本發(fā)明涉及曝光行業(yè)的生產(chǎn)及加工領(lǐng)域，具體地是涉及一種檢測顯示性能的檢測板及其檢測方法。

背景技術(shù)：

目前在曝光行業(yè)的生產(chǎn)及加工領(lǐng)域，在測試時(shí)都是先使用曝光尺先對設(shè)備進(jìn)行能量測試，經(jīng)過反復(fù)測試能量達(dá)到使用要求后，再用正式菲林對正式板進(jìn)行實(shí)際曝光操作，等顯影后對顯影的實(shí)物進(jìn)行確認(rèn)及量測，以便確認(rèn)實(shí)際曝光的效果是否滿足需求，如果不滿足還要繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整曝光參數(shù)。上述的操作步驟復(fù)雜且費(fèi)時(shí)，同時(shí)也浪費(fèi)檢驗(yàn)設(shè)備及人力資源，生產(chǎn)效率也很低。而且曝光尺也只能測試設(shè)備能量，不能測試設(shè)備的曝光精度，所以我司設(shè)計(jì)研發(fā)了一種可以快速檢測曝光精度及曝光所需能量的檢測板，且操作方法簡單便捷，更提高了檢測的效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于以上內(nèi)容，本發(fā)明提供了一種檢測顯示性能的檢測板及其檢測方法，該檢測板是在透明介質(zhì)上加工出不同粗細(xì)的線條，且線條排列的間距大小不一，并且在檢測板的側(cè)邊上用阿拉伯?dāng)?shù)據(jù)明確標(biāo)記出該處線條粗細(xì)和線條間的距離。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種檢測顯示性能的檢測板，包括一介質(zhì)板a；所述的介質(zhì)板a上的同一水平方向上設(shè)有不同的圖形，圖形在介質(zhì)板a上呈一定的規(guī)則排布；所述的圖形上包括有不同粗細(xì)的圖形線，所述的圖形線之間也呈規(guī)則排布；所述的不同的圖形之間留設(shè)有規(guī)則排布的圖形間距；所述的圖形的一側(cè)還設(shè)有標(biāo)示符，所述的標(biāo)示符與圖形之間至少設(shè)有一個(gè)空白間隙；所述的不同的圖形線之間設(shè)有圖形線間距，所述的圖形線間距呈有序規(guī)則排布；所述的圖形線及圖形間距的尺寸精度必須為0.01mm。

其進(jìn)一步地的特征如下：

所述的介質(zhì)板a上的圖形由大到小規(guī)則排布或圖形由小到大規(guī)則排布；

所述的圖形間距由大到小規(guī)則排布或由小到大規(guī)則排布；

所述的介質(zhì)板a上的圖形至少設(shè)有兩個(gè)；

所述的介質(zhì)板a的材料為可抗紫外線的高透明材料，所述的介質(zhì)板a為黑色圖形；

所述的標(biāo)示符的范圍為0~10㎜。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種檢測顯示性能的檢測板的檢測方法，其特征在于：包括如下步驟：

（1）首先將一個(gè)介質(zhì)板a（如圖1）正面放置到要曝光的介質(zhì)板b上（如圖2），然后把介質(zhì)板a和介質(zhì)板b一起放置到曝光機(jī)中，根據(jù)介質(zhì)板a上的圖形文件對介質(zhì)板b進(jìn)行曝光處理(如圖3)；

（2）經(jīng)曝光處理后的介質(zhì)板b進(jìn)行顯影處理，介質(zhì)板b上會(huì)顯影出介質(zhì)板a上的圖形（如圖4）；

（3）再將介質(zhì)板a和曝光后的介質(zhì)板b放置一起（如圖5），用介質(zhì)板a上的不同的粗細(xì)圖形線或不同數(shù)值的圖形線間距作為標(biāo)準(zhǔn)與顯影后介質(zhì)板b上的線條進(jìn)行比對；

（4）最后對顯影介質(zhì)板b上的圖形和介質(zhì)板a進(jìn)行重疊比對，重疊一致的數(shù)據(jù)即作為最終的評判數(shù)據(jù)，此數(shù)據(jù)是判定介質(zhì)板b的曝光精度和能力的標(biāo)準(zhǔn)。

