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一種掩膜板和陣列基板的制作方法

文檔序號(hào):11917015閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種掩膜板,其特征在于,包括襯底,所述襯底上設(shè)置有開口區(qū)域和遮擋區(qū)域,所述開口區(qū)域由多個(gè)基礎(chǔ)圖形組合而成;

所述開口區(qū)域與所述遮擋區(qū)域的面積比為α,1/3≤α<1。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,2/5≤α<1。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述基礎(chǔ)圖形的組合方式包括:相鄰的兩個(gè)所述基礎(chǔ)圖形的外輪廓至少有一個(gè)交點(diǎn)和沒有交點(diǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述基礎(chǔ)圖形包括三角形、圓形、正方形、正六邊形和六角星形中的一種或幾種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述基礎(chǔ)圖形的外接圓的直徑為1~2μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,當(dāng)所述基礎(chǔ)圖形為圓形時(shí),每個(gè)圓形最多與N個(gè)圓形相切,N=4或6。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括多個(gè)分區(qū),每個(gè)所述分區(qū)的開口區(qū)域占對(duì)應(yīng)分區(qū)的開口占有率不同。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜板,其特征在于,單個(gè)所述分區(qū)內(nèi)的基礎(chǔ)圖形的組合方式相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜板,其特征在于,所述多個(gè)分區(qū)分布成一列,其中的一端為第一端,靠近所述第一端的分區(qū)的開口占有率小于遠(yuǎn)離所述第一端的分區(qū)的開口占有率。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述遮擋區(qū)域的厚度為1150±200埃。

11.一種陣列基板,其特征在于,所述陣列基板的有機(jī)絕緣膜由權(quán)利要求1~10任一項(xiàng)所述的掩膜板制成。

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