所示，本實施例中，所述第一連接部為設(shè)置于所述掩膜板3第一邊角的第一凹槽31，所述第一凹槽31的內(nèi)表面與所述第一固定結(jié)構(gòu)相配合以使得所述掩膜板3在水平面上旋轉(zhuǎn)運動的曲面結(jié)構(gòu)。

第一凹槽31為一碗狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)表面為曲面結(jié)構(gòu)，利于第一固定結(jié)構(gòu)與第一凹槽31的內(nèi)表面相配合利于掩膜板3的旋轉(zhuǎn)運動。

所述第一凹槽31是在所述掩膜板3的第一邊角處設(shè)置開口、并向內(nèi)凹陷形成。

本實施例另一實施方式中，所述第一連接部為一碗狀結(jié)構(gòu)的卡槽，該卡槽固定連接于掩膜板3的第一邊角，即碗狀結(jié)構(gòu)的端面是外露于掩膜板3表面的、碗狀結(jié)構(gòu)的端面的高度高于掩膜板3表面。該卡槽可與掩膜板3一體成型，也可以分別制作完成后、再將卡槽與掩膜板3固定連接。

如圖4和圖6所示，本實施例中，所述第二連接部為設(shè)置于所述掩膜板3第二邊角的第二凹槽32，該第二凹槽32為一條形凹槽，條形凹槽的長度方向和第一方向相垂直，所述第一方向為與所述掩膜板3的旋轉(zhuǎn)反向相切的切線方向，所述第二邊角與所述第一邊角相鄰或相對。

第一凹槽31的設(shè)置實現(xiàn)了掩膜板3可以在一水平面上的旋轉(zhuǎn)，且是只繞著所述第一凹槽31進行旋轉(zhuǎn)，第二凹槽32的設(shè)置起到阻止掩膜板3旋轉(zhuǎn)的作用，所述第二凹槽32的位置與所述第一凹槽31的位置相鄰或相對，保證掩膜板3與承載臺1的相對穩(wěn)定性，將掩膜板3穩(wěn)定的限位于預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)。

本實施例中，所述第二凹槽32在垂直于掩膜板3的方向上的截面為梯形，且該梯形遠(yuǎn)離所述承載臺1的一邊的長度小于梯形靠近所述承載臺1的一邊的長度(即圖6中第一邊322的長度小于第二邊321的長度，需要說明的是，第一邊采用虛線表示，該第一邊實際上并不存在、)，即第二凹槽32底部的面積小于第二凹槽32頂部開口的面積。

在掩膜板3發(fā)生位置移動時支撐桿2會向靠近第二凹槽32底部的方向移動，第二凹槽32的梯形截面的設(shè)置使得掩膜板3與承載臺1之間連接更加穩(wěn)定。

所述第二凹槽32是在所述掩膜板3的第二邊角處設(shè)置開口、并向內(nèi)凹陷形成。

本實施例另一實施方式中，所述第二連接部為設(shè)置于所述第二邊角處的梯形卡槽，該梯形卡槽的底部面積小于梯形卡槽頂部開口的面積。該梯形卡槽可與掩膜板3一體成型、也可以分別制作后、再將梯形卡槽與掩膜板3固定連接。

本實用新型還提供一種掩膜板3固定組件，包括掩膜板3和用于承載掩膜板3的承載臺1，還包括相配合以將掩膜板3限定于所述承載臺1上的預(yù)設(shè)區(qū)域的第一固定結(jié)構(gòu)和第二固定結(jié)構(gòu)；

所述第一固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述承載臺1上的、能夠與所述掩膜板3的邊緣區(qū)域接觸的多個支撐桿2；

所述第二固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述掩膜板3面向所述承載臺1的一面的邊緣區(qū)域的第一連接部，所述第一連接部能夠旋轉(zhuǎn)的連接于多個所述支撐桿2中的第一支撐桿2上、以使得所述掩膜板3在水平面上旋轉(zhuǎn)運動；

所述第二固定結(jié)構(gòu)還包括設(shè)置于所述掩膜板3面向所述承載臺1的一面的邊緣區(qū)域的第二連接部，所述第二連接部能夠與多個所述支撐桿2中的第二支撐桿2卡接、以使得所述掩膜板3固定。

