本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域，具體涉及一種光刻投影物鏡中可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)以及可變光闌機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

光刻投影技術(shù)是大規(guī)模集成電路制造技術(shù)和微光學(xué)、微機(jī)械技術(shù)的先導(dǎo)和基礎(chǔ)，決定了集成電路的集成度。集成電路芯片的不同深度刻蝕不同的圖樣，以滿足高集成度的需要，要求物鏡系統(tǒng)具有可調(diào)節(jié)數(shù)值孔徑大小的功能。改變數(shù)值孔徑大小往往通過可變光闌機(jī)構(gòu)得以實(shí)現(xiàn)?？勺児怅@一般采用電機(jī)帶動齒輪傳遞旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，由于光闌機(jī)構(gòu)較大，電機(jī)較小，其齒輪傳動的減速比往往較大，次級齒輪和光闌機(jī)構(gòu)的質(zhì)量和轉(zhuǎn)動慣量對于主動齒輪和電機(jī)來說是較大的負(fù)載，在物鏡運(yùn)輸和搬運(yùn)過程中，光闌機(jī)構(gòu)的慣性運(yùn)動有可能導(dǎo)致電機(jī)受到較大沖擊并受迫轉(zhuǎn)動，導(dǎo)致電機(jī)損壞；光闌機(jī)構(gòu)的慣性運(yùn)動也有可能使其內(nèi)部機(jī)構(gòu)發(fā)生損壞、脫落，劃傷物鏡鏡片表面，存在極大的危險，將直接導(dǎo)致投影物鏡數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)精度劣化甚至光闌機(jī)構(gòu)和物鏡自身存在極大的破壞危險。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一方面，本發(fā)明提供了一種可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)。所述可變光闌機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動件和齒輪，所述限位結(jié)構(gòu)包括支架面板，限位器以及密封堵頭；所述驅(qū)動件設(shè)置在所述支架面板上；所述齒輪設(shè)置在所述驅(qū)動件上，并可被所述驅(qū)動件驅(qū)動；所述限位器設(shè)置在所述支架面板上，且可與所述齒輪配合并限制所述齒輪轉(zhuǎn)動；所述密封堵頭可設(shè)置在所述支架面板上，且所述密封堵頭在所述限位器未安裝時，設(shè)置在所述限位器的安裝位置上。

在一些實(shí)施例中，所述驅(qū)動件為電機(jī)。

在一些實(shí)施例中，所述限位器包括：限位桿和設(shè)置在所述限位桿上的限位連接螺紋；所述限位桿在所述限位器安裝在所述支架面板上時與所述齒輪配合，限制所述齒輪轉(zhuǎn)動；所述限位連接螺紋與所述支架面板配合，使所述限位桿可固定設(shè)置在所述支架面板上。

在一些實(shí)施例中，所述限位器還包括：方形槽，所述方形槽設(shè)置在所述限位桿的一端端面上。

在一些實(shí)施例中，所述密封堵頭上設(shè)置有螺紋。

在一些實(shí)施例中，所述密封堵頭的一端的端面上設(shè)置有方形槽。

在一些實(shí)施例中，所述支架面板上設(shè)置有與所述限位桿連接螺紋配合的限位器螺紋孔。

在一些實(shí)施例中，所述齒輪包括輪齒主體，所述輪齒主體的相鄰齒面用于與限位器的限位桿配合。

在一些實(shí)施例中，所述限位器與所述支架面板之間設(shè)置有密封膠。

另一方面，本發(fā)明提供了一種可變光闌機(jī)構(gòu)。所述可變光闌機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動件和齒輪以及如前所述的限位結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的技術(shù)效果：本發(fā)明提供的可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)能避免光刻投影物鏡在運(yùn)輸和搬運(yùn)過程中由于沖擊和慣性運(yùn)動導(dǎo)致電機(jī)和可變光闌機(jī)構(gòu)損壞的問題，進(jìn)而降低光刻投影物鏡的數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)精度劣化甚至物鏡自身損壞的危險。

