本申請是申請日為2013年9月30日、申請?zhí)枮?01380051034.7、發(fā)明名稱為“眼鏡鏡片”的申請的分案申請。相關(guān)申請的相互參照本申請主張2012年9月28日提出申請的日本特愿2012-217200號及日本特愿2012-217204號的優(yōu)先權(quán)，其記載的全部內(nèi)容在此作為公開特別引用。本發(fā)明涉及眼鏡鏡片，詳細(xì)而言，涉及具有可以顯示良好的耐熱性(耐裂性)及耐擦傷性的蒸鍍膜的眼鏡鏡片。
背景技術(shù)：
：一般而言，眼鏡鏡片利用鏡片基材實現(xiàn)所希望的折射率，同時通過在鏡片基材上形成各種功能膜而賦予各種性能。作為這樣的功能膜，廣泛使用對鏡片表面賦予防反射性能的防反射膜，其中，鋯(zr)氧化物的蒸鍍膜在構(gòu)成多層防反射膜的高折射率層中最廉價，因此，在成本方面是有利的(例如參照特開2009-193022號公報，其中記載的全部內(nèi)容在此作為公開內(nèi)容特別引用)。另外，與鋯氧化物的蒸鍍膜同樣，鉭(ta)氧化物的蒸鍍膜也可以作為高折射率層發(fā)揮作用。對于眼鏡鏡片而言，要求其具有即使放置在各種環(huán)境下也不會劣化的優(yōu)異的耐久性。例如，眼鏡鏡片有時在洗浴時佩戴、或在夏季放置于汽車內(nèi)，或在戶外進(jìn)行長時間活動的使用者所佩戴，因此，期望在放置于這樣的高溫下的情況下不會引起裂紋而保持良好的品質(zhì)，但對于具有鋯氧化物及鉭氧化物的蒸鍍膜的眼鏡鏡片而言，在高溫下該蒸鍍膜上產(chǎn)生裂紋，由此，有時產(chǎn)生光學(xué)特性降低或構(gòu)成多層防反射膜的層間密合性降低的現(xiàn)象。此外，對于眼鏡鏡片還要求即使施加外力也具有不會產(chǎn)生傷痕或裂紋的優(yōu)異的耐擦傷性。眼鏡鏡片在除去指紋或灰塵等附著在鏡片面上的污漬時等要施加各種外力。這是因為，在這樣的外力作用下產(chǎn)生的傷痕或裂紋成為產(chǎn)生眼鏡鏡片的光學(xué)特性降低或構(gòu)成多層防反射膜的層間密合性降低的現(xiàn)象的原因。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的一個實施方式提供一種眼鏡鏡片，其具有顯示良好的耐熱性(耐裂性)及耐擦傷性的鋯氧化物或鉭氧化物的蒸鍍膜。本發(fā)明人等為了得到所述眼鏡鏡片而反復(fù)進(jìn)行深入研究時發(fā)現(xiàn)了目前未知的以下的新見解。(1)上述金屬氧化物的蒸鍍膜的截面tem圖像的均勻性越高，耐熱性越良好，且在高溫下的裂紋產(chǎn)生越少。(2)上述金屬氧化物的蒸鍍膜的截面tem圖像的均勻性越高，壓縮應(yīng)力越大，施加外力時也產(chǎn)生排斥該力的力，因此，耐擦傷性良好，且外力引起的傷痕或裂紋產(chǎn)生少。所述截面tem圖像的均勻性是表示上述蒸鍍膜在截面方向上的各向異性低且均勻性高的指標(biāo)。即，本發(fā)明人等新發(fā)現(xiàn)了以下結(jié)果：通過降低截面方向上的各向異性以提高均勻性，可以提高上述蒸鍍膜的耐熱性及耐擦傷性?；谝陨系男乱娊?，本發(fā)明人等采用截面tem圖像的均勻性這樣的新的指標(biāo)，并反復(fù)進(jìn)行了上述金屬氧化物的蒸鍍膜的制造條件的變更等反復(fù)試驗，結(jié)果得到了以下的新的發(fā)現(xiàn)：選自鋯及鉭的金屬的氧化膜具有即使放置在高溫下也不產(chǎn)生裂紋的(或產(chǎn)生的裂紋極少)的高耐熱性，且具有優(yōu)異的耐擦傷性，所述選自鋯及鉭的金屬的氧化膜在其截面tem圖像中觀察到為條狀、柱狀或塊狀的塊狀區(qū)域所占的比例為20％以下，從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明的一個實施方式提供一種眼鏡鏡片，其具有：鏡片基材、和直接或間接地形成于該鏡片基材上的蒸鍍膜，其中，所述蒸鍍膜是金屬的氧化膜，該金屬選自鋯及鉭，在通過透射電子顯微鏡獲取的所述蒸鍍膜的截面圖像中，觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域所占的比例為20％以下。作為其中的一個方式，在通過透射電子顯微鏡獲取的所述蒸鍍膜的平面圖像中觀察到的晶粒的平均尺寸為5nm以上。作為其中的一個方式，所述蒸鍍膜的通過透射電子顯微鏡獲取的平面圖像中，作為劃分晶粒和晶粒外的區(qū)域的邊界的晶粒間界所占的比例小于10％。作為其中的一個方式，所述蒸鍍膜為鋯氧化物膜。作為其中的一個方式，所述眼鏡鏡片具有所述蒸鍍膜作為多層蒸鍍膜的至少一層。另外，本發(fā)明的另一實施方式提供一種眼鏡鏡片的制造條件確定方法，所述眼鏡鏡片具有蒸鍍膜，所述蒸鍍膜是金屬的氧化膜，所述金屬選自鋯及鉭，該方法包括：確定在實際制造中用于所述蒸鍍膜的蒸鍍的候補(bǔ)蒸鍍條件；在所確定的候補(bǔ)蒸鍍條件下進(jìn)行蒸鍍，制作測試蒸鍍膜；獲取所制作的測試蒸鍍膜的選自平面tem圖像及截面tem圖像中的至少一種tem圖像，并根據(jù)下述判定基準(zhǔn)來確定實際制造中的蒸鍍膜的蒸鍍條件，所述判定基準(zhǔn)如下：該tem圖像的均勻性越高，判定所述候補(bǔ)條件為能夠形成表現(xiàn)出良好的耐熱性或良好的耐擦傷性、或者表現(xiàn)出良好的耐熱性及良好的耐擦傷性的蒸鍍膜的蒸鍍條件。作為其中的一個方式，根據(jù)選自下述基準(zhǔn)1～4中的至少1種判定基準(zhǔn)來判定所述均勻性，基準(zhǔn)1：在截面tem圖像中觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域所占的比例越低、或所述區(qū)域越小，判定為均勻性越高。