本實(shí)用新型涉及設(shè)備運(yùn)行條件的監(jiān)控領(lǐng)域，更具體地，涉及一種用于勻膠顯影設(shè)備的監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在晶圓的制造過(guò)程中，晶體三極管、二極管、電容、電阻、金屬層等多個(gè)物理部件是在一個(gè)掩膜層上形成的，結(jié)合生成薄膜以及去除特定部分，通過(guò)光刻工藝過(guò)程，最終在晶圓上保留特征圖形的部分。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測(cè)等工序。其中，在涂光刻膠、顯影等工序中需要用到勻膠顯影設(shè)備。

勻膠顯影設(shè)備在使用過(guò)程中，如果光刻膠狀態(tài)、顯影液狀態(tài)等工作條件出現(xiàn)異常時(shí)，設(shè)備將無(wú)法正常工作，因此，可以設(shè)置一套用于監(jiān)控勻膠顯影設(shè)備的工作條件的監(jiān)控系統(tǒng)。

圖1示出現(xiàn)有的用于勻膠顯影設(shè)備的監(jiān)控系統(tǒng)的示意圖。多個(gè)傳感器120通過(guò)信號(hào)線連接至勻膠顯影設(shè)備130上，勻膠顯影設(shè)備130上安裝有起報(bào)警提示作用的提示裝置140，提示裝置140可以是報(bào)警燈和嗡鳴器。多個(gè)傳感器120對(duì)應(yīng)于勻膠顯影設(shè)備130工作的多個(gè)不同工作條件。當(dāng)上述工作條件出現(xiàn)異常時(shí)，提示裝置140發(fā)出報(bào)警提示。

在上述系統(tǒng)中，當(dāng)任一個(gè)工作條件發(fā)生異常，設(shè)備產(chǎn)生異常報(bào)警時(shí)，需要操作人員主動(dòng)去檢查是哪一個(gè)工作條件發(fā)生了異常。同時(shí)，在技術(shù)人員查找異常原因時(shí)，由于沒有記錄相應(yīng)的異常報(bào)警信息，給異常分析帶來(lái)諸多不便。

因此，期望對(duì)用于勻膠顯影設(shè)備的監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)一步優(yōu)化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種勻膠顯影設(shè)備異常監(jiān)控系統(tǒng)，該監(jiān)控系統(tǒng)能記錄工作條件的異常信息，方便異常分析。

根據(jù)本實(shí)用新型提供一種勻膠顯影設(shè)備異常監(jiān)控系統(tǒng)，該監(jiān)控系統(tǒng)包括：依次連接的傳感器、主控裝置以及提示裝置，所述傳感器用于將工作條件的異常轉(zhuǎn)化為輸入信號(hào)，所述主控裝置包括：傳感信號(hào)傳遞模塊；微處理器，通過(guò)所述傳感信號(hào)傳遞模塊與所述傳感器連接，所述輸入信號(hào)通過(guò)所述傳感信號(hào)傳遞模塊傳至所述微處理器，所述微處理器用于根據(jù)所述輸入信號(hào)得出輸出信號(hào)；以及存儲(chǔ)模塊，用于根據(jù)所述輸入信號(hào)記錄工作條件的異常信息，所述提示裝置用于根據(jù)所述輸出信號(hào)發(fā)出提示。

優(yōu)選地，所述傳感器為多個(gè)，包括：光刻膠異常檢測(cè)傳感器、顯影液異常檢測(cè)傳感器、去邊液異常檢測(cè)傳感器、漏液異常檢測(cè)傳感器、廢膠桶異常檢測(cè)傳感器以及膠泵異常檢測(cè)傳感器。

優(yōu)選地，所述傳感信號(hào)傳遞模塊為第一光耦電路，所述傳感器未檢測(cè)到工作條件的異常，所述輸入信號(hào)使得所述第一光耦電路斷開；所述傳感器檢測(cè)到工作條件的異常，所述輸入信號(hào)使得所述第一光耦電路導(dǎo)通，所述微處理器得出輸出信號(hào)。

