一種電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其包括反射鏡模塊、動(dòng)臺(tái)模塊與靜臺(tái)模塊，所述反射鏡模塊、動(dòng)臺(tái)模塊與靜臺(tái)模塊依次連接；所述動(dòng)臺(tái)模塊包括永磁鐵組件與支撐板組件，所述靜臺(tái)模塊包括電磁鐵組件，所述永磁鐵組件與所述支撐板組件固定連接，所述電磁鐵組件通電產(chǎn)生磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)所述永磁鐵組件移動(dòng)，所述支撐板組件在所述永磁鐵組件的移動(dòng)下沿所述支撐板組件的水平軸線偏轉(zhuǎn)，所述支撐板組件偏轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)。本發(fā)明采用永磁鐵與電磁鐵驅(qū)動(dòng)力矩導(dǎo)致反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)，供電電壓較低而運(yùn)動(dòng)行程較大，同時(shí)也不存在遲滯和蠕變現(xiàn)象的優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)本發(fā)明提供的靜臺(tái)模塊在整個(gè)驅(qū)動(dòng)反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)過(guò)程中位置不變，整個(gè)系統(tǒng)更穩(wěn)定、可靠。
【專利說(shuō)明】一種電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種二維快速偏轉(zhuǎn)鏡，特別是一種通過(guò)永磁鐵與電磁鐵作用力產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力矩導(dǎo)致鏡面偏轉(zhuǎn)的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]二維快速偏轉(zhuǎn)鏡是光學(xué)掃描器件的一種,可實(shí)現(xiàn)光束掃描、光束定位、目標(biāo)跟蹤，是激光雷達(dá)、自適應(yīng)光學(xué)、空間激光通信等應(yīng)用領(lǐng)域的關(guān)鍵器件之一。
[0003]二維快速偏轉(zhuǎn)鏡的工作原理是驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生角位移或線位移，驅(qū)動(dòng)附加在其上的反射鏡實(shí)現(xiàn)角度二維偏轉(zhuǎn)。
[0004]在現(xiàn)有的二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)中，廣泛使用的驅(qū)動(dòng)方式為音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式和壓電晶體驅(qū)動(dòng)方式。音圈電機(jī)在小功耗的輸入下可實(shí)現(xiàn)鏡面大范圍的偏轉(zhuǎn)，但由于音圈電機(jī)的輸出力小、剛度低，使得系統(tǒng)響應(yīng)速度受限，且由于線圈和磁鐵的不斷相對(duì)運(yùn)動(dòng)，影響系統(tǒng)可靠性；壓電晶體驅(qū)動(dòng)方式可以實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)，控制精度較高，但存在遲滯和蠕變現(xiàn)象，輸出范圍有限，鏡面的偏轉(zhuǎn)范圍小，且需要的供電電壓較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供了一種電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其包括反射鏡模塊、動(dòng)臺(tái)模塊與靜臺(tái)模塊，所述反射鏡模塊、動(dòng)臺(tái)模塊與靜臺(tái)模塊依次連接；
所述動(dòng)臺(tái)模塊包括永磁鐵組件與支撐板組件，所述靜臺(tái)模塊包括電磁鐵組件，所述永磁鐵組件與所述支撐板組件固定連接，所述電磁鐵組件通電產(chǎn)生磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)所述永磁鐵組件移動(dòng)，所述支撐板組件在所述永磁鐵組件的移動(dòng)下沿所述支撐板組件的水平軸線偏轉(zhuǎn)，所述支撐板組件偏轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)。
[0006]較佳地，所述永磁鐵組件包括四個(gè)90度間隔分布的第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵，所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵分別通過(guò)永磁鐵安裝架與所述支撐板組件連接；所述電磁鐵組件通電產(chǎn)生磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵移動(dòng)，所述第一永磁鐵、第三永磁鐵帶動(dòng)所述支撐板組件沿第一水平軸偏轉(zhuǎn)，所述第二永磁鐵、第四永磁鐵帶動(dòng)所述支撐板組件沿第二水平軸偏轉(zhuǎn)。