基準(zhǔn)2：對作為明場像獲取的截面tem圖像進(jìn)行二值化處理而求得的暗部面積越大、或者對作為暗場像獲取的截面tem圖像進(jìn)行二值化而求得的亮部面積越大，判定為均勻性越高。基準(zhǔn)3：平面tem圖像中，晶粒間界所占的比例越低，判定為均勻性越高?；鶞?zhǔn)4：在平面tem圖像中觀察到的晶粒尺寸越大，判定為均勻性越高。本發(fā)明的再一個實施方式提供一種眼鏡鏡片的制造方法，該方法包括：通過上述方法來確定制造條件；根據(jù)所確定的制造條件進(jìn)行蒸鍍，形成蒸鍍膜，所述蒸鍍膜是金屬的氧化膜，所述金屬選自鋯及鉭。作為其中的一個方式，所述蒸鍍膜作為構(gòu)成多層防反射膜的層而形成。根據(jù)本發(fā)明的一個方式，可以提供抑制了蒸鍍膜在高溫下產(chǎn)生裂紋、及因外力的作用而產(chǎn)生傷痕或裂紋、且具有優(yōu)異的耐久性的眼鏡鏡片，所述蒸鍍膜是金屬的氧化膜，所述金屬選自鋯及鉭。附圖說明圖1是膜應(yīng)力測定方法的說明圖。圖2是膜應(yīng)力測定方法的說明圖。圖3是對實施例1獲取的截面tem圖像。圖4是對實施例1獲取的平面tem圖像。圖5是對實施例2獲取的截面tem圖像。圖6是對實施例2獲取的平面tem圖像。圖7是對實施例3獲取的截面tem圖像。圖8是對實施例3獲取的平面tem圖像。圖9是對比較例1獲取的平面tem圖像。圖10是對比較例2獲取的截面tem圖像。圖11是對比較例2獲取的平面tem圖像。圖12中將圖11所示的平面tem圖像放大并以框線表示部分晶粒。具體實施方式本發(fā)明的一個實施方式涉及一種眼鏡鏡片，其具有：鏡片基材、和直接或間接地形成于該鏡片基材上的蒸鍍膜，其中，所述蒸鍍膜是金屬的氧化膜，所述金屬選自鋯及鉭，在通過透射電子顯微鏡獲取的所述蒸鍍膜的截面圖像(截面tem圖像)中，觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域所占的比例為20％以下。以下，對本發(fā)明的一個實施方式的眼鏡鏡片進(jìn)行更詳細(xì)說明。上述眼鏡鏡片在鏡片基材上直接或間接地具有蒸鍍膜，該蒸鍍膜是金屬的氧化膜，所述金屬選自鋯及鉭。以下，將鋯氧化物膜記載為zr氧化物膜，將鉭氧化物膜記載為ta氧化物膜。作為鏡片基材，沒有特別限定，可以使用眼鏡鏡片的鏡片基材通常使用的材料，例如由聚氨酯、聚硫氨酯、聚碳酸酯、二甘醇雙烯丙基碳酸酯等塑料、無機(jī)玻璃等制成的材料。關(guān)于鏡片基材的厚度及直徑，通常厚度為1～30mm左右，直徑為50～100mm左右，但沒有特別限定。如前面所記載，zr氧化物膜及ta氧化物膜可以作為高折射率層發(fā)揮作用，可以以單層的形式成膜于鏡片基材上，也可以與以sio2為主成分形成的低折射率層等折射率不同的層組合而形成多層蒸鍍膜設(shè)于鏡片基材上。該多層蒸鍍膜還可以進(jìn)一步包含通過使用以導(dǎo)電性氧化物為主成分的蒸鍍源的蒸鍍而形成的一層或兩層以上的蒸鍍膜(以下，也稱為“導(dǎo)電性氧化物層”)。通過設(shè)置該導(dǎo)電性氧化物層，可以防止塵土或塵埃附著至鏡片表面。作為上述導(dǎo)電性氧化物，優(yōu)選使用不會使眼鏡鏡片的透明性下降的作為透明導(dǎo)電性氧化物已知的氧化銦、氧化錫、氧化鋅及它們的復(fù)合氧化物，從透明性及導(dǎo)電性的觀點來看，作為特別優(yōu)選的導(dǎo)電性氧化物，可以舉出銦-錫氧化物(ito)。另外，上述多層蒸鍍膜的一個方式為防反射膜，但不限于防反射膜，也可以是作為反射層(截止層)發(fā)揮作用的膜，其可選擇性地反射給定波長范圍的光來實現(xiàn)降低入射到眼鏡佩戴者的眼睛的光量的功能。作為優(yōu)選反射的光的一例，可舉出紫外線。另外，還可以舉出近年來逐漸普及的液晶顯示器、特別是led液晶顯示器發(fā)出的具有400nm～500nm左右的波長的被稱為所謂的藍(lán)光的短波長光。對于zr氧化物膜、ta氧化物膜的膜厚而言，例如以物理膜厚計為10～100nm左右，但也可以根據(jù)該膜所要求的作用(防反射性能等)來確定膜厚，沒有特別限定。以下記載的膜厚是指物理膜厚。本發(fā)明的一個實施方式的眼鏡鏡片中，在鏡片基材上具有一層以上的zr氧化物膜、ta氧化物膜，也可以將這些氧化物膜任意組合而具有兩層以上。而且，至少一層的zr氧化物膜、ta氧化物膜是在截面tem圖像中觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域所占的比例為20％以下的蒸鍍膜。截面tem圖像通過利用透射電子顯微鏡(tem)從與厚度方向平行或基本平行的方向?qū)τ^察對象的蒸鍍膜進(jìn)行觀察而得到。與此相對，在與厚度方向垂直或基本垂直的方向上進(jìn)行觀察的方法為平面tem觀察。對于該點在后面進(jìn)行敘述。通過本發(fā)明人等的研究，新發(fā)現(xiàn)了如下結(jié)果：截面tem圖像的均勻性越高的蒸鍍膜，其耐熱性(耐裂性)及耐擦傷性越高。而且，作為均勻性的指標(biāo)，在本發(fā)明的一個實施方式中，采用在截面tem圖像中觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域的占有率。另一方面，根據(jù)本發(fā)明人等的研究，在例如采用tem-eds進(jìn)行的元素分析中，在耐熱性(耐裂性)或耐擦傷性存在不同的zr氧化物膜、ta氧化物膜之間未觀察到明確的不同。因此，截面tem圖像的均勻性與zr氧化物膜、ta氧化物膜的耐熱性(耐裂性)及耐擦傷性明確相關(guān)是由本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)的新見解。