技術(shù)總結(jié)
本專利公開了一種集成化空間精密兩維掃描機(jī)構(gòu)，包括跨軌掃描機(jī)構(gòu)和沿軌掃描機(jī)構(gòu)；跨軌掃描機(jī)構(gòu)包括掃描鏡、掃描機(jī)構(gòu)前殼體、掃描機(jī)構(gòu)中間端蓋、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、角位移傳感器、轉(zhuǎn)動軸、軸承組件、直線運(yùn)動軸、前鉸鏈組件、后鉸鏈組件、前鉸鏈組件支撐、后鉸鏈組件支撐、密封圈；沿軌掃描機(jī)構(gòu)包括掃描鏡、直線電機(jī)、直線運(yùn)動軸、掃描機(jī)構(gòu)后殼體、轉(zhuǎn)動軸、前鉸鏈組件、后鉸鏈組件、前鉸鏈組件支撐、后鉸鏈組件支撐、直線電機(jī)封蓋、前限位裝置、后限位裝置。本專利的優(yōu)點(diǎn)在于：與傳統(tǒng)的兩維掃描機(jī)構(gòu)相比具有集成化、輕小型、高指向精度、裝配難度低等特點(diǎn)；一維可以360°轉(zhuǎn)動，另一維的轉(zhuǎn)動角度可通過限位裝置確定，跨軌掃描和沿軌掃描交替運(yùn)動。

技術(shù)研發(fā)人員：陳星;袁杰;顧明劍;宋曉偉;劉濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
文檔號碼：201621119808
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.13
技術(shù)公布日：2017.06.27