優(yōu)選地，所述微處理器通過(guò)第二光耦電路與所述提示裝置信號(hào)連接。

優(yōu)選地，所述提示裝置為報(bào)警燈和/或嗡鳴器。

優(yōu)選地，所述主控裝置還包括：實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊，用于提供實(shí)時(shí)時(shí)鐘數(shù)據(jù)。

優(yōu)選地，所述異常信息包括：異常的工作條件的類別、異常次數(shù)以及異常發(fā)生時(shí)間。

優(yōu)選地，所述主控裝置還包括：顯示模塊，用于顯示所述異常信息。

優(yōu)選地，所述主控裝置還包括：按鍵模塊，與所述微處理器信號(hào)連接，用于提供人機(jī)交互，同時(shí)用于終止所述提示裝置發(fā)出的提示。

優(yōu)選地，所述主控裝置還包括：串口通訊模塊，將所述主控裝置與計(jì)算機(jī)連接。

根據(jù)本實(shí)用新型的監(jiān)控系統(tǒng)，能提示勻膠顯影設(shè)備的工作條件異常，主控裝置包括的存儲(chǔ)模塊能記錄工作條件的異常信息，從而在設(shè)備發(fā)出異常提示時(shí)更方便對(duì)異常的分析。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述傳感器為多個(gè)，包括：光刻膠異常檢測(cè)傳感器、顯影液異常檢測(cè)傳感器、去邊液異常檢測(cè)傳感器、漏液異常檢測(cè)傳感器、廢膠桶異常檢測(cè)傳感器以及膠泵異常檢測(cè)傳感器。當(dāng)設(shè)備發(fā)出異常提示時(shí)，能夠更準(zhǔn)確快速判斷出是哪個(gè)工作條件發(fā)生了異常，方便設(shè)備的恢復(fù)。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述微處理器通過(guò)第一光耦電路與所述傳感器信號(hào)連接，所述微處理器通過(guò)第二光耦電路與所述提示裝置信號(hào)連接，利用光耦電路的隔離效果，消除外界信號(hào)對(duì)微處理器的干擾。

在優(yōu)選的實(shí)施例中，主控裝置還包括實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊，用于提供實(shí)時(shí)時(shí)鐘數(shù)據(jù)。主控裝置還包括顯示模塊，用于顯示所述異常信息。異常信息可以包括：異常的工作條件的類別、異常次數(shù)以及異常發(fā)生時(shí)間。當(dāng)多種條件異常發(fā)生時(shí)，存儲(chǔ)模塊逐一記錄報(bào)警發(fā)生時(shí)間以及其他異常信息，并且顯示在顯示模塊上。通過(guò)顯示模塊查詢歷史異常信息，方便異常制品追蹤和異常原因分析。

附圖說(shuō)明

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的描述，本實(shí)用新型的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，在附圖中：

圖1示出現(xiàn)有的用于勻膠顯影設(shè)備的監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2示出根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的勻膠顯影設(shè)備異常監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3示出根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的勻膠顯影設(shè)備異常監(jiān)控系統(tǒng)的主控裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)框圖。

具體實(shí)施方式

以下將參照附圖更詳細(xì)地描述本實(shí)用新型。為了清楚起見，附圖中的各個(gè)部分沒有按比例繪制。此外，可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本實(shí)用新型的許多特定的細(xì)節(jié)，但正如本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解的那樣，可以不按照這些特定的細(xì)節(jié)來(lái)實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。

圖2示出根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的勻膠顯影設(shè)備異常監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。該監(jiān)控系統(tǒng)可用于提示勻膠顯影設(shè)備的工作條件異常，包括依次信號(hào)連接的傳感器220、主控裝置210以及提示裝置240。本實(shí)施例中傳感器220為多個(gè)。另外，監(jiān)控系統(tǒng)還可以包括計(jì)算機(jī)250，主控裝置210與計(jì)算機(jī)250信號(hào)連接。

