技術(shù)編號(hào)：12780031
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及激光直接成像技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種防塵鏡頭、物鏡及LDI光刻機(jī)防塵鏡。背景技術(shù)光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等。目前，激光直接成像(LaserDirectImage，簡(jiǎn)稱LDI)光刻機(jī)所使用的鏡筒是光刻機(jī)的主要光路部分。參見圖1，現(xiàn)有技術(shù)的鏡筒結(jié)構(gòu)示意圖。其中，位于鏡筒最上端的鏡片的上表面與鏡筒最末端的鏡片下表面與空氣相接觸，鏡筒的下方就...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。