由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比可以快速檢測檢測板的曝光精度及曝光所需的能量，且其檢測方法操作簡單，提高了檢測的效率，加速了曝光行業(yè)的生產(chǎn)加工過程，給企業(yè)帶來了巨大的經(jīng)濟(jì)效益。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明中介質(zhì)板a的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明中介質(zhì)板b的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明中介質(zhì)板a和介質(zhì)板b在曝光機(jī)中曝光時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是介質(zhì)板b顯影處理后的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是介質(zhì)板a和曝光后的介質(zhì)板b進(jìn)行對比時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中1、介質(zhì)板a；2、介質(zhì)板b；3、圖形；4、圖形線；5、圖形線間距；6、標(biāo)示符；7、圖形間距。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例，對本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步的詳細(xì)說明：

如圖1至圖5所示的一種檢測顯示性能的檢測板，包括一介質(zhì)板a1；所述的介質(zhì)板a1上的同一水平方向上設(shè)有不同的圖形3，圖形3在介質(zhì)板a1上呈一定的規(guī)則排布；所述的圖形3上包括有不同粗細(xì)的圖形線4，所述的圖形線4之間也呈規(guī)則排布；所述的不同的圖形3之間留設(shè)有規(guī)則排布的圖形間距7；所述的圖形3的一側(cè)還設(shè)有標(biāo)示符6，所述的標(biāo)示符6與圖形3之間至少設(shè)有一個(gè)空白間隙；所述的不同的圖形線4之間設(shè)有圖形線間距5，所述的圖形線間距5呈有序規(guī)則排布；所述的圖形線4及圖形間距7的尺寸精度必須為0.01mm。

其進(jìn)一步地的特征如下：

所述的介質(zhì)板a1上的圖形由大到小規(guī)則排布或圖形由小到大規(guī)則排布；

所述的圖形間距7由大到小規(guī)則排布或由小到大規(guī)則排布；

所述的介質(zhì)板a1上的圖形3至少設(shè)有兩個(gè)；

所述的介質(zhì)板a1的材料為可抗紫外線的高透明材料，所述的介質(zhì)板a1為黑色圖形；

所述的標(biāo)示符6的范圍為0~10㎜。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種檢測顯示性能的檢測板的檢測方法，其特征在于：包括如下步驟：

（1）首先將一個(gè)介質(zhì)板a1（如圖1）正面放置到要曝光的介質(zhì)板b2上（如圖2），然后把介質(zhì)板a1和介質(zhì)板b2一起放置到曝光機(jī)中，根據(jù)介質(zhì)板a1上的圖形文件對介質(zhì)板b2進(jìn)行曝光處理(如圖3)；

（2）經(jīng)曝光處理后的介質(zhì)板b2進(jìn)行顯影處理，介質(zhì)板b2上會(huì)顯影出介質(zhì)板a1上的圖形（如圖4）；

（3）再將介質(zhì)板a1和曝光后的介質(zhì)板b2放置一起（如圖5），用介質(zhì)板a1上的不同粗細(xì)的圖形線4或不同數(shù)值的圖形線間距5作為標(biāo)準(zhǔn)與顯影后介質(zhì)板b2上的線條進(jìn)行比對；（4）最后對顯影介質(zhì)板b2上的圖形和介質(zhì)板a1進(jìn)行重疊比對，重疊一致的數(shù)據(jù)即作為最終的評判數(shù)據(jù)，此數(shù)據(jù)是判定介質(zhì)板b2的曝光精度和能力的標(biāo)準(zhǔn)。

上述實(shí)施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種檢測顯示性能的檢測板，包括一介質(zhì)板A；所述的介質(zhì)板A上的同一水平方向上設(shè)有不同的圖形，圖形在介質(zhì)板A上呈一定的規(guī)則排布；所述的圖形上包括有不同粗細(xì)的圖形線，所述的圖形線之間也呈規(guī)則排布；所述的不同的圖形之間留設(shè)有規(guī)則排布的圖形間距；所述的圖形的一側(cè)還設(shè)有標(biāo)示符，所述的標(biāo)示符與圖形之間至少設(shè)有一個(gè)空白間隙；所述的不同的圖形線之間設(shè)有圖形線間距，所述的圖形線間距呈有序規(guī)則排布；所述的圖形線及圖形間距的尺寸精度必須為0.01mm。本發(fā)明還公開了檢測板的檢測方法，此方法可快速檢測檢測板的曝光精度及曝光所需的能量，且方法操作簡單，提高了檢測的效率，加速了曝光行業(yè)的生產(chǎn)加工過程。

技術(shù)研發(fā)人員：程天順;趙勇偉;張俊鵬;張小勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州燈龍光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.25
技術(shù)公布日：2017.08.11