[0007]較佳地，所述電磁鐵組件包括與所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵位置對(duì)應(yīng)的第一電磁鐵、第二電磁鐵、第三電磁鐵與第四電磁鐵，所述各永磁鐵與其對(duì)應(yīng)的各電磁鐵之間始終保持吸相互吸引。
[0008]較佳地，所述第一永磁鐵、第一電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力與所述第三永磁鐵、第三電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力相反，所述第二永磁鐵、第二電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力與所述第四永磁鐵、第四電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力相反。
[0009]較佳地，所述支撐板組件包括相互連接的剛性支撐板與彈性膜片，所述彈性膜片與所述永磁鐵組件連接，所述剛性支撐板與所述反射鏡模塊連接；所述永磁鐵組件在所述電磁鐵組件的作用下帶動(dòng)所述彈性膜片產(chǎn)生形變，其中所述第一永磁鐵、第一電磁鐵之間的作用力與所述第三永磁鐵、第三電磁鐵之間的作用力使所述彈性膜片形變帶動(dòng)所述剛性支撐板沿第一水平軸偏轉(zhuǎn)，所述第二永磁鐵、第二電磁鐵之間的作用力與所述第四永磁鐵、第四電磁鐵之間的作用力使所述彈性膜片形變帶動(dòng)所述剛性支撐板沿第二水平軸偏轉(zhuǎn)。
[0010]較佳地，所述靜臺(tái)模塊還包括四個(gè)位移傳感器與一傳感器安裝架，所述動(dòng)臺(tái)模塊還包括一傳感器測(cè)量極板；所述位移傳感器安裝在所述傳感器安裝架上，所述傳感器測(cè)量極板與所述剛性支撐板連接，所述剛性支撐板轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述傳感器測(cè)量極板位移，所述位移傳感器通過(guò)差動(dòng)測(cè)量所述傳感器測(cè)量極板的位移得到繞所述第一水平軸、第二水平軸偏轉(zhuǎn)的角度。
[0011]較佳地，所述反射鏡模塊包括反射鏡、反射鏡安裝架與反射鏡固定裝置，所述反射鏡設(shè)于所述反射鏡安裝架內(nèi)，所述反射鏡固定裝置將所述反射鏡固定在所述反射鏡安裝架內(nèi)。
[0012]較佳地，所述電磁鐵組件還包括設(shè)于其外側(cè)的電磁屏蔽板，所述電磁屏蔽板與各所述電磁鐵連接，所述電磁屏蔽板與所述傳感器安裝架固定連接。
[0013]較佳地，所述彈性膜片通過(guò)墊片與所述傳感器安裝架連接。
[0014]較佳地，所述靜臺(tái)模塊還包括一底板，所述各電磁鐵分別設(shè)于所述底板的凹槽中，所述底板與所述傳感器安裝架連接。
[0015]本發(fā)明采用永磁鐵與電磁鐵驅(qū)動(dòng)力矩導(dǎo)致反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)，供電電壓較低而運(yùn)動(dòng)行程較大，同時(shí)也不存在遲滯和蠕變現(xiàn)象的優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)本發(fā)明提供的靜臺(tái)模塊在整個(gè)驅(qū)動(dòng)反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)過(guò)程中位置不變，整個(gè)系統(tǒng)更穩(wěn)定、可靠；本發(fā)明采用四組90度間隔分布的永磁鐵與電磁鐵驅(qū)動(dòng)，方便準(zhǔn)確的控制反射鏡模塊的偏轉(zhuǎn)角度。
[0016]當(dāng)然，實(shí)施本發(fā)明的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)三維示意圖；
圖2A為本發(fā)明實(shí)施例提供的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)俯視圖；
圖2B為本發(fā)明實(shí)施例提供的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)的剖視圖；
圖2C為本發(fā)明實(shí)施例提供的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)的軸肩位置結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3A為本發(fā)明實(shí)施例提供的支撐板組件在電磁鐵未通電時(shí)的位置示意圖；
圖3B為本發(fā)明實(shí)施例提供的支撐板組件在電磁鐵通電時(shí)的位置示意圖。
具體實(shí)施例