此外，本發(fā)明的截面tem圖像的獲取可以通過使用透射電子顯微鏡的公知方法來實施。在截面tem圖像中觀察到的條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域，在以倍率5萬倍～40萬倍取得的截面tem圖像中根據(jù)濃淡不同而與其它區(qū)域區(qū)分開的區(qū)域的形式被觀察到。通常，上述區(qū)域在截面tem圖像中作為白斑狀不均勻的結(jié)構(gòu)被觀察到。上述區(qū)域在觀察視野的總面積中所占的比例在上述范圍內(nèi)。觀察視野可以如下設(shè)定：根據(jù)在截面tem圖像中觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域的尺寸，可明確地確認(rèn)上述區(qū)域由于濃淡不同而與其它區(qū)域區(qū)分開。觀察視野可以在例如50nm見方(50nm×50nm)～150nm見方(150nm×150nm)的范圍設(shè)定。作為一例，例如在倍率為10萬倍～20萬倍時，可以將觀察視野設(shè)為100nm見方(100nm×100nm)～150nm見方(150nm×150nm)，倍率超過20萬倍時，可以將觀察視野設(shè)為50nm見方(50nm×50nm)～100nm見方(100nm×100nm)。另外，優(yōu)選改變觀察位置而在5個部位以上(例如5～10個部位)獲取tem圖像，再根據(jù)各tem圖像求得的測定值的算術(shù)平均值求得觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域的占有率。本發(fā)明人等進(jìn)行深入研究的結(jié)果首次發(fā)現(xiàn)了這樣求得的上述區(qū)域所占的比例為20％以下的zr氧化物膜、ta氧化物膜具備較高的耐熱性和優(yōu)異的耐擦傷性。上述區(qū)域所占的比例優(yōu)選為15％以下，更優(yōu)選為10％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為5％以下。塊狀區(qū)域所占的比例越少越好。另外，優(yōu)選改變觀察位置而在5個部位以上(例如5～10個部位)獲取tem圖像，再根據(jù)各tem圖像求得的測定值的算術(shù)平均值求得上述區(qū)域所占的比例。截面tem圖像可以作為明場像得到，也可以作為暗場像得到。從解析的容易性的觀點來看，包含微晶的圖像優(yōu)選作為暗場像而得到截面tem圖像。另一方面，如果多數(shù)為非晶質(zhì)，則優(yōu)選作為明場像而得到截面tem圖像。如上所述，在截面tem圖像中觀察的上述區(qū)域觀察到為條狀、柱狀或塊狀，也可以是無定形。作為可包含于上述區(qū)域的具體結(jié)構(gòu)的例子，可舉出柱狀結(jié)構(gòu)及晶粒。柱狀結(jié)構(gòu)主要在鏡片基材(基板)表面的法線方向或大致法線方向上被確認(rèn)到。另一方面，晶粒主要以粒子的形式或者以沿鏡片基材(基板)表面的法線方向或大致法線方向排列成柱狀的狀態(tài)被確認(rèn)到。這里，大致法線方向以將法線方向設(shè)為0°并包含傾斜±20°左右的方向的意義使用。柱狀結(jié)構(gòu)及晶粒除晶體以外，有時也包括非晶質(zhì)(非晶)。需要說明的是，可以通過在tem圖像中觀察到晶格來確認(rèn)包含晶體。作為優(yōu)選的一個方式，上述zr氧化物膜及ta氧化物膜在通過透射電子顯微鏡獲取的平面圖像(平面tem圖像)中觀察到的晶粒平均尺寸(以下，也稱為“平均晶粒尺寸”)為5nm以上。上述平均尺寸更優(yōu)選為5.5nm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為5.8nm以上。另外，上述平均尺寸為例如20nm以下，但存在大量微小的晶粒會使膜的均勻性降低，因此，晶粒尺寸越大越好。另外，作為優(yōu)選的另一方式，在平面tem圖像中，作為劃分晶粒和晶粒外的區(qū)域的邊界的晶粒間界(grainboundary)所占的比例(以下，也稱為“晶粒間界占有率”)小于10％。更優(yōu)選為5％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為3％以下，且越少越好。在平面tem圖像中觀察到的晶粒在以倍率5萬倍～40萬倍獲取的平面tem圖像中被邊界線(晶粒間界)包圍并作為與其它區(qū)域區(qū)分的區(qū)域被觀察到。晶粒間界可以通過tem圖像的濃淡不同而識別，該晶粒間界在觀察視野的總面積中所占的比例優(yōu)選為上述范圍內(nèi)，并且優(yōu)選晶粒的平均尺寸在上述范圍內(nèi)。觀察視野可如下設(shè)定：根據(jù)在平面tem圖像中觀察到的晶粒尺寸，可明確地確認(rèn)通過晶粒間界將晶粒與晶粒外的區(qū)域區(qū)分開。在平面tem圖像中觀察到的晶粒是通過晶粒間界與其它區(qū)域區(qū)分開的、主要被確認(rèn)為粒狀或簇狀的區(qū)域，但也可以是無定形。作為晶粒的具體結(jié)構(gòu)的例子，可以舉出在粒子內(nèi)具有晶粒的結(jié)構(gòu)體。晶粒可以包含晶體及非晶質(zhì)(非晶)中的一者或其兩者。晶體可以通過觀察晶格來確認(rèn)。該平面tem圖像中的晶粒的平均尺寸如下設(shè)定：分別測定在觀察視野中通過晶粒間界與其它區(qū)域區(qū)分開的各區(qū)域的長徑、短徑，對觀察視野中包含的塊狀區(qū)域求出長徑的平均值、短徑的平均值，并求出(長徑的平均值+短徑的平均值)/2，將該值設(shè)為晶粒的平均尺寸；或者，對觀察視野中包含的晶粒求得具有與各區(qū)域相同面積的圓的直徑、圓等效直徑，并取其平均值作為晶粒的平均尺寸。