技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種具有定向的集光器反射鏡的極紫外(EUV)輻射源以減少由燃料液滴碎片產(chǎn)生的污染。在一些實施例中，EUV輻射源具有向EUV源容器提供多個燃料液滴的燃料液滴發(fā)生器。主激光器配置為產(chǎn)生指向多個燃料液滴的主激光束。主激光束具有足夠的能量以點燃來自多個燃料液滴的等離子體，等離子體發(fā)射出極紫外輻射。使配置為將極紫外輻射聚焦至EUV源容器的出口孔的集光器反射鏡定向，以使從集光器反射鏡的頂點向外延伸的法向量以小于90°的角度與重力的方向相交。本發(fā)明實施例涉及一種極紫外輻射源、一種極紫外輻射源以及一種產(chǎn)生極紫外輻射的方法。

技術(shù)研發(fā)人員：蘇健元;郭宏銘;趙國宏;彭瑞君
受保護的技術(shù)使用者：臺灣積體電路制造股份有限公司
文檔號碼：201610820520
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.13
技術(shù)公布日：2017.06.27