圖3示出該主控裝置210的內(nèi)部結(jié)構(gòu)框圖。本實(shí)施例中，傳感器220為多個(gè)，包括220a、220b、220c、220d、220e、220f，上述傳感器分別對(duì)應(yīng)多種工作條件，例如，傳感器220a為光刻膠異常檢測(cè)傳感器，220b為顯影液異常檢測(cè)傳感器，220c為去邊液異常檢測(cè)傳感器，220d為漏液異常檢測(cè)傳感器，220e為廢膠桶異常檢測(cè)傳感器，220f為膠泵異常檢測(cè)傳感器。上述各傳感器根據(jù)各自對(duì)應(yīng)的工作條件的異常轉(zhuǎn)化為輸入信號(hào)。上述各種工作條件的異常例如是：光刻膠不足、顯影液不足、去邊液不足、設(shè)備漏液、廢膠桶過(guò)滿、膠泵異常，以上僅為示例，工作條件的選擇以及異常情景可依據(jù)實(shí)際需要設(shè)置。通過(guò)多個(gè)傳感器對(duì)應(yīng)多種工作條件，當(dāng)設(shè)備發(fā)出異常提示時(shí)，能夠更準(zhǔn)確快速判斷出是哪個(gè)工作條件發(fā)生了異常，方便設(shè)備的恢復(fù)。

主控裝置210包括傳感信號(hào)傳遞模塊213、微處理器211以及存儲(chǔ)模塊212。微處理器211通過(guò)傳感信號(hào)傳遞模塊213與各傳感器連接，上述輸入信號(hào)通過(guò)傳感信號(hào)傳遞模塊213傳至微處理器211，微處理器211內(nèi)部預(yù)設(shè)微處理器的控制方法，根據(jù)所述輸入信號(hào)得出輸出信號(hào)。微處理器211可以包括系統(tǒng)時(shí)鐘電路219，用于提供微處理器211系統(tǒng)運(yùn)行的時(shí)鐘脈沖。存儲(chǔ)模塊212與微處理器211信號(hào)連接，當(dāng)上述各傳感器中的任一感測(cè)到對(duì)應(yīng)工作條件異常時(shí)，存儲(chǔ)模塊212根據(jù)對(duì)應(yīng)的輸入信號(hào)記錄工作條件的異常信息。

提示裝置240可以安裝在勻膠顯影設(shè)備230上，主控裝置210通過(guò)連接勻膠顯影設(shè)備230而與提示裝置240信號(hào)連接。提示裝置可以根據(jù)上述為處理器211得出的輸出信號(hào)發(fā)出提示。提示裝置240可以是報(bào)警燈和/或嗡鳴器，在設(shè)備工作條件異常時(shí)，能發(fā)出提示音和/或亮起報(bào)警燈。

根據(jù)本實(shí)用新型的監(jiān)控系統(tǒng)，能通過(guò)提示裝置240提示勻膠顯影設(shè)備的工作條件異常，主控裝置210包括的存儲(chǔ)模塊212能記錄工作條件的異常信息，從而在設(shè)備發(fā)出異常提示時(shí)更方便對(duì)異常的分析。

傳感信號(hào)傳遞模塊213可以是光耦電路，即微處理器211通過(guò)第一光耦電路213與多個(gè)傳感器220a至220f信號(hào)連接。利用第一光耦電路213的隔離效果，可以消除外界信號(hào)對(duì)微處理器211的干擾。傳感器220a至220f給出的所述輸入信號(hào)可以是開關(guān)量，監(jiān)控系統(tǒng)根據(jù)開關(guān)量的輸入信號(hào)可分為：正常狀態(tài)和異常狀態(tài)。在正常狀態(tài)中，所述輸入信號(hào)使得所述第一光耦電路213斷開，此時(shí)微處理器211未收到輸入信號(hào)，從而無(wú)動(dòng)作。在異常狀態(tài)中，所述輸入信號(hào)使得第一光耦電路213導(dǎo)通，微處理器211收到輸入信號(hào)并按照內(nèi)部預(yù)設(shè)的控制方法得出輸出信號(hào)，發(fā)送至提示裝置240，使提示裝置240發(fā)出異常提示。

微處理器211也可以通過(guò)第二光耦電路214與提示裝置240信號(hào)連接。利用第一光耦電路214的隔離效果，可以消除外界信號(hào)對(duì)監(jiān)控系統(tǒng)的干擾。