[0018]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，如圖1所示，其包括反射鏡模塊1、動(dòng)臺(tái)模塊2與靜臺(tái)模塊3，反射鏡模塊1、動(dòng)臺(tái)模塊2與靜臺(tái)模塊3依次連接；圖2A為本發(fā)明實(shí)施例提供的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)俯視圖；
所述動(dòng)臺(tái)模塊包括永磁鐵組件與支撐板組件，所述靜臺(tái)模塊包括電磁鐵組件，所述永磁鐵組件與所述支撐板組件固定連接，所述電磁鐵組件通電產(chǎn)生磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)所述永磁鐵組件移動(dòng)，所述支撐板組件在所述永磁鐵組件的移動(dòng)下沿所述支撐板組件的水平軸線偏轉(zhuǎn)，所述支撐板組件偏轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)。[0019]在本實(shí)施例中所述永磁鐵組件包括四個(gè)90度間隔分布的第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵，所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵通過(guò)永磁鐵安裝架與所述支撐板組件連接。所述電磁鐵組件包括四個(gè)與所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵位置對(duì)應(yīng)的第一電磁鐵、第二電磁鐵、第三電磁鐵與第四電磁鐵，所述各永磁鐵與其對(duì)應(yīng)的各電磁鐵之間始終保持吸引力。
[0020]所述第一永磁鐵、第一電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力與所述第三永磁鐵、第三電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力相反，所述第二永磁鐵、第二電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力與所述第四永磁鐵、第四電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力相反。
[0021 ] 本例給出的四個(gè)永磁鐵為釹鐵硼材料，充磁方向相同，依靠吸力固定于永磁鐵安裝架10的凹槽內(nèi)，相隔180度的任意兩個(gè)電磁鐵的線圈通電方向是相反的；當(dāng)然本發(fā)明也
可以采用其他材質(zhì)的永磁鐵，本發(fā)明不再--列舉永磁鐵的種類，本發(fā)明提供的各個(gè)永磁
鐵的充磁方向可以任意設(shè)置，但需要保證相隔180度的任意兩個(gè)電磁鐵與對(duì)應(yīng)的兩個(gè)永磁鐵產(chǎn)生的兩組磁場(chǎng)力方向是相反的。
[0022]如圖2B所示，所述支撐板組件包括相互連接的剛性支撐板7與彈性膜片8，彈性膜片8與所述永磁鐵組件連接，剛性支撐板7與所述反射鏡模塊連接；所述永磁鐵組件在所述電磁鐵組件的作用下帶動(dòng)彈性膜片8產(chǎn)生形變，其中所述第一永磁鐵、第一電磁鐵之間的作用力與所述第三永磁鐵、第三電磁鐵之間的作用力使彈性膜片5形變帶動(dòng)剛性支撐板7沿第一水平軸偏轉(zhuǎn)，所述第二永磁鐵、第二電磁鐵之間的作用力與所述第四永磁鐵、第四電磁鐵之間的作用力使彈性膜片8形變帶動(dòng)剛性支撐板7沿第二水平軸偏轉(zhuǎn)。如圖2B所示，給出了一個(gè)永磁鐵11與電磁鐵14，其余三個(gè)永磁鐵與電磁鐵的結(jié)構(gòu)、安裝狀態(tài)與永磁鐵11、電磁鐵14的相同。
[0023]所述靜臺(tái)模塊還包括四個(gè)位移傳感器12與一傳感器安裝架13，所述動(dòng)臺(tái)模塊還設(shè)有一傳感器測(cè)量極板9 ;各位移傳感器12安裝在傳感器安裝架13上，傳感器測(cè)量極板9與剛性支撐板7連接，剛性支撐板7轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳感器測(cè)量極板9位移，位移傳感器12通過(guò)差動(dòng)測(cè)量傳感器測(cè)量極板9的位移解算出繞兩軸偏轉(zhuǎn)的角度。本例中位移傳感器12為非接觸位移傳感器，四個(gè)非接觸位移傳感器12布置在四個(gè)鐵芯間相隔45°的位置，通過(guò)傳感器安裝架13上的卡箍進(jìn)行調(diào)節(jié)和固定。當(dāng)然本發(fā)明并不對(duì)位移傳感器12的傳感器類型與設(shè)置方式限定，本實(shí)施例僅為本發(fā)明的一種較佳的實(shí)施方式。
[0024]本實(shí)施例中，剛性支撐板7通過(guò)內(nèi)部四個(gè)凸起與彈性膜片8、傳感器測(cè)量極板9、永磁鐵安裝架10內(nèi)部的四個(gè)凹槽定位，四者通過(guò)螺釘連接；四個(gè)永磁鐵安裝架10為導(dǎo)磁材料，以90°為間隔均布；四個(gè)永磁鐵依靠吸力固定于永磁鐵安裝架10的凹槽內(nèi)；彈性膜片8采用2號(hào)鈹青銅材料，并經(jīng)過(guò)時(shí)效處理，傳感器安裝架13通過(guò)螺釘連接動(dòng)臺(tái)模塊2與靜臺(tái)模塊3并壓緊；如圖2C所示，傳感器安裝架13的軸肩與彈性膜片8之間可增減墊片以調(diào)整動(dòng)臺(tái)模塊2與靜臺(tái)模塊3的初始位置，彈性膜片8上方的墊片用于保護(hù)膜片，防止螺釘旋入時(shí)損壞其表面。
