本實用新型涉及掩模夾具技術領域，尤其涉及一種通用掩模夾具。

背景技術：

MASK(掩模):單片機掩模是指程序數(shù)據(jù)已經(jīng)做成光刻版，在單片機生產(chǎn)的過程中把程序做進去。優(yōu)點是:程序可靠、成本低。缺點:批量要求大，每次修改程序就需要重新做光刻板，不同程序不能同時生產(chǎn)，供貨周期長。在半導體制造中，許多芯片工藝步驟采用光刻技術，用于這些步驟的圖形"底片"稱為掩模(也稱作"掩模")，其作用是:在硅片上選定的區(qū)域中對一個不透明的圖形模板遮蓋，繼而下面的腐蝕或擴散將只影響選定的區(qū)域以外的區(qū)域。

掩模夾具的出現(xiàn)大大方便了掩模的固定，但是目前階段的掩模夾具，存在諸多的不足之處，例如，對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現(xiàn)一種夾具掩模通用，更換比較麻煩，實用價值低。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種通用掩模夾具，以解決上述背景技術中提出的對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現(xiàn)一種夾具掩模通用，更換比較麻煩，實用價值低的問題。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種通用掩模夾具，包括掩模夾具專用工作臺，所述掩模夾具專用工作臺的邊緣位置處安裝有邊框，所述邊框的內(nèi)側安裝有掩模夾具，所述掩模夾具的中間位置安裝有伸縮套，且伸縮套與邊框通過第一伸縮桿連接，所述伸縮套的上方安裝有把手，且把手與伸縮套通過連接螺栓固定連接，所述伸縮套的兩側安裝有第二伸縮桿，所述第二伸縮桿的一端安裝有固定架，所述固定架的上方安裝有連接固定板，且連接固定板與邊框的內(nèi)側通過嵌入孔鑲嵌安裝，所述固定架的底部安裝有第三伸縮桿，所述第三伸縮桿的底部安裝有吸盤，所述掩模夾具專用工作臺的中間位置處設置有掩模放置槽。

優(yōu)選的，所述掩模夾具共設置有四個，且四個掩模夾具分別安裝在邊框四條邊的內(nèi)側，且每兩個掩模夾具相互對。

優(yōu)選的，所述掩模放置槽為網(wǎng)狀結構。

優(yōu)選的，所述吸盤與掩模夾具專用工作臺之間設置有間隙。

本實用新型的有益效果是，本實用新型設置有掩模夾具專用工作臺，在此工作臺上安裝有四個掩模夾具，在掩模夾具專用工作臺的中間位置設置有掩模放置槽，可以用來放置掩模材料，方便加工，且方便定位，使掩模的固定位置更加精確，且在掩模夾具上設置多三處伸縮桿，可以使裝置進行三維收縮，改變大小，可以對不同大小和形狀的掩模進行固定，增大了裝置的實用性，且此裝置的固定方式，為施壓在掩模邊緣位置，不會影響到掩模內(nèi)的圖形。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是本實用新型的掩模夾具的結構示意圖。

圖中：1、掩模夾具專用工作臺，2、連接固定板，3、邊框，4、伸縮套，5、第一伸縮桿，6、把手，7、掩模放置槽，8、第二伸縮桿，9、連接螺栓，10、嵌入孔，11、固定架，12、支撐腿，13、第三伸縮桿，14、吸盤，15、掩模夾具。

具體實施方式

現(xiàn)在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

請參閱圖1-2，本實用新型提供的一種實施例：一種通用掩模夾具，包括掩模夾具專用工作臺1,掩模夾具專用工作臺1的邊緣位置處安裝有邊框3，掩模夾具專用工作臺1是專為此種夾具設計的工作臺，邊框3的內(nèi)側安裝有掩模夾具15，掩模夾具15用來固定掩模的裝置，掩模夾具15的中間位置安裝有伸縮套4，且伸縮套4與邊框3通過第一伸縮桿5連接，第一伸縮桿5控制掩模夾具15與掩模放置槽7的距離，伸縮套4的上方安裝有把手6，把手6方便操作，且把手6與伸縮套4通過連接螺栓9固定連接，伸縮套4的兩側安裝有第二伸縮桿8，第二伸縮桿8可以控制兩個吸盤14之間的距離，第二伸縮桿8的一端安裝有固定架11，固定架11的上方安裝有連接固定板2，且連接固定板2與邊框3的內(nèi)側通過嵌入孔10鑲嵌安裝，固定架11的底部安裝有第三伸縮桿13，第三伸縮桿13用來控制吸盤14深入到掩模放置槽7內(nèi)，從而固定到掩模上，第三伸縮桿13的底部安裝有吸盤14，掩模夾具專用工作臺1的中間位置處設置有掩模放置槽7，掩模夾具15共設置有四個，且四個掩模夾具15分別安裝在邊框3四條邊的內(nèi)側，且每兩個掩模夾具15相互對稱，掩模放置槽7為網(wǎng)狀結構，吸盤14與掩模夾具專用工作臺1之間設置有間隙。

具體使用方式：該設備在使用時，將硅片材料放置到掩模放置槽7內(nèi)，然后在硅片上的選定區(qū)域上，放置掩模，區(qū)域選定好后，通過控制第一伸縮桿5控制掩模夾具15向掩模放置槽7靠攏，當?shù)竭_掩模放置槽7的上方位置時，根據(jù)掩模的大小，控制第二伸縮桿8伸縮，使其底部的兩吸盤14位置與掩模寬度相同，然后通過控制第三伸縮桿13伸長，使吸盤14固定在掩模上，從而將其固定。

以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權利要求范圍來確定其技術性范圍。