附圖說明

圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的可變光闌機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的局部剖開示意圖；

圖3為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的可變光闌機(jī)構(gòu)的全剖示意圖；

圖4為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)中的支架面板的正視全剖示意圖；

圖5為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)中的限位器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)中的密封堵頭的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，而不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。

參考圖1-圖6所示，是本發(fā)明提供的一種可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)。所述可變光闌機(jī)構(gòu)100包括驅(qū)動件1和齒輪3，所述限位結(jié)構(gòu)包括支架面板2，限位器4以及密封堵頭5；所述驅(qū)動件1設(shè)置在所述支架面板2上；所述齒輪3設(shè)置在所述驅(qū)動件1上，并可被所述驅(qū)動件1驅(qū)動；所述限位器4設(shè)置在所述支架面板2上，且可與所述齒輪3配合并限制所述齒輪3轉(zhuǎn)動；所述密封堵頭5可設(shè)置在所述支架面板2上，且所述密封堵頭5在所述限位器4未安裝時，設(shè)置在所述限位器4的安裝位置上。

在一些實(shí)施例中，所述驅(qū)動件1為電機(jī)。

在一些實(shí)施例中，所述限位器4包括：限位桿4-1和設(shè)置在所述限位桿4-1上的限位連接螺紋4-2；所述限位桿4-1在所述限位器4安裝在所述支架面板2上時與所述齒輪3配合，限制所述齒輪3轉(zhuǎn)動；所述限位連接螺紋4-2與所述支架面板2配合，使所述限位桿4-1可固定設(shè)置在所述支架面板2上。

在一些實(shí)施例中，所述限位器4還包括：方形槽4-3，所述方形槽4-3設(shè)置在所述限位桿4-1的一端端面上。

在一些實(shí)施例中，所述密封堵頭5上設(shè)置有螺紋5-1。

在一些實(shí)施例中，所述密封堵頭5的一端的端面上設(shè)置有方形槽5-2。

在一些實(shí)施例中，所述支架面板2上設(shè)置有與所述限位桿連接螺紋4-2配合的限位器螺紋孔2-4。

在一些實(shí)施例中，所述齒輪3包括輪齒主體3-1，所述輪齒主體3-1的相鄰齒面用于與限位器4的限位桿4-1配合。

在一些實(shí)施例中，所述限位器4與所述支架面板2之間設(shè)置有密封膠。

另一方面，本發(fā)明提供了一種可變光闌機(jī)構(gòu)100。所述可變光闌機(jī)構(gòu)100包括驅(qū)動件1和齒輪3以及如前所述的限位結(jié)構(gòu)。

下面結(jié)合附圖1-6以及具體的實(shí)施例對本發(fā)明實(shí)施例提供的可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)以及可變光闌機(jī)構(gòu)100進(jìn)行詳細(xì)說明。

如圖1、圖2、圖3和圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的用于光刻投影物鏡中可變光闌機(jī)構(gòu)100包括：1個電機(jī)1、1個支架面板2、1個齒輪3、1個限位器4和1個密封堵頭5。所述支架面板2上設(shè)置有4個面板安裝通孔2-1、2個面板工裝螺釘孔2-2、1個限位器安裝孔2-3、1個限位器螺紋孔2-4和1個電機(jī)安裝孔2-5。面板安裝通孔2-1用于將支架面板2通過螺釘安裝到光闌機(jī)構(gòu)100上；面板工裝螺釘孔2-2用于安裝支架面板2的取放工裝；限位器安裝孔2-3用于容納限位器4；限位器螺紋孔2-4用于與限位器4的限位連接螺紋4-2配合，固定限位器4的軸向位置；所述齒輪3包括輪齒主體3-1和鎖緊螺釘孔3-2；輪齒主體3-1的相鄰齒面用于與限位器4的限位桿4-1配合，實(shí)現(xiàn)齒輪3限位；鎖緊螺釘孔3-2用于將齒輪3與電機(jī)1的軸鎖緊，提供有效連接。