[0025]本實(shí)施例提供的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)具體工作過(guò)程為:
圖3A為本發(fā)明實(shí)施例提供的支撐板組件在電磁鐵未通電時(shí)的位置示意圖；圖3B為本發(fā)明實(shí)施例提供的支撐板組件在電磁鐵通電時(shí)的位置示意圖。
[0026] 其中粗實(shí)線表示彈性膜片8的理想初始位置，粗虛線表示彈性膜片的實(shí)際初始位置，細(xì)實(shí)線表示剛性支撐板7的理想初始位置，細(xì)虛線表示剛性支撐板7的實(shí)際初始位置，粗點(diǎn)劃線表示通電后的彈性膜片7處于位移狀態(tài)的位置，細(xì)點(diǎn)劃線表示通電后的剛性支撐板7處于位移狀態(tài)的位置。
[0027]安裝完成后，在不加電流的情況下，永磁鐵由于初始充磁即對(duì)電磁鐵產(chǎn)生吸引力，即四個(gè)永磁鐵處相應(yīng)受到四個(gè)向下的力，彈性膜片8產(chǎn)生變形，使剛性支撐板7帶動(dòng)其上的反射鏡模塊I向下平移，此為實(shí)際初始位置。
[0028]實(shí)際工作時(shí)，通入電流后，由于相隔180°的兩個(gè)鐵芯為一根導(dǎo)線反向繞線，即實(shí)際一個(gè)通入正向電流，使電磁吸引力增大，另一個(gè)通入反向電流，使電磁吸引力減小，但仍保證為吸引力，不產(chǎn)生排斥力。此時(shí)，兩邊受力不平衡產(chǎn)生的合力矩使剛性支撐板7帶動(dòng)其上的反射鏡模塊I發(fā)生偏轉(zhuǎn)；彈性膜片8的彈性變形產(chǎn)生與偏轉(zhuǎn)角度成比例的回復(fù)力矩，用于平衡電磁力產(chǎn)生的力矩。
[0029]彈性膜片8理論上具有固有的無(wú)限分辨率，因此偏轉(zhuǎn)精度完全由傳感器12的測(cè)量精度決定。為實(shí)現(xiàn)鏡面快速偏轉(zhuǎn)，只需快速改變電流大小和方向，而在整個(gè)工作過(guò)程中線圈和鐵芯是靜止不動(dòng)的，即在靜止元件和運(yùn)動(dòng)元件之間不存在電氣連接，極大地提高了可靠性。
[0030]本發(fā)明采用永磁鐵與電磁鐵驅(qū)動(dòng)力矩導(dǎo)致反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)，供電電壓較低而運(yùn)動(dòng)行程較大，同時(shí)也不存在遲滯和蠕變現(xiàn)象的優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)本發(fā)明提供的靜臺(tái)模塊在整個(gè)驅(qū)動(dòng)反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)過(guò)程中位置不變，整個(gè)系統(tǒng)更穩(wěn)定、可靠；本發(fā)明采用四組90度間隔分布的永磁鐵與電磁鐵驅(qū)動(dòng)，方便準(zhǔn)確的控制反射鏡模塊的偏轉(zhuǎn)角度。
[0031]以上公開(kāi)的本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例只是用于幫助闡述本發(fā)明。優(yōu)選實(shí)施例并沒(méi)有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該發(fā)明僅為所述的【具體實(shí)施方式】。顯然，根據(jù)本說(shuō)明書的內(nèi)容，可作很多的修改和變化。本說(shuō)明書選取并具體描述這些實(shí)施例，是為了更好地解釋本發(fā)明的原理和實(shí)際應(yīng)用，從而使所屬【技術(shù)領(lǐng)域】技術(shù)人員能很好地理解和利用本發(fā)明。本發(fā)明僅受權(quán)利要求書及其全部范圍和等效物的限制。
【權(quán)利要求】
1.一種電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，包括反射鏡模塊、動(dòng)臺(tái)模塊與靜臺(tái)模塊，所述反射鏡模塊、動(dòng)臺(tái)模塊與靜臺(tái)模塊依次連接； 