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平行曝光機(jī)的制作方法

文檔序號:12650246閱讀:1453來源:國知局
平行曝光機(jī)的制作方法與工藝

本實用新型涉及生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種平行曝光機(jī)。



背景技術(shù):

一般印刷電路板或半導(dǎo)體芯片在進(jìn)行曝光顯影制程時,先在被加工物表面上涂上一層光阻,再藉由光源的照射將原稿上的電路布線圖案映像至被加工物表面的光阻層上,以使光阻層的化學(xué)性質(zhì)因光源的照射而產(chǎn)生變化,然后再利用去光阻劑來將被光源照射過的光阻或未經(jīng)曝光的光阻自被加工物表面去除,以形成對應(yīng)于原稿的線路布局,這種設(shè)備稱為曝光機(jī)。

以前的爆光機(jī)采用鹵素?zé)糇鳛闊峁庠?,功率大約20KW,發(fā)熱量大,所以需要另外加設(shè)冷卻機(jī)構(gòu)對整個曝光機(jī)進(jìn)行散熱,加大了整個裝置的體積,并且增大了制造成本,不宜進(jìn)行推廣。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型公開一種平行曝光機(jī),能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足。

為實現(xiàn)以上目的,本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):

一種平行曝光機(jī),包括機(jī)箱、底座、活動擋板和組合滑道,所述機(jī)箱設(shè)置在底座上端,所述活動擋板設(shè)置在底座前表面,所述組合滑道設(shè)置在底座上端;所述底座底部具有工作腔和備用腔,前端具有豎直滑槽,所述豎直滑槽頂部具有定位凹槽;所述活動擋板設(shè)置在豎直滑槽內(nèi),兩側(cè)均設(shè)置有彈簧和頂板,所述頂板通過彈簧與活動擋板連接;所述組合滑道包括第一滑道和第二滑道,所述第一滑道與第二滑道垂直設(shè)置,所述第一滑道沿底座前后方向設(shè)置,所述第二滑道沿底座左右方向設(shè)置,所述第二滑道一端設(shè)置在底座外側(cè)。

優(yōu)選的,所述機(jī)箱上端前表面設(shè)置有操作面板,所述操作面板包括顯示屏和控制旋鈕。

優(yōu)選的,所述活動擋板前表面還設(shè)置有把手。

優(yōu)選的,所述組合滑道上設(shè)置有滑動板,所述滑動板長和寬均為組合滑道長和寬的一半。

優(yōu)選的,所述組合滑道至少設(shè)置有三個。

本實用新型公開一種平行曝光機(jī),結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,能夠快速定位,能夠高效加工處理。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型實施例的主視結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本實用新型實施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中1、機(jī)箱,2、底座,3、活動擋板,4、組合滑道,5、滑動板,201、工作腔,202、備用腔,203、豎直滑槽,204、定位凹槽,301、彈簧,302、頂板,401、第一滑道,402、第二滑道。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。

如圖1至圖2所示,本實用新型實施例所述一種平行曝光機(jī),包括機(jī)箱、底座、活動擋板和組合滑道,所述機(jī)箱設(shè)置在底座上端,所述活動擋板設(shè)置在底座前表面,所述組合滑道設(shè)置在底座上端;所述底座底部具有工作腔和備用腔,前端具有豎直滑槽,所述豎直滑槽頂部具有定位凹槽;所述活動擋板設(shè)置在豎直滑槽內(nèi),兩側(cè)均設(shè)置有彈簧和頂板,所述頂板通過彈簧與活動擋板連接;所述組合滑道包括第一滑道和第二滑道,所述第一滑道與第二滑道垂直設(shè)置,所述第一滑道沿底座前后方向設(shè)置,所述第二滑道沿底座左右方向設(shè)置,所述第二滑道一端設(shè)置在底座外側(cè)。

所述機(jī)箱上端前表面設(shè)置有操作面板,所述操作面板包括顯示屏和控制旋鈕。所述活動擋板前表面還設(shè)置有把手。所述組合滑道上設(shè)置有滑動板,所述滑動板長和寬均為組合滑道長和寬的一半。所述組合滑道至少設(shè)置有三個。

綜上所述本實用新型公開一種平行曝光機(jī),結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,能夠快速定位,能夠高效加工處理。

需要說明的是,在本文中,諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下,由語句“包括一個……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案,而非對其限制;盡管參照前述實施例對本實用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。

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