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一種電磁驅(qū)動(dòng)一維微鏡的制作方法

文檔序號(hào):12800628閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種電磁驅(qū)動(dòng)一維微鏡,其特征在于,包括:基座和鏡面,所述鏡面通過扭轉(zhuǎn)梁架設(shè)在基座上,并繞扭轉(zhuǎn)梁任意角度旋轉(zhuǎn);所述鏡面的一面為反射用反射面,另一面上設(shè)有用于產(chǎn)生輸出力矩的電磁線圈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁驅(qū)動(dòng)一維微鏡,其特征在于,所述鏡面外圍設(shè)有磁鐵封裝結(jié)構(gòu),磁鐵封裝結(jié)構(gòu)至少包括兩組磁鐵,磁鐵形成的磁場(chǎng)系統(tǒng)將鏡面包裹,為電磁線圈的力矩輸出提供動(dòng)力。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁驅(qū)動(dòng)一維微鏡,其特征在于,磁鐵封裝結(jié)構(gòu)包括兩組磁鐵,分別設(shè)于鏡面上下兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電磁驅(qū)動(dòng)一維微鏡,其特征在于,所述磁鐵為釹鐵硼強(qiáng)磁鐵。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁驅(qū)動(dòng)一維微鏡,其特征在于,所述扭轉(zhuǎn)梁設(shè)于鏡面兩端,且與基座垂直設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁驅(qū)動(dòng)一維微鏡,其特征在于,所述鏡面形狀為矩形、圓形或者橢圓。

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