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一種位相編碼折衍射元件的制作方法

文檔序號:11987541閱讀:252來源:國知局
一種位相編碼折衍射元件的制作方法與工藝

本實用新型涉及一種位相編碼折衍射元件,屬于光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

2001 年,德國L.Kipp教授在Nature 期刊上發(fā)表文章,首次提出photon sieves 的概念,后被譯成“光子篩”,是一種衍射光學(xué)成像器件,它是用隨機(jī)分布在透光環(huán)帶上的小孔代替菲涅爾結(jié)構(gòu)的透光環(huán)帶而形成的。經(jīng)過結(jié)構(gòu)優(yōu)化后,隨機(jī)分布的小孔能有效地抑制次級和高級衍射,從而提高成像的對比度和分辨力,甚至可以打破傳統(tǒng)衍射成像理論,實現(xiàn)超分辨力成像。此后,光子篩被國內(nèi)、外學(xué)者大量研究,可廣泛地應(yīng)用于納米光刻、天文觀測、航空拍攝、武器視覺等領(lǐng)域。

光子篩可以用直徑大于對應(yīng)波帶片環(huán)帶寬度的小孔來代替,放寬了現(xiàn)有最小加工尺寸的限制,在相同最小加工尺寸的情況下,光子篩能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分別率;并且光子篩上隨機(jī)分布的小孔,能有效地抑制旁瓣效應(yīng)和高階衍射,改善成像質(zhì)量。

光子篩是一種衍射光學(xué)元件,因而對波長變化敏感,普通光子篩不適用于寬光譜成像,因此,開發(fā)一種新的衍射光學(xué)元件,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在二級光譜,消色差帶寬小等問題,顯然是有必要的。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型的發(fā)明目的是提供一種位相編碼折衍射元件,消除二級光譜,實現(xiàn)超寬帶消色差清晰成像。

為達(dá)到上述發(fā)明目的,本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種位相編碼折衍射元件,包括折衍射元件本體,所述折衍射元件本體為平凸透鏡結(jié)構(gòu),所述平凸透鏡結(jié)構(gòu)的平面一側(cè)鍍有寬帶光子篩,所述寬帶光子篩為不透光金屬薄膜,

所述不透光金屬薄膜上設(shè)有環(huán)帶狀分布的通光小孔,所述通光小孔的位置分布滿足方程,式中,f為傳統(tǒng)光子篩的焦距,n為通光環(huán)帶的環(huán)帶序號,λ為光子篩的工作波長,R為寬帶光子篩的半徑,a為編碼系數(shù),k為波數(shù),xm和ym是光子篩第m個小孔的中心位置,m=1,2,3?num,其中,,。

優(yōu)選地,a=10π。

優(yōu)選地,所述平凸透鏡結(jié)構(gòu)的焦距為466mm,口徑為50mm。

優(yōu)選地,所述折衍射元件的基底為玻璃材質(zhì)。

進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述折衍射元件的基底材質(zhì)為BK7材料,在波長632.8nm的折射率為1.515,阿貝數(shù)為28.9627。

優(yōu)選地,所述折衍射元件的入射波長為400~700nm。

本實用新型的原理如下:衍射光學(xué)元件在短的波長具有比長波更長的焦距。然而,折射光學(xué)元件的聚焦情況與之相反。因此,可以結(jié)合折射和衍射兩種光學(xué)元件這種相反的特性在某一個波長范圍內(nèi)消色差。在同一塊光學(xué)元件相反的兩個表面上,其中一面加工出平凸表面實現(xiàn)折射成像,另一面加工出光子篩實現(xiàn)衍射成像。衍射光學(xué)元件若選用傳統(tǒng)光子篩,兩個邊緣波長可以被設(shè)計成聚焦到同一位置。但是,在中心波長和邊緣波長之間仍然存在著焦距差(二級光譜),說明該系統(tǒng)仍然存在很大的色差。光譜范圍越寬,這種二級色差越明顯。

本實用新型中:衍射元件的有效阿貝數(shù):

折射透鏡的阿貝數(shù):

邊緣波長消色差下的衍射元件和折射透鏡的焦距分配:

其中,f DOE_2是衍射元件在中心波長的焦距,f ref_2是折射鏡在中心波長的焦距,f是折衍射元件在中心波長的焦距。

由于上述技術(shù)方案運用,本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:

在相同尺寸和焦距下,本實用新型的折衍射元件的有效工作光譜范圍較傳統(tǒng)折衍射元件提高15倍左右,可在超寬帶寬范圍內(nèi)消除二級光譜,實現(xiàn)清晰成像。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型實施例一的實驗裝置圖。

圖3是實施例一中傳統(tǒng)折衍射元件的消色差光線示意圖。

圖4是實施例一中傳統(tǒng)折衍射元件在不同波長沿光軸光強分布圖。

圖5是實施例一中傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件的點擴(kuò)散函數(shù)(PSF)圖。

圖6是實施例一中傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件在不同波長下的MTF曲線示意圖。

圖7是實施例一中傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件在波長范圍400nm到700nm的仿真成像情況對比圖。

圖8是實施例一中傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件在不同帶寬下的PSF和成像對比圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進(jìn)一步描述:

實施例一:參見圖1所示,一種位相編碼折衍射元件,包括折衍射元件本體,折衍射元件本體為平凸透鏡結(jié)構(gòu),平凸透鏡結(jié)構(gòu)的平面一側(cè)鍍有寬帶光子篩,寬帶光子篩為不透光金屬薄膜,

