本發(fā)明的實施方式涉及一種液晶面板(panel)的制造裝置以及液晶面板的制造方法。

背景技術(shù)：

在液晶面板的制造中，已知有進行如下的光取向的方式，即，對具備帶光反應(yīng)性的高分子體的被處理面板，使用紫外線燈(lamp)等光源來照射規(guī)定波長的光，從而使高分子體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而使其具備取向功能。作為液晶面板中所用的液晶材料，已知的是，作為光學(xué)各向同性液晶層的聚合物穩(wěn)定藍相(Polymer Stabilized Blue Phase，PSBP)在施加有電壓時，與被稱作向列相(nematic phase)的液晶材料相比，能夠?qū)崿F(xiàn)更高速的響應(yīng)性。此種聚合物穩(wěn)定藍相是通過在對具有液晶層的被處理面板照射紫外線時，適當(dāng)控制被處理面板的溫度與紫外線的照射時間而生成。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2007-277531號公報

[專利文獻2]日本專利特開2008-303381號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

[發(fā)明所要解決的問題]

且說，在要呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相的情況下，一邊將被處理面板保持為規(guī)定的溫度，一邊以規(guī)定的照射時間來照射紫外線，由此，不生成各向同性液體及手性向列相(chiral nematic phase)，而生成聚合物穩(wěn)定藍相。

并且，在具有聚合物穩(wěn)定藍相的液晶面板的制造工序中，將紫外線照射至被處理面板的照射工序中所產(chǎn)生的、被處理面板的照射面的面內(nèi)方向上的溫度不均或被處理面板的溫度的經(jīng)時變化對液晶面板的顯示特性造成不均的影響大，因此理想的是使溫度均勻化。但是，要使液晶面板的溫度均勻化，則裝置結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化及零件數(shù)量的增大無可避免。

另一方面，在照射工序中，為了提高具有聚合物穩(wěn)定藍相的液晶面板的生產(chǎn)性，理想的是抑制相對于被處理面板的紫外線照射效率的惡化。

本發(fā)明的目的在于提供一種液晶面板的制造裝置以及液晶面板的制造方法，對于被處理面板，既可抑制裝置結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化及零件數(shù)量的增大，又可抑制紫外線照射效率的惡化。

[解決問題的技術(shù)手段]

本實施方式的液晶面板的制造裝置是為了呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相而對被處理面板照射紫外線的液晶面板的制造裝置，其包括第1照射部以及第2照射部。第1照射部以第1時間來對被處理面板照射紫外線。第2照射部于在第1照射部中對被處理面板照射紫外線的過程中，以比第1時間長的第2時間，來對經(jīng)第1照射部照射了紫外線的被處理面板照射紫外線。

本實施方式的液晶面板的制造裝置是為了呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相而對被處理面板照射紫外線的液晶面板的制造裝置，其包括：第1照射部，具有載置被處理面板并控制所述被處理面板的溫度的載臺，并對被處理面板照射紫外線；以及第2照射部，對經(jīng)所述第1照射部照射了紫外線的所述被處理面板照射紫外線。

本實施方式的液晶面板的制造方法是為了呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相而對被處理面板照射紫外線的液晶面板的制造方法，其包括：第1照射工序，以第1時間來對被處理面板照射紫外線；以及第2照射工序，以比所述第1時間長的第2時間，來對經(jīng)所述第1照射工序處理的所述被處理面板照射紫外線。

本實施方式的液晶面板的制造方法是為了呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相而對被處理面板照射紫外線的液晶面板的制造方法，其包括：第1照射工序，一邊通過載臺來控制所述被處理面板的溫度，一邊對載置于所述載臺的所述被處理面板照射紫外線；以及第2照射工序，對經(jīng)所述第1照射工序處理的所述被處理面板照射紫外線。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制相對于被處理面板的紫外線照射效率的惡化。

