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一種窄帶帶阻濾波器的制作方法

文檔序號(hào):12467686閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種窄帶帶阻濾波器,屬于微納光學(xué)器件技術(shù)領(lǐng)域。該窄帶帶阻濾波器包括有二氧化硅基底,所述二氧化硅基底上鍍有氧化鋁膜層,該氧化鋁膜層刻蝕成單層復(fù)合光柵。本發(fā)明的窄帶帶阻濾波器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,通過(guò)將單層復(fù)合光柵置于基底上的方式,可獲得反射式窄帶濾波器,且其電場(chǎng)分布主要在光柵槽內(nèi),有利于折射率傳感方面的應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員:廖艷林;趙艷;諶正艮
受保護(hù)的技術(shù)使用者:安徽大學(xué)
文檔號(hào)碼:201610838172
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.21
技術(shù)公布日:2016.12.21

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