技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種防塵鏡頭、物鏡及LDI光刻機(jī)防塵鏡，涉及激光直接成像技術(shù)領(lǐng)域，包括成像鏡筒和防塵物鏡，防塵物鏡分為物鏡鏡筒和防塵鏡頭，防塵鏡頭的鏡筒與物鏡鏡筒連接。防塵鏡頭包括鏡筒、鏡片和密封圈，鏡片和密封圈均裝配在鏡筒的內(nèi)部，密封圈位于鏡筒內(nèi)部的底層，鏡片位于密封圈的上層。該技術(shù)方案解決了傳統(tǒng)光刻機(jī)鏡頭存在的清潔過程繁瑣，清潔后恢復(fù)鏡片困難的問題，從而簡化了光刻機(jī)的清潔流程，節(jié)省了技術(shù)人員清潔后恢復(fù)鏡片的時間，從而提高了光刻機(jī)的生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：姜浩斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天津津芯微電子科技有限公司
文檔號碼：201621282432
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.25
技術(shù)公布日：2017.06.30