1.一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，包括基板(100)和與基板(100)連接并能在基板(100)上旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(200)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(200)設有旋轉(zhuǎn)向頂塊(207)，所述基板(100)上還設置有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(300)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(300)包括在基板(100)上做直線運動并驅(qū)動旋轉(zhuǎn)向頂塊(207)轉(zhuǎn)動的頂桿(308)；
所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(300)還包括用于復位旋轉(zhuǎn)向頂塊(207)和防止旋轉(zhuǎn)向頂塊(207)做慣性運動的彈性端，所述彈性端包括連接設置的跟蹤滑桿(312)和彈性裝置；
所述基板(100)上還設置有用于采集頂桿(308)直線運動距離的光柵傳感器組件(400)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(300)還包括電機(301)、聯(lián)軸節(jié)(303)、滾珠絲杠(305)、位于基板(100)上的滑動導軌(306)和螺母連接塊(307)；滑動導軌(306)上設有滑塊，螺母連接塊(307)的下端面與滑塊連接；所述頂桿(308)另一端安裝在螺母連接塊(307)上，螺母連接塊(307)與滾珠絲杠(305)的螺母同軸連接固定；所述電機(301)通過聯(lián)軸節(jié)(303)與滾珠絲杠(305)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在于，所述滾珠絲杠(305)靠近聯(lián)軸節(jié)(303)的一端由軸承支承單元(304)固定，軸承支承單元(304)安裝在基板(100)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(300)還包括限位機構(gòu)，限位機構(gòu)包括光電開關(guān)(314)、光電開關(guān)座(315)和擋片(313)，光電開關(guān)位于光電開關(guān)座(315)下方，所述光電開關(guān)座(315)與基板(100)固定連接，擋片(313)與螺母連接塊(307)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在，所述跟蹤滑桿(312)和彈性裝置設置于跟蹤滑桿座(309)內(nèi)，且跟蹤滑桿(312)可在跟蹤滑桿座(309)中滑動。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在于，所述電機(301)下方設有電機彎板(302)，電機彎板(302)安裝在基板(100)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求2或6所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在于，所述電機(301)為步進電機。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在于，所述直線光柵傳感器組件(400)包括光柵尺(402)、用于采集光柵尺信號的讀數(shù)頭(401)、與光柵尺(402)連接的光柵尺架(403)、與讀數(shù)頭(401)連接的讀數(shù)頭彎板(404)，所述光柵尺架(403)還與螺母連接塊(307)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉(zhuǎn)方向精確定位的機構(gòu)，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(200)還包括轉(zhuǎn)軸、與所述轉(zhuǎn)軸套設的轉(zhuǎn)軸套(201)、外層旋轉(zhuǎn)保持架(202)、鋼球(203)、下端面保持架(204)、端面軸承板(205)；
所述轉(zhuǎn)軸套(201)安裝在外層旋轉(zhuǎn)保持架(202)上，所述外層旋轉(zhuǎn)保持架(202)內(nèi)安裝鋼球(203)，鋼球(203)上表面與轉(zhuǎn)軸套(201)接觸，下表面與基板(100)上端面接觸；所述下端面保持架(204)內(nèi)也安裝有鋼球(203)，鋼球(203)上表面與基板(100)下端面接觸，下表面與端面軸承板(205)上端面接觸；所述旋轉(zhuǎn)向頂塊(207)固定連接在轉(zhuǎn)軸套(201)側(cè)面。