從圖像中溢出的部分所具有的晶粒不作為測定對象。另外，平均值為算術(shù)平均值。在觀察到大量的晶粒的情況下，也可以改變觀察視野的面積，使得包含例如50個以上(優(yōu)選為100個以上)的晶粒。另外，在包含無定形的晶粒的情況、形狀較小的情況、或者結(jié)晶性較高的情況下，也可以使觀察區(qū)域放大(例如，將10萬倍的視野進(jìn)行圖像放大成200％)，并與另外觀察的高倍率(例如，20萬倍、25萬倍、40萬倍)的觀察圖像求得的結(jié)果相比較。比較的結(jié)果，值的差異為1nm以上的情況下，優(yōu)選采用它們的平均值。對于以上說明的平均晶粒尺寸的測定，可參照jisr1670：2006。如前面對截面tem圖像的觀察所記載，優(yōu)選改變觀察位置而計算出5個部位以上(例如5～10個部位)的值的算術(shù)平均值來求得晶粒間界占有率及平均晶粒尺寸。此外，平面tem圖像的獲取及解析的詳細(xì)情況與上述平截面tem圖像的記載相同。平面tem圖像可以作為明場像得到，也可以作為暗場像得到。從解析的容易性的觀點來看，包含微晶的膜優(yōu)選作為暗場像而得到平面tem圖像。另一方面，如果大量為非晶質(zhì)，則優(yōu)選作為明場像而得到平面tem圖像。優(yōu)選以上說明的zr氧化物膜通過使用以zro2為主成分的蒸鍍源的蒸鍍而形成，ta氧化物膜可以通過使用以ta2o5為主成分的蒸鍍源的蒸鍍而形成。需要說明的是，本發(fā)明的一個實施方式中，主成分是在蒸鍍源或蒸鍍層中占有最多的成分，通常是占整體的50質(zhì)量％左右～100質(zhì)量％、更優(yōu)選占有90質(zhì)量％左右～100質(zhì)量％的成分。需要說明的是，有時蒸鍍源中含有不可避免地混入的微量雜質(zhì)，另外，也可以在不損害主成分所發(fā)揮的作用的范圍內(nèi)含有其它成分、例如其它無機(jī)物質(zhì)及發(fā)揮輔助蒸鍍作用的公知的添加成分。蒸鍍可以通過真空蒸鍍法、離子鍍法、等離子體cvd法、離子輔助法、反應(yīng)性濺射法等來進(jìn)行，為了得到良好的密合性，優(yōu)選為離子輔助法。例如關(guān)于離子輔助法，可以根據(jù)蒸鍍時的真空度、加速電壓、加速電流、輔助氣體(離子化氣體)的流量及混合比、以及使用的蒸鍍源的組成等蒸鍍條件來控制要形成的蒸鍍膜的物性。而且，本發(fā)明的一個實施方式中，為了形成上述zr氧化物膜、ta氧化物膜，可以適當(dāng)根據(jù)需要進(jìn)行預(yù)備實驗來決定蒸鍍條件。但是，在眼鏡鏡片的制造領(lǐng)域中，為了穩(wěn)定供給品質(zhì)不會經(jīng)時降低的眼鏡鏡片，通常在確定實際制造中的制造條件之前，對根據(jù)候補(bǔ)制造條件制作的被檢樣品眼鏡鏡片進(jìn)行加速耐久性試驗，并在實際制造中采用與顯示良好試驗結(jié)果的被檢樣品眼鏡鏡片的制造條件相同的制造條件。例如，如果根據(jù)在烘箱加熱進(jìn)行的加速耐久性試驗中得到裂紋產(chǎn)生數(shù)少的被檢樣品眼鏡鏡片的制造條件在實際制造中形成蒸鍍膜，則可以得到在實際使用時長時間不會引起上述蒸鍍膜劣化的顯示優(yōu)異的耐久性的眼鏡鏡片。另外，為了穩(wěn)定供給高品質(zhì)的眼鏡鏡片，通常還進(jìn)行如下操作：在確定實際制造中的制造條件之前，進(jìn)行根據(jù)候補(bǔ)制造條件制作的被檢樣品眼鏡鏡片的性能評價試驗，并在實際制造中采用與顯示良好試驗結(jié)果的被檢樣品眼鏡鏡片的制造條件相同的制造條件。關(guān)于耐擦傷性，例如如果根據(jù)在對鋼絲絨或沙橡皮施加負(fù)載的劃痕試驗中得到裂紋產(chǎn)生數(shù)少的被檢樣品眼鏡鏡片的制造條件在實際制造中形成蒸鍍膜，則可以得到實際使用時較少產(chǎn)生傷痕及裂紋的顯示優(yōu)異的耐久性的眼鏡鏡片。為了保持較高的可靠性地提供長期顯示優(yōu)異的耐久性的眼鏡鏡片，上述加速耐久性試驗是必不可缺的，現(xiàn)實情況中，為了制造加速耐久性試驗合格的眼鏡鏡片，必須確定用于制造成品眼鏡鏡片的候補(bǔ)蒸鍍條件，在所確定的蒸鍍條件下形成蒸鍍膜來制作眼鏡鏡片，并對所制作的眼鏡鏡片進(jìn)行加速耐久性試驗，在不滿足評價基準(zhǔn)的情況下重新進(jìn)行重復(fù)從選擇候補(bǔ)蒸鍍條件的一連串的工序的反復(fù)試驗。另外，為了保持較高的可靠性地提供長期顯示優(yōu)異的耐久性的眼鏡鏡片，上述的使用被檢樣品眼鏡鏡片的耐擦傷性試驗也是必不可缺的，現(xiàn)實情況中，為了制造耐擦傷性試驗合格的眼鏡鏡片，必須確定用于制造成品眼鏡鏡片的候補(bǔ)蒸鍍條件，在所確定的蒸鍍條件下形成蒸鍍膜來制作眼鏡鏡片，并對所制作的眼鏡鏡片進(jìn)行耐擦傷性試驗，在不滿足評價基準(zhǔn)的情況下，重新進(jìn)行重復(fù)從選擇候補(bǔ)蒸鍍條件的一連串的工序的反復(fù)試驗。與此相對，如本發(fā)明人等新發(fā)現(xiàn)的那樣，根據(jù)基于選自截面tem圖像及平面tem圖像的tem圖像的評價，可抑制在高溫下產(chǎn)生裂紋，而且可以容易發(fā)現(xiàn)耐擦傷性優(yōu)異的zr氧化物膜、ta氧化物膜的蒸鍍條件。作為一個實施方式，首先確定用于制造成品鏡片的蒸鍍膜的蒸鍍條件的候補(bǔ)。例如在實際制造中使用離子輔助法時，確定上述各種條件，在利用其它蒸鍍法的情況下，確定該蒸鍍法的各種條件。接著，在上述所確定的蒸鍍條件下進(jìn)行蒸鍍來制作測試蒸鍍膜。測試蒸鍍膜可以與實際制造一樣形成于鏡片基材或鏡片基材上的功能膜表面，也可以形成于玻璃等測試基板上。