如圖5和圖6所示，限位器4包括限位桿4-1、限位連接螺紋4-2和方形槽4-3；限位桿4-1用于與齒輪3的輪齒主體3-1的相鄰齒面配合，實(shí)現(xiàn)齒輪3限位；限位連接螺紋4-2用于與支架面板2的限位器螺紋孔2-4配合，可在螺紋配合面上涂抹螺紋密封膠，在運(yùn)輸過程中實(shí)現(xiàn)該處密封；方形槽4-3用于螺釘起子旋入或旋出限位器4。密封堵頭5包括螺紋5-1和方形槽5-2；在物鏡運(yùn)輸前和運(yùn)輸完成后，需要拆卸限位器4，使光闌機(jī)構(gòu)正常運(yùn)轉(zhuǎn)。密封堵頭5的螺紋5-1用于在拆卸限位器4后，與支架面板2的限位器螺紋孔2-4配合，涂抹螺紋密封膠實(shí)現(xiàn)密封；方形槽5-2用于螺釘起子旋入或旋出密封堵頭5。

所述可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)以及可變光闌機(jī)構(gòu)100的裝配及工作過程如下：將電機(jī)1安裝到支架面板2的電機(jī)安裝孔2-5中，使用螺釘將電機(jī)1固定在支架面板2上；將齒輪3安裝到電機(jī)1的電機(jī)軸上，在齒輪3的鎖緊螺釘孔3-2處擰入緊定螺釘，使齒輪3固定到電機(jī)1的電機(jī)軸上；將支架面板2安裝到光闌機(jī)構(gòu)上，在支架面板2的面板安裝通孔2-1處使用螺釘將支架面板2固定到光闌機(jī)構(gòu)上；在密封堵頭5的螺紋5-1處涂抹螺紋密封膠，將密封堵頭5安裝到支架面板2的限位器螺紋孔2-4中，實(shí)現(xiàn)該處密封。在搬運(yùn)和運(yùn)輸之前，使用螺釘起子作用在密封堵頭5的方形槽5-2處，旋出密封堵頭5；在限位器4的限位連接螺紋4-2處涂抹螺紋密封膠，將限位器4的限位連接螺紋4-2旋入支架面板2的限位器螺紋孔2-4中，保證限位器4的限位桿4-1插入齒輪3的輪齒主體3-1的相鄰兩齒之間，使用螺釘起子作用在限位器4的方形槽4-3處，旋入限位器4，使其限位連接螺紋4-2完全旋入支架面板2的限位器螺紋孔2-4內(nèi)。

當(dāng)不需要限位結(jié)構(gòu)時，使用螺釘起子作用在限位器4的方形槽4-3處，旋出并拆除限位器4；在密封堵頭5的螺紋5-1處涂抹螺紋密封膠，使用螺釘起子作用在密封堵頭5的方形槽5-2處，將密封堵頭5的螺紋5-1完全旋入支架面板2的限位器螺紋孔2-4內(nèi)，即可恢復(fù)可變光闌機(jī)構(gòu)的運(yùn)動和密封。

本發(fā)明提出的一種用于光刻投影物鏡中可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)，可以避免光刻投影物鏡在運(yùn)輸和搬運(yùn)過程中由于沖擊或震動導(dǎo)致電機(jī)和可變光闌機(jī)構(gòu)損壞的問題，進(jìn)而降低光刻投影物鏡成像質(zhì)量劣化甚至物鏡自身損壞的危險。該結(jié)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡單、便于操作、可靠性高和通用性好等突出優(yōu)點(diǎn)，可以很好的適用于各種類型可動機(jī)構(gòu)的電機(jī)齒輪安裝位置，實(shí)現(xiàn)可靠限位，進(jìn)而降低光刻投影物鏡的數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)精度劣化甚至物鏡自身損壞的危險。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不必須針對的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任一個或多個實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)合和組合。

盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。

以上所述本發(fā)明的具體實(shí)施方式，并不構(gòu)成對本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。任何根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思所作出的各種其他相應(yīng)的改變與變形，均應(yīng)包含在本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。