附圖說明

圖1是示意性地表示實施方式的液晶面板的制造裝置的框圖。

圖2是表示實施方式的第1照射裝置的概略剖面圖。

圖3是示意性地表示使用實施方式的液晶面板的制造裝置來照射紫外線的液晶面板的剖面圖。

圖4是表示實施方式的第2照射裝置的立體圖。

圖5是表示實施方式的第2照射裝置的立體圖。

圖6是表示實施方式的液晶面板的制造處理的流程圖。

圖7是表示實施方式的液晶面板的制造裝置中的處理的時間圖。

圖8是表示第1照射裝置的其他結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。

附圖標(biāo)記說明：

1：液晶面板的制造裝置

6：被處理面板

7：彩色濾光片基板

8：相向基板

9：液晶層

10、10A、210：照射部

11：支撐基體

11A：紫外線燈

12：基板

12A：反射板

13：發(fā)光元件

14：水冷裝置

15、33：配管

16、43、220：擋閘

20：照射箱

21：窗材

30：載臺

31：載置面

32：介質(zhì)保溫循環(huán)裝置(液體保溫循環(huán)裝置)

40：腔室

44：搬出/搬入口

50：循環(huán)型空調(diào)裝置

51：導(dǎo)入口

52：排出口

53：送風(fēng)管

60：控制部

100、100A：第1照射裝置(第1照射部)

200、200-1～200-4：第2照射裝置(第2照射部)

201、201A、201B、201C：匣盒

211：紫外線燈

230：載置面

240a、240b：導(dǎo)管

A～E：匣盒

A～G：面板

CT1：時間

RH10：機械臂

S101～S103：步驟

S11～S13：工序

t、t1～t7：時刻

TM1：第1時間

TM2：第2時間

具體實施方式

以下說明的實施方式的液晶面板的制造裝置1是為了呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相而對被處理面板照射紫外線的液晶面板的制造裝置，其包括第1照射部(實施方式中為“第1照射裝置100”，以下相同)與第2照射部(實施方式中為“第2照射裝置200”，以下相同)。第1照射部以第1時間TM1來對被處理面板6照射紫外線。第2照射部于在第1照射部中對被處理面板6照射紫外線的過程中，以比第1時間TM1長的第2時間TM2，來對經(jīng)第1照射部照射了紫外線的被處理面板6照射紫外線。

而且，以下說明的實施方式的液晶面板的制造裝置1中，第1照射部具有載置被處理面板6并控制被處理面板6的溫度的載臺30，并對被處理面板6照射紫外線。第2照射部對經(jīng)第1照射部照射了紫外線的被處理面板6照射紫外線。

而且，以下說明的實施方式的液晶面板的制造裝置1中的被處理面板6中所含的液晶層9包含向列液晶組合物、呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相的液晶組合物與聚合性單體。液晶層9通過照射紫外線來呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相。

而且，以下說明的實施方式的使用液晶面板制造裝置1的液晶面板的制造方法是為了呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相而對被處理面板6照射紫外線的液晶面板的制造方法，包括第1照射工序與第2照射工序。第1照射工序是以第1時間來對被處理面板6照射紫外線。第2照射工序是以比第1時間長的第2時間，對經(jīng)第1照射工序處理的被處理面板6照射紫外線。

而且，以下說明的實施方式的使用液晶面板制造裝置1的液晶面板的制造方法是為了呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相而對被處理面板6照射紫外線的液晶面板的制造方法，包括第1照射工序與第2照射工序。第1照射工序是一邊通過載臺30來控制被處理面板6的溫度，一邊對由載臺30所載置的被處理面板6照射紫外線。第2照射工序?qū)?jīng)第1照射工序處理的被處理面板6照射紫外線。

而且，以下說明的實施方式的使用液晶面板制造裝置1的液晶面板的制造方法中，被處理面板中所含的液晶層9包含向列液晶組合物、呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相的液晶組合物與聚合性單體，通過照射紫外線來呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相。

[實施方式]

以下，參照附圖來說明實施方式的液晶面板的制造裝置。圖1是示意性地表示實施方式的液晶面板的制造裝置的框圖。

如圖1所示，實施方式的液晶面板的制造裝置1包括作為第1照射部的第1照射裝置100以及作為第2照射部的第2照射裝置200。另外，圖1所示的例子中，液晶面板的制造裝置1包括四個第2照射裝置200-1～200-4來作為第2照射部。另外，在不區(qū)分第2照射裝置200-1～200-4的情況下，有時稱作第2照射裝置200。而且，圖1的結(jié)構(gòu)只是一例，液晶面板的制造裝置1并不限于四個第2照射裝置200，也可包括多個第2照射裝置200或一個第2照射裝置200。例如，液晶面板的制造裝置1包括與各第2照射裝置200的匣盒(cassette)201(參照圖4)的數(shù)量相應(yīng)的數(shù)量的第2照射裝置200，但詳細情況后述。