從tem觀察的容易性的觀點來看，優(yōu)選在玻璃平板上制作測試蒸鍍膜。通過上述制作的測試蒸鍍膜用于選自平面tem觀察及截面tem觀察的tem觀察中。tem觀察的詳情如前面所記載那樣。對于截面tem圖像的均勻性的判定，例如，通過肉眼觀察來比較截面tem圖像，圖像中確認(rèn)到白斑狀的不均勻結(jié)構(gòu)的圖像判定為缺乏均勻性，未確認(rèn)到這種結(jié)構(gòu)的圖像的均勻性高，可以判定為具有均勻性?；蛘?，也可以根據(jù)下述基準(zhǔn)1、基準(zhǔn)2、或者根據(jù)基準(zhǔn)1及基準(zhǔn)2來判定均勻性?；鶞?zhǔn)1：在截面tem圖像中觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域所占的比例越低、或上述區(qū)域越小，判定為均勻性越高?；鶞?zhǔn)2：對作為明場像獲取的截面tem圖像進(jìn)行二值化處理而求得的暗部面積越大、或者對作為暗場像獲取的截面tem圖像進(jìn)行二值化而求得的亮部面積越大，判定為均勻性越高。對于基準(zhǔn)1中用于判定的觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域，例如作為一例，在以倍率15萬倍獲取的截面tem圖像中，可以將根據(jù)濃淡的不同將作為實際尺寸的長徑(長軸長度)為1nm以上的區(qū)域識別為上述區(qū)域，并判定上述區(qū)域的有無。另外，上述區(qū)域的尺寸也可以通過人手以手動測定，還可以使用解析軟件自動求得。例如，可以基于截面tem圖像中的1個或兩個以上的上述區(qū)域(例如柱狀結(jié)構(gòu))的長軸長度、短軸長度進(jìn)行基準(zhǔn)1的判定，或者基于多個上述區(qū)域的尺寸的平均值進(jìn)行基準(zhǔn)1的判定?；鶞?zhǔn)2的二值化可以通過例如以下方法進(jìn)行。得到所獲取的截面tem圖像的每個像素(像素)的亮度、以及圖像整體亮度的平均?？梢詫⒈绕骄炼攘恋南袼財?shù)相對于全部像素數(shù)的比率設(shè)為亮部的面積分率，將比平均亮度暗的像素數(shù)的比率設(shè)為暗部的面積分率，并求得亮部及暗部的面積。更詳細(xì)來說，作為一般的圖像數(shù)字文件(灰度級，例如256灰度)，對每個像素求得灰度，將像素數(shù)和灰度進(jìn)行柱狀化，求得圖像整體的平均灰度?？梢砸云骄叶葹殚撝颠M(jìn)行二值化處理，將閾值以上的灰度(亮)的像素設(shè)為1，將低于閾值的灰度(暗)的像素設(shè)為0，算出相對于全部像素數(shù)的值1的像素數(shù)，并設(shè)為亮部的面積分率。上述二值化處理可以通過公知的解析軟件自動進(jìn)行。另外，對于平面tem圖像的均勻性的判定，例如，可以通過肉眼觀察或解析軟件的解析結(jié)果對平面tem圖像進(jìn)行比較，將晶粒間界所占的比例多的圖像判定為缺乏均勻性，晶粒間界所占的比例少的圖像的均勻性高，判定為具有均勻性(基準(zhǔn)3)?；蛘撸谄矫鎡em圖像中觀察到的晶粒尺寸越大，可以判定為均勻性越高(基準(zhǔn)4)。用于判定的晶粒尺寸也可以通過人手以手動測定，還可以使用解析軟件自動求得。如后面所述，本發(fā)明人等確認(rèn)到，上述那樣判定的tem圖像的均勻性的不同與蒸鍍膜的耐熱性(耐裂性)相關(guān)，且均勻性越高，高溫下的裂紋產(chǎn)生越少。因此，作為其一個方式，根據(jù)如下的判定基準(zhǔn)來確定實際制造中的蒸鍍膜的蒸鍍條件，所述判定基準(zhǔn)為：tem圖像的均勻性越高，判定為候補(bǔ)條件是可形成顯示越良好的耐熱性的蒸鍍膜的蒸鍍條件。另外，如后面所述，本發(fā)明人等還確認(rèn)到，上述那樣判定的tem圖像的均勻性的不同與蒸鍍膜的壓縮應(yīng)力的大小相關(guān)，且均勻性越高，壓縮應(yīng)力越大，在施加外力時也產(chǎn)生排斥該力的力，因此，耐擦傷性良好。因此，作為其一個方式，根據(jù)如下的判定基準(zhǔn)來確定實際制造中的蒸鍍膜的蒸鍍條件，所述判定基準(zhǔn)為：tem圖像的均勻性越高，判定為候補(bǔ)條件是可形成顯示越良好的耐擦傷性的蒸鍍膜的蒸鍍條件。例如，在具體的一個實施方式中，可以通過在兩種以上候補(bǔ)條件中采用tem圖像的均勻性最高的條件作為實際制造的蒸鍍膜的蒸鍍條件這樣的相對判定來確定實際制造條件?；蛘?，在具體的另一實施方式中，可以進(jìn)行預(yù)備實驗，將蒸鍍膜的蒸鍍條件和高溫下裂紋產(chǎn)生傾向、外力產(chǎn)生的傷痕/裂紋的產(chǎn)生傾向的對應(yīng)關(guān)系進(jìn)行數(shù)據(jù)庫化，基于數(shù)據(jù)庫設(shè)定可成膜耐熱性、耐擦傷性良好的蒸鍍膜的均勻性的閾值(限界值)，并將具有該閾值以上的均勻性的膜確定為實際制造中的蒸鍍膜的蒸鍍條件。作為閾值，例如可以使用平面tem圖像中的晶粒尺寸、晶粒間界占有率、對截面tem圖像通過二值化處理而得到的亮部或暗部的面積分率、上述區(qū)域的長軸長度或短軸長度等。例如，對于截面tem圖像，可以將明場像中的暗部的面積分率或暗場像中的亮部的面積分率為整個解析區(qū)域的90％以上、優(yōu)選為95％以上設(shè)為可形成耐熱性良好的蒸鍍膜的均勻性的判定基準(zhǔn)?；蛘?，可以將在以倍率15萬倍獲取的截面tem圖像中觀察到的作為上述區(qū)域?qū)嶋H尺寸的長軸長度為5nm以下且短軸長度為1nm以下設(shè)為可形成耐熱性良好的蒸鍍膜的均勻性的判定基準(zhǔn)。