技術(shù)總結(jié)
公開了一種勻膠顯影設(shè)備異常監(jiān)控系統(tǒng)，該監(jiān)控系統(tǒng)包括：依次連接的傳感器、主控裝置以及提示裝置，所述傳感器用于將工作條件的異常轉(zhuǎn)化為輸入信號(hào)，所述主控裝置包括：傳感信號(hào)傳遞模塊；微處理器，通過所述傳感信號(hào)傳遞模塊與所述傳感器連接，所述輸入信號(hào)通過所述傳感信號(hào)傳遞模塊傳至所述微處理器，所述微處理器用于根據(jù)所述輸入信號(hào)得出輸出信號(hào)；以及存儲(chǔ)模塊，用于根據(jù)所述輸入信號(hào)記錄工作條件的異常信息，所述提示裝置用于根據(jù)所述輸出信號(hào)發(fā)出提示。根據(jù)本實(shí)用新型的監(jiān)控系統(tǒng)，能在勻膠顯影設(shè)備的工作條件異常時(shí)發(fā)出提示，主控裝置包括的存儲(chǔ)模塊能記錄工作條件的異常信息，從而在設(shè)備發(fā)出異常提示時(shí)更方便對(duì)異常的分析。

技術(shù)研發(fā)人員：鄧濤;周文林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州士蘭集成電路有限公司
文檔號(hào)碼：201621490072
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.08.18