技術(shù)編號：12800628
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及微電子機械領(lǐng)域，特別是涉及一種電磁驅(qū)動一維微鏡。背景技術(shù)現(xiàn)有的幾種MEMS微鏡存在以下不足：1.靜電式MEMS掃描微鏡：雖然其驅(qū)動方式簡單，功率消耗相對較小，但是其驅(qū)動電壓往往較高，且產(chǎn)生的驅(qū)動力較小，無法提供大尺寸鏡面的微鏡扭轉(zhuǎn)所需要的力，目前的靜電式的MEMS微鏡的反射鏡面都較小而且需要工作在諧振狀態(tài)才能實現(xiàn)較大的轉(zhuǎn)角。2.電熱性MEMS掃描鏡：其驅(qū)動通過集成與金屬氧化物中的多晶硅加熱器來實現(xiàn)，在電流驅(qū)動下的偏轉(zhuǎn)角度較大，但是由于熱制動器的遲滯效應，微鏡的響應速度往往比較慢，不...
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