另外，作為具體的又一個實施方式，可以根據(jù)上述相對判定結(jié)果或基于閾值的判定結(jié)果，將在判定為可形成耐熱性、耐擦傷性良好的蒸鍍膜的候補(bǔ)蒸鍍條件中不會對耐熱性造成影響、或加入了提高耐熱性這樣的條件變更(例如真空度的變更)的蒸鍍條件確定為實際制造中的蒸鍍膜的蒸鍍條件。通過上述那樣基于在tem圖像中觀察到的均勻性來確定實際制造中的蒸鍍膜的蒸鍍條件，可以不經(jīng)過伴隨加速耐久性試驗及使用被檢樣品眼鏡鏡片的耐擦傷性試驗的反復(fù)試驗而得到具有顯示優(yōu)異的耐熱性及耐擦傷性的zr氧化物膜、ta氧化物膜的眼鏡鏡片。根據(jù)本發(fā)明的又一個方式，還提供包括根據(jù)上述制造條件確定方法來確定制造條件、以及根據(jù)所確定的制造條件進(jìn)行蒸鍍來形成蒸鍍膜的眼鏡鏡片的制造方法，所述蒸鍍膜是金屬的氧化膜，所述金屬選自鋯及鉭。如前面所說明的那樣，可以根據(jù)上述的制造條件確定方法來確定能夠形成具有良好的耐熱性(耐裂性)及耐擦傷性的zr氧化物膜、ta氧化物膜的蒸鍍條件，因此，根據(jù)通過上述方法確定的制造條件形成蒸鍍膜，可以制造具有高溫下的裂紋產(chǎn)生及外力引起的傷痕或裂紋的產(chǎn)生得到抑制、且顯示優(yōu)異的耐久性的zr氧化物膜、ta氧化物膜的眼鏡鏡片。上述蒸鍍膜或包含該蒸鍍膜的多層蒸鍍膜可以直接形成于鏡片基材上，或者也可以隔著設(shè)于鏡片基材上的硬涂層等功能膜而形成。為了制造本發(fā)明的一個實施方式的眼鏡鏡片，除了采用能夠形成上述的zr氧化物膜、ta氧化物膜的成膜條件進(jìn)行蒸鍍這點以外，可以沒有任何限制地應(yīng)用公知技術(shù)。實施例以下，基于實施例說明本發(fā)明。但是，本發(fā)明并不限于實施例所示的方式。需要說明的是，在以下說明中，所使用的蒸鍍源除了可能不可避免地混入的雜質(zhì)以外，由所記載的氧化物構(gòu)成。[實施例1～3，比較例1]以20sccm的導(dǎo)入量導(dǎo)入作為輔助氣體的o2或者o2/ar混合氣體、同時使用作為蒸鍍源的zro2通過離子輔助法在真空度4.3e-3pa的蒸鍍裝置內(nèi)在鏡片基材(hoya株式會社制造的irie，折射率1.70)的一面上形成zro2蒸鍍膜。在各實施例、比較例中，在電流100～300ma、電壓100～500v之間變更離子槍條件。根據(jù)成膜條件算出的膜厚約為70nm。離子槍的電流及電壓按照實施例1＞實施例2＞實施例3＞比較例1的順序變低的方式設(shè)定。[比較例2]除了沒有離子輔助而進(jìn)行蒸鍍這點以外，與上述同樣地形成了zro2蒸鍍膜。針對各實施例、比較例，制作了多個眼鏡鏡片作為下述評價用試樣。＜評價方法＞1.截面tem圖像中觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域所占的比例對于實施例、比較例中制作的zro2蒸鍍膜，沿zro2蒸鍍膜的截面方向切割試樣，并從zro2蒸鍍膜的截面方向通過利用離子研磨的蝕刻進(jìn)行削減，將zro2蒸鍍膜削減到約100nm厚度，結(jié)束蝕刻。將這樣制作的試樣導(dǎo)入到透射電子顯微鏡中，以倍率15萬倍獲取截面tem圖像(明場像)。截面tem圖像是在100nm×100nm的觀察視野中由不同位置的5個部位獲得的。對于各實施例、比較例，利用市售的解析軟件算出觀察到為條狀、柱狀或塊狀的區(qū)域(根據(jù)濃淡不同而與其它區(qū)域區(qū)別，主要觀察到為白斑狀的區(qū)域)在觀察視野的總面積中所占的比例，并求出5個部位算出的值的算術(shù)平均值作為上述區(qū)域所占的比例。2.在平面tem圖像中觀察到的晶粒間界所占的比例從形成有zro2蒸鍍膜的面的背面，通過利用離子研磨的蝕刻削減鏡片基材的一部分，并將zro2蒸鍍膜削減到約20nm厚度，結(jié)束蝕刻。將這樣制作的試樣導(dǎo)入到透射電子顯微鏡中，以倍率10萬倍獲取平面tem圖像(暗場像)。平面tem圖像在150nm×150nm觀察視野中由不同位置的5個部位獲得的。對于各實施例、比較例，利用市售的解析軟件算出晶粒間界在觀察視野的總面積中所占的比例，并求出5個部位算出的值的算術(shù)平均值作為晶粒間界所占的比例。3.在平面tem圖像中觀察到的晶粒的平均尺寸對于上述2.中得到的平面tem圖像，通過上述方法求得晶粒的平均尺寸。4.耐熱性的評價將實施例、比較例中制作的眼鏡鏡片放置在爐內(nèi)溫度為80℃、90℃、100℃的加熱爐中兩小時后，在熒光燈下觀察蒸鍍膜中有無長度為數(shù)cm以上的裂紋，并按照以下基準(zhǔn)對耐熱性進(jìn)行了評價。a：在所有溫度下均未觀察到裂紋。b：在100℃下觀察到裂紋，但在80℃、90℃下未觀察到裂紋。c：在90℃、100℃下觀察到裂紋，但在80℃下未觀察到。d：在所有溫度下均觀察到裂紋。5.耐擦傷性的評價在實施例、比較例中制作的眼鏡鏡片的蒸鍍膜上，以信越化學(xué)工業(yè)(株)制造的ky130(其是含有氟取代烷基的有機(jī)硅化合物)作為蒸鍍源、通過鹵素加熱進(jìn)行蒸鍍，制成防水層，從而制作了試樣。將制作的試樣用于利用鋼絲絨施加2kg或3kg并負(fù)載往返20次的耐擦傷性試驗。將耐擦傷性試驗后的蒸鍍膜在熒光燈下觀察，確認(rèn)有無長度5mm以上的傷痕或裂紋，并按照以下基準(zhǔn)對耐擦傷性進(jìn)行了評價。a：在負(fù)載2kg、3kg下均未確認(rèn)到傷痕及裂紋。b：在負(fù)載3kg下確認(rèn)到傷痕或裂紋，但在負(fù)載2kg下未確認(rèn)到傷痕及裂紋。c：在負(fù)載2kg、3kg下均觀察到傷痕及裂紋，傷痕及裂紋的個數(shù)為2個以上且5個以下。d：在負(fù)載2kg、3kg下均觀察到傷痕及裂紋，傷痕及裂紋的個數(shù)為6個以上。6.