主控裝置210還可以包括實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊215，用于提供實(shí)時(shí)時(shí)鐘數(shù)據(jù)。則工作條件的異常信息可以包括：異常的工作條件的類別、異常次數(shù)以及異常發(fā)生的實(shí)時(shí)時(shí)間。

主控裝置210還可以包括顯示模塊216，用于顯示上述異常信息。通過(guò)上述微處理器211、實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊215以及顯示模塊216相配合，當(dāng)設(shè)備的制品發(fā)生異常時(shí)，可以查詢異常發(fā)生的類別、時(shí)間點(diǎn)等信息，方便異常制品追蹤和異常原因分析。另外，對(duì)于工程技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，通過(guò)查看歷史異常信息，能清楚記錄各異常的處理時(shí)間，例如是各化學(xué)品的換液時(shí)間，對(duì)同樣的異常情況能更快找到處理方法。

主控裝置210還可以包括按鍵模塊217，與微處理器211信號(hào)連接，其用于提供人機(jī)交互，同時(shí)用于終止所述提示裝置240發(fā)出的提示。按鍵模塊217例如包括用于控制顯示模塊216翻頁(yè)的按鍵、終止提示按鍵等。當(dāng)工作條件異常時(shí)系統(tǒng)發(fā)出提示，微處理器211內(nèi)置的控制方法可以設(shè)置提示自鎖，操作人員不僅要排除異常條件，還要按下終止提示按鍵后監(jiān)控系統(tǒng)才回到正常狀態(tài)，此時(shí)的異常排除記錄也可以作為異常信息記錄在存儲(chǔ)模塊212中。

主控裝置210還可以包括串口通訊模塊218，用于將主控裝置210與計(jì)算機(jī)連接。如圖2，本實(shí)施例的監(jiān)控系統(tǒng)還可以包括計(jì)算機(jī)250，其與主控裝置210信號(hào)連接。通過(guò)在計(jì)算機(jī)250開發(fā)人機(jī)交互界面，能實(shí)現(xiàn)監(jiān)控系統(tǒng)更豐富的作用。

微處理器211可以是單片機(jī)，例如是STC89C52RC，存儲(chǔ)模塊212例如是AT24C08，實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊215例如是DS1302芯片，顯示模塊216例如是LCD1602顯示屏，串口通訊模塊218例如是RS485接口。根據(jù)上述選型的主控裝置210，對(duì)微處理器211進(jìn)行編程，可實(shí)現(xiàn)主控裝置210對(duì)監(jiān)控、按鍵處理、異常信息查詢、時(shí)鐘設(shè)置、報(bào)警提示等功能的支持。對(duì)微處理器211的編程例如可以包括主程序、按鍵處理程序、報(bào)警提示程序、時(shí)間設(shè)置程序以及異常信息查詢程序等，其中根據(jù)使用情景可以由主程序進(jìn)入上述的按鍵處理、報(bào)警提示、時(shí)間設(shè)置以及異常信息查詢等程序中，在情景結(jié)束后返回至主程序。本實(shí)用新型具有多種不同的呈現(xiàn)形式，可以不限于上述方式的選型與編程。

另外，主控裝置210與計(jì)算機(jī)250的信號(hào)連接，在計(jì)算機(jī)250端編制人機(jī)交互軟件，能更豐富監(jiān)控系統(tǒng)的功能。例如使用查詢方式實(shí)時(shí)監(jiān)控所述監(jiān)控系統(tǒng)是處于正常狀態(tài)還是異常狀態(tài)，再例如利用表格軟件統(tǒng)計(jì)并導(dǎo)出歷史異常信息等。

應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

依照本實(shí)用新型的實(shí)施例如上文所述，這些實(shí)施例并沒有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該實(shí)用新型僅為所述的具體實(shí)施例。顯然，根據(jù)以上描述，可作很多的修改和變化。本說(shuō)明書選取并具體描述這些實(shí)施例，是為了更好地解釋本實(shí)用新型的原理和實(shí)際應(yīng)用，從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地利用本實(shí)用新型以及在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上的修改使用。本實(shí)用新型僅受權(quán)利要求書及其全部范圍和等效物的限制。