所述動(dòng)臺(tái)模塊包括永磁鐵組件與支撐板組件，所述靜臺(tái)模塊包括電磁鐵組件，所述永磁鐵組件與所述支撐板組件固定連接，所述電磁鐵組件通電產(chǎn)生磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)所述永磁鐵組件移動(dòng)，所述支撐板組件在所述永磁鐵組件的移動(dòng)下沿所述支撐板組件的水平軸線偏轉(zhuǎn)，所述支撐板組件偏轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述反射鏡模塊偏轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述永磁鐵組件包括四個(gè)90度間隔分布的第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵，所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵分別通過(guò)永磁鐵安裝架與所述支撐板組件連接；所述電磁鐵組件通電產(chǎn)生磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵移動(dòng)，所述第一永磁鐵、第三永磁鐵帶動(dòng)所述支撐板組件沿第一水平軸偏轉(zhuǎn)，所述第二永磁鐵、第四永磁鐵帶動(dòng)所述支撐板組件沿第二水平軸偏轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求2所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述電磁鐵組件包括與所述第一永磁鐵、第二永磁鐵、第三永磁鐵與第四永磁鐵位置對(duì)應(yīng)的第一電磁鐵、第二電磁鐵、第三電磁鐵與第四電磁鐵，所述各永磁鐵與其對(duì)應(yīng)的各電磁鐵之間始終保持相互吸引。
4.如權(quán)利要求3所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述第一永磁鐵、第一電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力與所述第三永磁鐵、第三電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力相反，所述第二永磁鐵、第二電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力與所述第四永磁鐵、第四電磁鐵之間的磁場(chǎng)產(chǎn)生的作用力相反。
5.如權(quán)利要求4所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述支撐板組件包括相互連接的剛性支撐板與彈性膜片，所述彈性膜片與所述永磁鐵組件連接，所述剛性支撐板與所述反射鏡模塊連接；所述永磁鐵組件在所述電磁鐵組件的作用下帶動(dòng)所述彈性膜片產(chǎn)生形變，其中所述第一永磁鐵、第一電磁鐵之間的作用力與所述第三永磁鐵、第三電磁鐵之間的作用力的差值使所述彈性膜片形變帶動(dòng)所述剛性支撐板沿第一水平軸偏轉(zhuǎn)，所述第二永磁鐵、第二電磁鐵之間的作用力與所述第四永磁鐵、第四電磁鐵之間的作用力的差值使所述彈性膜片形變帶動(dòng)所述剛性支撐板沿第二水平軸偏轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求5所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述靜臺(tái)模塊還包括四個(gè)位移傳感器與一傳感器安裝架，所述動(dòng)臺(tái)模塊還包括一傳感器測(cè)量極板；所述位移傳感器安裝在所述傳感器安裝架上，所述傳感器測(cè)量極板與所述剛性支撐板連接，所述剛性支撐板轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述傳感器測(cè)量極板位移，所述位移傳感器通過(guò)差動(dòng)測(cè)量所述傳感器測(cè)量極板的位移并得出繞所述第一水平軸、第二水平軸偏轉(zhuǎn)的角度。
7.如權(quán)利要求1所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述反射鏡模塊包括反射鏡、反射鏡安裝架與反射鏡固定裝置，所述反射鏡設(shè)于所述反射鏡安裝架內(nèi)，所述反射鏡固定裝置將所述反射鏡固定在所述反射鏡安裝架內(nèi)。
8.如權(quán)利要求6所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述電磁鐵組件還包括設(shè)于其外側(cè)的電磁屏蔽板，所述電磁屏蔽板與各所述電磁鐵連接，所述電磁屏蔽板與所述傳感器安裝架固定連接。
9.如權(quán)利要求6所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述彈性膜片通過(guò)墊片與所述傳感器安裝架連接。
10.如權(quán)利要求3所述的電磁致動(dòng)二維快速偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)，其特征在于，所述靜臺(tái)模塊還包括一底板，所述各電磁鐵分別 設(shè)于所述底板的凹槽中，所述底板與所述傳感器安裝架連接。
【文檔編號(hào)】G02B26/08GK103913839SQ201410094180
【公開(kāi)日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2014年3月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月14日
【發(fā)明者】楊悅, 徐曉東, 苗軍, 李瑞祥 申請(qǐng)人:上海宇航系統(tǒng)工程研究所