技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種減緩鋁腐蝕的顯影液，其配方包括：1?10wt％氫氧化季銨，0.1?10wt％緩蝕劑，0.01?3wt％表面活性劑以及余量的去離子水。本發(fā)明對鋁基材的腐蝕速度慢，不形成泡沫，顯影干凈，未曝光區(qū)域損失更小。

技術(shù)研發(fā)人員：杜冰;顧群艷;梁豹;鮑杰;趙建龍;張兵;向文勝;朱坤
受保護的技術(shù)使用者：昆山艾森半導(dǎo)體材料有限公司
文檔號碼：201710088254
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.17
技術(shù)公布日：2017.05.24