不透光金屬薄膜1上設(shè)有環(huán)帶狀分布的通光小孔,通光小孔的位置分布滿足方程,式中,f為傳統(tǒng)光子篩的焦距,n為通光環(huán)帶的環(huán)帶序號,λ為光子篩的工作波長,R為寬帶光子篩的半徑,a為編碼系數(shù),k為波數(shù),xm和ym是光子篩第m個小孔的中心位置,m=1,2,3?num,其中,,。

參見圖2所示,為本實施例的實驗裝置圖,寬帶光源通過帶通濾光片,一個300nm帶寬的光譜由長波通濾光片(大于400nm)和短波通濾光片(小于700nm)組合而成,使用一個焦距550mm,口徑55mm的平行光管和像元大小為4.54μm(AVT Prosilica GX2750C)的CCD進(jìn)行成像測試。

本實施例中,編碼系數(shù)a=10p。

本實施例設(shè)計一個編碼系數(shù)a=10p位相編碼折衍射元件,焦距466mm,直徑50mm,中心波長為632.8nm,邊緣波長為400nm和700nm,即l1=400nm,l2=632.8nm,l3=700nm。玻璃基底選用BK7材料,其在波長632.8nm的折射率為1.515,阿貝數(shù)為28.9627。

作為對比,設(shè)計一個傳統(tǒng)的折衍射混合元件,將傳統(tǒng)光子篩和折射鏡相集成,整個元件的總體參數(shù)為焦距466mm,口徑50mm,l1=400nm,l2=632.8nm,l3=700nm。玻璃基底選用BK7材料(在波長632.8nm的折射率為1.515,阿貝數(shù)為28.9627)。在中心波長632.8nm,傳統(tǒng)光子篩焦距6864.8nm,折射鏡焦距499.954nm。最終設(shè)計元件在波長l1=400nm,l2=632.8nm和l3=700nm的焦距分別為464.36nm,466nm和464.36nm。參見圖3所示,顯然,在邊緣波長l1和l3具有相同的焦距值,是消色差的。參見圖4所示,為傳統(tǒng)折衍射元件在不同波長沿光軸光強分布圖,可見在中心波長l2和邊緣波長l1和l3之間仍然存在著1.64mm的焦距差,即傳統(tǒng)折衍射元件不能在400nm到700nm波長范圍內(nèi)(即帶寬300nm)達(dá)到有效消色差的目的。傳統(tǒng)折衍射元件的焦深為,對應(yīng)波長622.8nm和642.8nm,即該傳統(tǒng)折衍射元件的有效工作帶寬約為20nm。

參見圖5所示,其給出了傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件的點擴(kuò)散函數(shù)(PSF)圖。如圖5(a)所示,傳統(tǒng)折衍射元件在波長范圍622.8nm到642.8nm范圍內(nèi)(帶寬20nm)PSF接近衍射極限。但當(dāng)帶寬超出20nm時,PSF變得彌散,尤其是在邊緣波長400nm和700nm的時候。如圖5(b)所示,本實施例中的位相編碼折衍射元件在波長400nm到700nm范圍內(nèi),位相編碼折衍射元件的PSF具有很好的一致性。

參見圖6所示,為傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件在不同波長下的MTF曲線示意圖,可以清晰地看到,當(dāng)傳統(tǒng)折衍射元件的波長偏離于中心波長632.8nm時,MTF急劇下降且有零點出現(xiàn),信息丟失。然而,位相編碼折衍射元件的MTF在波長范圍400nm到700nm范圍內(nèi)都具有很好的一致性。表明位相編碼折衍射元件在超寬帶范圍內(nèi)消色差的可行性。

圖7給出了傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件在波長范圍400nm到700nm的仿真成像情況對比圖。當(dāng)傳統(tǒng)折衍射元件的入射波長偏離于中心波長632.8nm時,成像變得模糊,如圖7中(a)所示。圖7中(b)、(c)分別給出了位相編碼折衍射元件的中間模糊圖像和對應(yīng)的復(fù)原圖像??梢钥吹?,本實施例中的位相編碼折衍射元件可以在整個可見光波段400nm到700nm清晰成像,具有和傳統(tǒng)折衍射元件在中心波長632.8nm幾乎相同的分辨率。值得注意的是,在權(quán)衡有效工作帶寬,圖像分辨率和圖像信噪比的過程中,位相編碼參數(shù)a可以進(jìn)一步優(yōu)化,從而得到更合適的帶寬拓展范圍。

參見圖8所示,為傳統(tǒng)折衍射元件和位相編碼折衍射元件的不同帶寬下的PSF和成像對比圖。首先評價加工的傳統(tǒng)折衍射元件在帶寬28nm和帶寬300nm(400nm到700nm)的成像性能。圖8中(a)、(b)給出了傳統(tǒng)折衍射元件在28nm帶寬下的PSF和成像圖,成像結(jié)果可以接受(本實施例中設(shè)計的傳統(tǒng)折衍射元件的有效工作帶寬為20nm)。圖8中(c)、(d)給出了傳統(tǒng)折衍射元件在300nm帶寬下的PSF和成像圖,由于在大的帶寬下存在二級光譜,所以最終成像模糊。作為對比,圖8中(e)、(f)和(g)給出了位相編碼折衍射元件在寬帶300nm(400nm到700nm)照明下的PSF和成像結(jié)果圖。從圖中可以清晰地看出位相編碼折衍射元件(a=10p)在300nm帶寬可以清晰成像,相同尺寸和焦距下有效工作光譜范圍約為傳統(tǒng)折衍射元件(20nm)的15倍左右。

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