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一種可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)以及可變光闌機(jī)構(gòu)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12457938

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本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域,具體涉及一種光刻投影物鏡中可變光闌機(jī)構(gòu)的限位結(jié)構(gòu)以及可變光闌機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)光刻投影技術(shù)是大規(guī)模集成電路制造技術(shù)和微光學(xué)、微機(jī)械技術(shù)的先導(dǎo)和基礎(chǔ),決定了集成電路的集成度。集成電路芯片的不同深度刻蝕不同的圖樣,以滿足高集成度的需要,要求物鏡系統(tǒng)具有可調(diào)節(jié)數(shù)值孔徑大小的功能。改變數(shù)值孔徑大小往往通過(guò)可變光闌機(jī)構(gòu)得以實(shí)現(xiàn)??勺児怅@一般采用電機(jī)帶動(dòng)齒輪傳遞旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),由于光闌機(jī)構(gòu)較大,電機(jī)較小,其齒輪傳動(dòng)的減速比往往較大,次級(jí)齒輪和光闌機(jī)構(gòu)的質(zhì)量和轉(zhuǎn)動(dòng)慣量對(duì)于主動(dòng)齒輪和電機(jī)來(lái)說(shuō)是較大的負(fù)...
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