膜應(yīng)力的測定在用清洗機(jī)進(jìn)行了清洗的圓盤狀顯示器玻璃(直徑70mm)的表面上以5～8mm×30～40mm的尺寸貼附耐熱膠帶。如圖1的示意圖所示，將平板狀的保護(hù)玻璃(以下，也稱為“基板”)配置于顯示器玻璃表面上，為了防止與顯示器玻璃的貼附，將平板狀的保護(hù)玻璃的一個端部載置于上述耐熱膠帶上，然后用耐熱膠帶對保護(hù)玻璃的上述端部進(jìn)行了固定。將該帶有保護(hù)玻璃的顯示器玻璃導(dǎo)入到蒸鍍裝置內(nèi)，在與各實施例、比較例相同的條件下在保護(hù)玻璃表面上形成了zro2蒸鍍膜。上述成膜后，從顯示器玻璃上卸下保護(hù)玻璃，如圖2所示，在固定一端的狀態(tài)下測定相對于水平面的位移量，并根據(jù)下述的stoney式求得膜應(yīng)力σ。負(fù)值為壓縮應(yīng)力，正值為拉伸應(yīng)力。[數(shù)學(xué)式1][式中，es：基板的楊氏模量，ts：基板的厚度，vs：基板的泊松比，l：基板的長度，tf：蒸鍍膜的厚度，d：位移量]以上結(jié)果示于表1中。[表1]由表1所示的結(jié)果可確認(rèn)，根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，可以提供具有zr氧化物膜的眼鏡鏡片，所述zr氧化物膜具有可承受80℃以上的高溫的高耐熱性、且具有優(yōu)異的耐擦傷性。在以上的實施例中，示出了作為構(gòu)成氧化物的金屬采用了鋯的方式，但鉭是公知的能夠形成具有與鋯氧化物膜相同或近似的膜特性的氧化物膜的金屬。因此，根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，還可以提供具有ta氧化物膜的眼鏡鏡片，所述ta氧化物膜具有較高的耐熱性、且具有優(yōu)異的耐擦傷性。需要說明的是，對于實施例1～3中制作的蒸鍍膜而言，在以倍率40萬倍獲取的平面tem圖像中未確認(rèn)到晶格。與此相對，在比較例1中確認(rèn)到較少的晶格，在比較例2中確認(rèn)到大量的晶格。圖3是在上述評價中針對實施例1獲取的截面tem圖像，圖4是針對實施例1獲取的平面tem圖像。圖5是在上述評價中針對實施例2獲取的截面tem圖像，圖6是針對實施例2獲取的平面tem圖像。圖7是在上述評價中針對實施例3獲取的截面tem圖像，圖8是針對實施例3獲取的平面tem圖像。圖9是在上述評價中針對比較例1獲取的平面tem圖像。圖10是在上述評價中針對比較例2獲取的截面tem圖像，圖11是針對比較例2獲取的平面tem圖像。圖12中將圖11所示的平面tem圖像放大并以框線表示部分晶粒。如對附圖進(jìn)行比較可知，與實施例1～3中制作的蒸鍍膜相比，比較例1、2中制作的蒸鍍膜不均勻。[與確定制造條件相關(guān)的具體方式]1.候補(bǔ)蒸鍍條件的決定使用zro2作為蒸鍍源，通過離子輔助法在玻璃平板上以不同的離子輔助條件(條件1、條件2)形成約70nm膜厚的zro2蒸鍍膜。相對于條件1，條件2較高地設(shè)定了離子槍的電流及電壓。2.tem圖像的均勻性評價對于上述1.中通過條件1的蒸鍍制作的zro2蒸鍍膜、通過條件2的蒸鍍制作的zro2蒸鍍膜，分別從zro2蒸鍍膜上部利用粘接劑粘接白玻璃(dummyglass)，沿zro2蒸鍍膜的截面方向切割試樣，并從zro2蒸鍍膜的截面方向通過離子研磨的蝕刻進(jìn)行削減，將zro2蒸鍍膜削減到約100nm厚，結(jié)束蝕刻。將這樣制作的試樣導(dǎo)入到透射電子顯微鏡中，以倍率15萬倍獲取截面tem圖像(明場像)。各截面tem圖像中，在面積130nm×130nm的區(qū)域中使用市售的解析軟件對濃淡進(jìn)行二值化，并求出了暗部和亮部的面積分率，其結(jié)果，通過條件2的蒸鍍制作的zro2蒸鍍膜的值比通過條件1的蒸鍍制作的zro2蒸鍍膜的值大。各截面tem圖像中，在面積130nm×130nm的區(qū)域中判定以實際尺寸計長軸長度為1nm以上的區(qū)域的有無，其結(jié)果，通過條件2的蒸鍍制作的zro2蒸鍍膜的截面tem圖像判定為沒有上述區(qū)域。與此相對，通過條件1的蒸鍍制作的zro2蒸鍍膜的截面tem圖像確認(rèn)到以實際尺寸計長軸長度為1nm以上的柱狀結(jié)構(gòu)。在通過條件1的蒸鍍制作的zro2蒸鍍膜中，觀察到多個以實際尺寸計長軸長度為2nm～40nm、短軸長度為0.5～2nm的柱狀結(jié)構(gòu)。3.耐熱性評價通過與上述1.相同的方法將成膜在塑料鏡片基材(hoya株式會社制造，商品名aias，折射率1.6，無色鏡片)上的zro2蒸鍍膜放置于表4所示的爐內(nèi)溫度的加熱爐內(nèi)兩小時，然后在熒光燈下對zro2蒸鍍膜中的長度為數(shù)cm以上的裂紋的有無進(jìn)行了評價。將確認(rèn)到裂紋的膜設(shè)為×，將未確認(rèn)到裂紋的膜設(shè)為○，結(jié)果示于表2中。[表2]由以上結(jié)果可以確認(rèn)：截面tem圖像的均勻性越高，越是耐熱性良好的蒸鍍膜。4.膜應(yīng)力的測定與前面所述的方法同樣地，在與條件1、2相同的條件下在保護(hù)玻璃表面上形成zro2蒸鍍膜，并進(jìn)行了膜應(yīng)力的測定，其結(jié)果，條件1中為拉伸應(yīng)力，條件2中為壓縮應(yīng)力。5.耐擦傷性評價采用與上述1.相同的方法，在成膜于塑料鏡片基材(hoya株式會社制造，商品名aias，折射率1.6，無色鏡片)的zro2蒸鍍膜上，以信越化學(xué)工業(yè)(株)制造的ky130(其是含有氟取代烷基的有機(jī)硅化合物)作為蒸鍍源、通過鹵素加熱進(jìn)行蒸鍍，制成防水層，從而制作了試樣。