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一種紅外截止濾光片的制作方法

文檔序號:11052637閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種紅外截止濾光片,包括透明基板,在所述透明基板的一側(cè)設(shè)有紅外短波截止復(fù)合膜,在所述透明基板的另一側(cè)設(shè)有紅外長波截止復(fù)合膜,所述紅外短波截止復(fù)合膜與紅外長波截止復(fù)合膜分別由高折射率材料膜層和低折射率材料膜層交替形成,其特征在于,在所述透明基板與紅外短波截止復(fù)合膜之間鍍設(shè)有第一接合層,在所述透明基板與紅外長波截止復(fù)合膜之間鍍設(shè)有第二接合層,在所述紅外短波截止復(fù)合膜的外表面上設(shè)有第一耐磨層,在所述紅外長波截止復(fù)合膜的外表面上設(shè)有第二耐磨層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紅外截止濾光片,其特征在于:所述紅外短波截止復(fù)合膜的層數(shù)為15-30層,所述紅外長波截止復(fù)合膜的層數(shù)為20-25層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種紅外截止濾光片,其特征在于:所述紅外短波截止復(fù)合膜的厚度為1500-3000nm,所述紅外長波截止復(fù)合膜的厚度為2000-2500nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紅外截止濾光片,其特征在于:所述透明基板的厚度為100-500nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紅外截止濾光片,其特征在于:所述高折射率材料膜層采用TiO2、Ta2O5、Nb2O5中的一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紅外截止濾光片,其特征在于:所述低折射率材料膜層采用SiO2或MgF2。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紅外截止濾光片,其特征在于:所述第一接合層為SiO2,所述第二接合層為MgF2。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紅外截止濾光片,其特征在于:所述第一耐磨層的厚度為3-5nm,所述第二耐磨層的厚度為4-6nm。

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