1.一種光學(xué)加工系統(tǒng)，其特征在于，包括沿光路方向依次設(shè)置的照明光源、空間光調(diào)制器、微透鏡陣列和成像透鏡，所述空間光調(diào)制器位于所述微透鏡陣列的前焦面，所述成像透鏡的前焦面與所述微透鏡陣列的后焦面重合，所述空間光調(diào)制器為振幅型，具有二維分布的多個(gè)圖塊，所述微透鏡陣列包括分布于同一平面內(nèi)的多個(gè)微透鏡，每個(gè)所述微透鏡分別在主光軸方向上與一個(gè)所述圖塊對(duì)應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)加工系統(tǒng)，其特征在于：每個(gè)所述圖塊由單個(gè)或者多個(gè)像素組成，每個(gè)像素可獨(dú)立設(shè)置為開(kāi)啟或關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)加工系統(tǒng)，其特征在于：所述成像透鏡為物方遠(yuǎn)心成像鏡頭，其像方數(shù)值孔徑大于等于0.3。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)加工系統(tǒng)，其特征在于：光路方向上還設(shè)置有前級(jí)鏡組，該前級(jí)鏡組設(shè)置于所述空間光調(diào)制器和微透鏡陣列之間，所述前級(jí)鏡組包括沿光路方向設(shè)置的第一透鏡和第二透鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的光學(xué)加工系統(tǒng)，其特征在于：光路方向上還設(shè)置有中繼鏡組，該中繼鏡組設(shè)置于微透鏡陣列和成像透鏡之間，所述中繼鏡組包括沿光路方向上依次設(shè)置的第三透鏡、第一半透半反分光反射鏡和第四透鏡。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)加工系統(tǒng)，其特征在于：還包括聚焦檢測(cè)光路，該聚焦檢測(cè)光路包括光電探測(cè)器、第五透鏡、第六透鏡、檢測(cè)光源和第二半透半反分光反射鏡，所述光電探測(cè)器位于第五透鏡焦面，第五透鏡的焦點(diǎn)和成像透鏡的焦點(diǎn)處于共軛位置，檢測(cè)光源發(fā)出平行光，經(jīng)過(guò)第二半透半反分光反射鏡、第六透鏡、第一半透半反分光反射鏡、第四透鏡和成像透鏡到達(dá)加工工件表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)加工系統(tǒng)，其特征在于：還包括第七透鏡和切換裝置，在第一狀態(tài)，所述切換裝置帶動(dòng)前級(jí)鏡組和微透鏡陣列整體移動(dòng)至空間光調(diào)制器和成像透鏡之間的光路，在第二狀態(tài)，所述切換裝置帶動(dòng)所述第七透鏡移動(dòng)至空間光調(diào)制器和成像透鏡之間的光路，同時(shí)將前級(jí)鏡組和微透鏡陣列整體移出。