將制作的試樣用于利用鋼絲絨施加負(fù)載1kg并往返20次的耐擦傷性試驗、以及利用沙橡皮施加負(fù)載3kg并往返5次的耐擦傷性試驗中。將耐擦傷性試驗后的zro2蒸鍍膜在熒光燈下觀察，確認(rèn)長度5mm以上的傷痕或裂紋的有無。將確認(rèn)到6個以上的傷痕及裂紋的膜設(shè)為×、將2個以上且5個以下的膜設(shè)為△、將1個或未確認(rèn)到的膜設(shè)為○，對耐擦傷性進(jìn)行了評價。6.膜硬度(壓痕硬度)的測定按照與上述1.相同的方法通過條件1、2在塑料鏡片基材(hoya株式會社制造，商品名aias，折射率1.6，無色鏡片)上形成了zro2蒸鍍膜。使用納米壓痕測定法的測定裝置(elionix公司，超微壓痕硬度測試儀ent-2100)、并通過以下方法測定了成膜的zro2蒸鍍膜的壓痕硬度。測定時使用了棱間隔115度的三棱錐金剛石壓頭。測定條件設(shè)定為：壓頭以0.2mgf/sec的負(fù)載速度進(jìn)行負(fù)載，將最大負(fù)載0.98mn保持1秒鐘后，以相同的負(fù)載速度進(jìn)行去載。從通過該測定得到的壓頭壓入深度-負(fù)載曲線讀取到達(dá)最大負(fù)載時的壓入深度。壓痕硬度h使用下式求得。h＝pmax/a(ha)·····(1)在此，pmax為最大負(fù)載，a(ha)為壓頭的接觸投影面積。首先，由最大壓入深度hmax及去載曲線梯度和位移軸的交點hs求得ha，然后根據(jù)由金剛石制成的正三棱錐(berkovich型)壓頭的幾何學(xué)形狀(對頂角65.03°)求出a(ha)。ha、a(ha)分別由下式表示。ha＝hmax-0·75(hmax-hs)········(2)(在此，式(2)的0.75為berkovich型壓頭的常數(shù)。)測定的結(jié)果，通過條件2成膜的zro2蒸鍍膜的壓痕硬度是比通過條件1成膜的zro2蒸鍍膜的壓痕硬度大的值。以上結(jié)果示于表3中。[表3]由以上結(jié)果可以確認(rèn)：截面tem圖像的均勻性越高，越是耐擦傷性良好的蒸鍍膜。因此，通過圖像解析這樣的簡便方法即可確定能夠制作耐擦傷性良好的蒸鍍膜的蒸鍍條件，而不依賴于應(yīng)力測定、硬度測定，這是本發(fā)明的一個實施方式的優(yōu)點之一。需要說明的是，對于以條件1制作的zro2蒸鍍膜、以條件2制作的zro2蒸鍍膜，通過前面所述的方法求出在截面tem圖像中觀察到的塊狀區(qū)域在觀察視野中所占的比例，其結(jié)果，以條件2制作的zro2蒸鍍膜為20％以下、以條件1制作的zro2蒸鍍膜超過20％。另外，對于以條件1制作的zro2蒸鍍膜、以條件2制作的zro2蒸鍍膜，通過前面所述的方法求出在平面tem圖像中觀察到的平均晶粒尺寸及晶粒間界占有率，其結(jié)果，與以條件1制作的zro2蒸鍍膜相比，以條件2制作的zro2蒸鍍膜的平均晶粒尺寸大、晶粒間界占有率低。7.眼鏡鏡片的制作在兩面經(jīng)過了光學(xué)精加工且預(yù)先實施了硬涂的物體側(cè)表面為凸面、眼球側(cè)表面為凹面的塑料鏡片基材(hoya株式會社制造，商品名aias，折射率1.6，無色鏡片)的凸面?zhèn)鹊挠餐勘砻嫔希ㄟ^使用氧氣或氧和氬的混合氣體作為輔助氣體的離子輔助法，依次形成下述表4所示的合計8層的蒸鍍膜。形成第8層的蒸鍍膜后，在該層上，以信越化學(xué)工業(yè)(株)制造的ky130(為含有氟取代烷基的有機(jī)硅化合物)為蒸鍍源、通過鹵素加熱進(jìn)行蒸鍍，形成了作為第9層的膜的防水層。眼鏡鏡片制作2種類型(眼鏡鏡片1、2)，在制作眼鏡鏡片1時，采用上述條件1作為zro2蒸鍍膜的蒸鍍條件，在制作眼鏡鏡片2時，采用上述條件2作為zro2蒸鍍膜的蒸鍍條件，其它制造條件相同。[表4]蒸鍍源膜厚(nm)1層sio2302層zro2103層sio22004層ito105層zro2306層sio2207層zro2608層sio2908.眼鏡鏡片樣品的耐熱性試驗將上述7.中制作的眼鏡鏡片在100℃的烘箱內(nèi)放置1小時后，在熒光燈下通過肉眼觀察來評價裂紋的有無，其結(jié)果，根據(jù)條件1制作zro2蒸鍍膜的眼鏡鏡片1中，在zro2蒸鍍膜上確認(rèn)到長度達(dá)數(shù)cm的多個裂紋，與此相對，根據(jù)條件2制作zro2蒸鍍膜的眼鏡鏡片2未產(chǎn)生裂紋，具有高度的透明性。9.眼鏡鏡片樣品的耐擦傷性試驗將上述7.中制作的眼鏡鏡片用于上述利用鋼絲絨施加負(fù)載1kg并往返20次的耐擦傷性試驗、及利用沙橡皮擦施加負(fù)載3kg并往返5次的耐擦傷性試驗，其結(jié)果，根據(jù)條件1制作zro2蒸鍍膜的眼鏡鏡片中確認(rèn)到數(shù)個傷痕或裂紋，與此相對，根據(jù)條件2制作zro2蒸鍍膜的眼鏡鏡片未產(chǎn)生傷痕或裂紋，具有高度的透明性。根據(jù)上述8.、9.的結(jié)果可以確認(rèn)：通過在基于tem圖像的均勻性判定為耐熱性及耐擦傷性良好的蒸鍍條件下制作zro2蒸鍍膜，可得到具有優(yōu)異的耐久性及耐擦傷性的眼鏡鏡片。以往，為了發(fā)現(xiàn)能夠形成這樣耐熱性及耐擦傷性良好的蒸鍍膜的蒸鍍條件，必須反復(fù)進(jìn)行上述8.中實施的烘箱加熱這樣的加速耐久性試驗、上述9.中實施的眼鏡鏡片樣品的耐擦傷性試驗和候補(bǔ)條件的選定，與此相對，根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，可以通過測試蒸鍍膜的制作和tem圖像的獲取、均勻性的評價這樣的簡便方法而確定能夠制造具有優(yōu)異的耐久性的眼鏡鏡片的制造條件。工業(yè)實用性本發(fā)明在眼鏡鏡片的制造領(lǐng)域中是有用的。當(dāng)前第1頁12