承載臺1上的第一固定結(jié)構(gòu)和掩膜板3上的第二固定結(jié)構(gòu)相配合，將掩膜板3限位固定于承載臺1上的預(yù)設(shè)區(qū)域，且第一固定結(jié)構(gòu)采用支撐桿2的結(jié)構(gòu)形式支撐固定掩膜板3，第二固定結(jié)構(gòu)中第一連接部的設(shè)置使得待承載掩膜板3在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、實現(xiàn)掩膜板3在一水平面內(nèi)的位置的水平調(diào)整，第二固定結(jié)構(gòu)中第二連接部的設(shè)置使得所述待承載掩膜板3相對于所述承載臺1固定，減少待承載掩膜板3邊緣的受力，降低待承載掩膜板3邊緣混色比率。

需要說明的是，所述第一固定結(jié)構(gòu)、第二固定結(jié)構(gòu)除了可以將掩膜板3限位固定于承載臺1上的預(yù)設(shè)區(qū)域，還具有調(diào)整位置以實現(xiàn)最終的限位固定的功能，所以第一固定結(jié)構(gòu)、第二固定結(jié)構(gòu)是指動態(tài)意義上的固定，包括調(diào)整到預(yù)設(shè)位置以限位固定的過程。進一步的，所述第一固定結(jié)構(gòu)包括對應(yīng)于所述掩膜板3四個邊角設(shè)置于所述承載臺1上的四個支撐桿2。

進一步的，所述支撐桿2與所述掩膜板3接觸的一端為球面結(jié)構(gòu)。

進一步的，所述第一連接部為設(shè)置于所述掩膜板3第一邊角的第一凹槽31，該第一凹槽31的內(nèi)表面為與多個所述支撐桿2中的第一支撐桿2的球面結(jié)構(gòu)相匹配的曲面結(jié)構(gòu)。

進一步的，所述第二連接部為設(shè)置于所述掩膜板3第二邊角的第二凹槽32，該第二凹槽32為一條形凹槽，條形凹槽的長度方向和第一方向相垂直，所述第一方向為與所述掩膜板3的旋轉(zhuǎn)反向相切的切線方向，所述第二邊角與所述第一邊角相鄰或相對。

進一步的，所述第二凹槽32在垂直于掩膜板3的方向上的截面為梯形，且該梯形遠(yuǎn)離所述承載臺1的一邊的長度小于梯形靠近所述承載臺1的一邊的長度。

進一步的，還包括用于調(diào)整每個所述支撐桿2高度以使得所述承載臺1上的掩膜板3位于水平面的調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括可伸縮設(shè)置的第一連接桿和第二連接桿，所述第一連接桿和所述第二連接桿連接形成所述支撐桿2的桿體。

在實際使用中，掩膜板3在放置于承載臺1的過程中，可以先將第一固定結(jié)構(gòu)與第一連接部相配合，在調(diào)整掩膜板3于預(yù)設(shè)位置后，再將所述第一固定結(jié)構(gòu)與所述第二連接部相配合以使得掩膜板3穩(wěn)定的固定于承載臺1上。也可以直接將掩膜板3架設(shè)于四個所述支撐桿2上，即第一凹槽31與相應(yīng)的支撐桿2、第二凹槽32與相應(yīng)的支撐桿2、以及掩膜板3上的另外兩個邊角與相應(yīng)的支撐桿2是同時接觸的，但由于支撐桿2端面球面結(jié)構(gòu)的設(shè)置、以及所述第一凹槽31與相應(yīng)支撐桿2的配合，掩膜板3仍然可以在水平面上旋轉(zhuǎn)，然而由于第二凹槽32與相應(yīng)的支撐桿2的配合，掩膜板3的移動范圍較小、保證掩膜板3的標(biāo)記始終位于預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)，且隨著掩膜板3的移動，與所述第二凹槽32對應(yīng)的支撐桿2向第二凹槽32的底部移動、使得掩膜板3與承載臺1之間連接更加穩(wěn)定。

調(diào)整結(jié)構(gòu)的設(shè)置保證了掩膜板3處于掩膜板3始終保持在一水平面上，而不會產(chǎn)生傾斜。

從圖3中可以看出，由于掩膜板的左側(cè)邊緣的第一邊角和第二邊角分別相應(yīng)設(shè)置了第一凹槽、第二凹槽，通過調(diào)整結(jié)構(gòu)的調(diào)整，左邊的支撐桿2的高度與右邊的支撐桿2的高度不同，以保證掩膜板整體位于一水平面上。

以上所述為本實用新型較佳實施例，需要說明的是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型保護范圍。