圖2是表示實施方式的第1照射裝置的概略剖面圖。而且，圖3是示意性地表示使用實施方式的制造裝置來照射紫外線的液晶面板(被處理面板)的剖面圖。

如圖2所示，第1照射裝置100具備照射紫外線的照射部10、照射箱(box)20、載臺30、腔室(chamber)40、循環(huán)型空調(diào)裝置50及控制部60。

照射部10將紫外線照射至照射箱20內(nèi)。在照射箱20內(nèi)，設(shè)有使從照射部10照射的紫外線透射的窗材21。照射部10構(gòu)成為，對于載置在與窗材21相向的載臺30的載置面31上的被處理面板6，可穿過窗材21來照射紫外線。

而且，照射部10具有支撐基體11、基板12、發(fā)光元件13及水冷裝置14。

支撐基體11形成為長方體狀，長條狀的基板12沿著規(guī)定的方向(圖2中為前后方向)而等間隔地配置有多個。對于支撐基體11，例如使用鋁合金等。而且，在支撐基體11中，雖未圖示，但設(shè)有通過水冷裝置14來使制冷劑循環(huán)的流路。水冷裝置14例如具有連結(jié)于流路的配管15、用于將制冷劑保持為固定溫度的加熱器(heater)及冷卻裝置、及將配管15內(nèi)的制冷劑送出的泵(pump)等而構(gòu)成。通過水冷裝置14，支撐基體11能夠?qū)碜园l(fā)光元件13或基板12的熱有效地散發(fā)。

基板12例如由陶瓷(ceramics)形成長條狀的基材，且在基材上設(shè)有例如由銀等形成為所需的圖案(pattern)狀的未圖示的印刷配線。在基板12上，與印刷配線電性連接地設(shè)有多個發(fā)光元件13。

而且，雖未圖示，但基板12中，對于除了連接有發(fā)光元件13的連接端子和從電源裝置經(jīng)電力供給的電源端子以外的區(qū)域，為了確保絕緣性并防止腐蝕，而由包覆膜所覆蓋。包覆膜例如是由以玻璃材等為主成分的無機材料所形成。另外，基板12也可根據(jù)需要而由具有相對較高的反射率的白色的氧化鋁所形成，以提高對發(fā)光元件13發(fā)出的光進行反射的反射性。而且，基板12也可由具有相對較高的導(dǎo)熱性的氮化鋁所形成，以確保導(dǎo)熱性高。

對于發(fā)光元件13，使用發(fā)出紫外線的發(fā)光二極管(Light Emitting Diode，LED)或半導(dǎo)體激光二極管(Laser Diode，LD)。發(fā)光元件13例如以波長300nm～400nm左右為主波長，且峰值(peak)波長為365nm的紫外線的照度為15mW/cm²以下。另外，所謂“紫外線的照度”，是指使用UV-M02(奧克(ORC)制作所股份有限公司制造)來作為照度計，使用UV-SN35(奧克(ORC)制作所股份有限公司制造)來作為光接收器的測定值。

而且，實施方式中所說的“紫外線”，是指波長450nm以下的波長的光，具體而言是LED光源發(fā)出的波長365nm的光，但也允許其他波長的光。而且，發(fā)光元件13并不限定于放射波長450nm以下的光的LED或LD，例如也可為不僅放射波長450nm以下的光、而且放射比波長450nm長的波長側(cè)的光的LED或LD?？傊?，只要是放射波長450nm以下的光的LED或LD，則其發(fā)光方式不受限定。

第1照射裝置100以第1時間TM1來對被處理面板6照射紫外線。例如，第1照射裝置100從照射部10放射波長365nm的紫外線，其照度設(shè)定值為2mW/cm²(以下有時稱作“第1照度”)。而且，例如，第1照射裝置100對被處理面板6照射紫外線的第1時間TM1是用于使被處理面板6的聚合物穩(wěn)定藍相的生成比率為70％～80％左右的時間。具體而言，第1時間TM1也可為30秒鐘。

