技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供了一種復眼勻光系統(tǒng)、照明調(diào)節(jié)機構(gòu)及照明裝置，涉及光刻直寫曝光機及投影顯示的技術(shù)領域，其中，平行入射光依次經(jīng)過第一鏡片、第二鏡片、第三鏡片和第四鏡片；第二鏡片和第三鏡片的相對面均設有第一復眼透鏡陣列；第一鏡片和第四鏡片的背離面均設有第二復眼透鏡陣列；第一鏡片的第二復眼透鏡陣列中各小透鏡的焦點與第二鏡片的第一復眼透鏡陣列中對應的小透鏡的光心重合；第三鏡片的所述第一復眼透鏡陣列中各小透鏡的焦點與第四鏡片的所述第二復眼透鏡陣列中對應的小透鏡的光心重合。解決了現(xiàn)有技術(shù)中復眼勻光系統(tǒng)存在LDI曝光時激光器能量分布不均勻的問題，可以實現(xiàn)光線的有效均勻化，使LDI最后曝光時能夠獲得所需要的均勻能量。

技術(shù)研發(fā)人員：梁洪瑞
受保護的技術(shù)使用者：天津津芯微電子科技有限公司
文檔號碼：201621272722
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.25
技術(shù)公布日：2017.06.30