技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種溫控雙V形結(jié)構(gòu)精密連續(xù)調(diào)節(jié)金屬納米光柵周期的裝置及方法。本發(fā)明是利用溫控的方法和微納加工工藝實現(xiàn)的。可運用于光柵光學(xué)、微納光學(xué)領(lǐng)域。利用微納加工技術(shù)制作金屬納米光柵和雙V形對稱結(jié)構(gòu)，利用雙V形對稱結(jié)構(gòu)的溫控作用實現(xiàn)對納米光柵周期的精密調(diào)控。由于雙V形對稱結(jié)構(gòu)在外加電壓作用下產(chǎn)生焦耳熱，溫度升高會使得V形結(jié)構(gòu)拉伸，可以在納米級別的精度連續(xù)上改變光柵周期。擴展了溫控V形對稱結(jié)構(gòu)的應(yīng)用范圍，為光柵光學(xué)和微納光學(xué)的發(fā)展提供了有價值的參考。

技術(shù)研發(fā)人員：向東;王玲;趙智凱;張偉強;倪立發(fā)
受保護的技術(shù)使用者：南開大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.13
技術(shù)公布日：2017.08.04