而且，第1照射裝置100在滿足與溫度相關(guān)的規(guī)定條件(以下稱作“第1條件”)的狀態(tài)下，對被處理面板6照射紫外線。另外，本實施方式中，第1條件是將滿足下述狀態(tài)作為條件，即，在對被處理面板6照射紫外線的期間，被處理面板6的溫度被保持在作為基準(zhǔn)的溫度(例如310K(36.85℃))±0.5℃以內(nèi)。以下，將第1條件中所含的溫度范圍稱作“第1溫度范圍”。例如，第1條件是將滿足下述狀態(tài)作為條件，即，第1時間TM1內(nèi)的被處理面板6的溫度被保持在作為基準(zhǔn)的溫度至第1溫度范圍即±0.5℃以內(nèi)。即，第1照射裝置100中的第1條件是溫度管理比后述的第2條件嚴(yán)格的條件。以下，將第1照射裝置100以第1時間TM1來對被處理面板6照射紫外線的工序稱作“第1照射工序”。

另外，此處所說的被處理面板6的溫度，理想的是被處理面板6的表面溫度。但是，實際上，在對被處理面板6照射紫外線的條件下，有時也難以測定被處理面板6的溫度。因此，例如在被處理面板6的表面溫度與載臺30的表面溫度大致相同的情況下，也可將載臺30的表面溫度作為被處理面板6的溫度。而且，例如在載臺30的表面溫度與被處理面板6的表面溫度不同的情況下，也可預(yù)先算出載臺30與被處理面板6的溫度的關(guān)系，利用根據(jù)載臺30的溫度來推定被處理面板6的溫度的方法，來算出被處理面板6的表面溫度。

第1照射裝置100是通過一邊保持為滿足第1條件的溫度，一邊對被處理面板6照射紫外線的第1照射工序，來使液晶面板的液晶層9呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相。使用第1照射裝置100來照射紫外線的被處理面板6具有：作為第1基板的彩色濾光片(color filter)基板7、與彩色濾光片基板7相向的作為第2基板的相向基板8、以及設(shè)置在彩色濾光片基板7與相向基板8之間的液晶層9。

彩色濾光片基板7例如是將使紅色、綠色、藍色的光透射的彩色濾光片(未圖示)配置于基板上，并用保護膜來覆蓋彩色濾光片而形成。相向基板8是呈陣列狀地配置有多個電極的基板。液晶層9至少包含向列液晶組合物、呈現(xiàn)藍相的液晶組合物、及聚合性單體。液晶層9通過由第1照射裝置100來照射紫外線而呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相。

構(gòu)成液晶層9的向列液晶組合物是由具有介電各向異性的材料所形成。

所謂呈現(xiàn)藍相的液晶組合物，是指如下所述的材料，即，通過一邊將能夠穩(wěn)定存在的溫度范圍擴大至例如室溫、具體而言為0℃以上，一邊照射紫外線，從而能夠?qū)崿F(xiàn)比向列液晶組合物高速的響應(yīng)性的材料。所謂呈現(xiàn)藍相的液晶組合物，例如是指如下所述的材料，即，相對于10℃～70℃之間的規(guī)定的設(shè)定溫度，在被處理面板6的溫度保持在±0.5℃以內(nèi)的狀態(tài)下照射紫外線，由此無不均地呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相。例如，在設(shè)定溫度為55℃的情況下，所謂呈現(xiàn)藍相的液晶組合物，是指如下所述的材料，即，在溫度保持在54.5℃～55.5℃的范圍內(nèi)的狀態(tài)下照射紫外線，由此無不均地呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相。而且，在設(shè)定溫度為60℃的情況下，所謂呈現(xiàn)藍相的液晶組合物，是指如下所述的材料，即，在溫度保持在59.5℃～60.5℃的范圍內(nèi)的狀態(tài)下照射紫外線，由此無不均地呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相。

所謂聚合性單體，是指用于使向列液晶組合物或呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相的液晶組合物的組合穩(wěn)定化的材料。

照射箱20是形成為箱狀，以將載置于載臺30的載置面31上的被處理面板6收容至內(nèi)部的方式而配置于載臺30上。

窗材21具有對規(guī)定波長的紫外線的透射進行限制的功能。窗材21使適合于用于使液晶層9呈現(xiàn)聚合物穩(wěn)定藍相的波長的紫外線透射，而對其他波長的紫外線、可見光線或紅外線等不需要的光線的透射進行限制。

載臺30具有載置被處理面板6的載置面31，且控制載置于載置面31上的被處理面板6的溫度滿足第1條件。載臺30為了對載置面31上的被照射紫外線的區(qū)域(area)進行溫度控制，在內(nèi)部使水等作為固定溫度的介質(zhì)而流動。在載臺30上，以與窗材21相向的方式設(shè)有載置面31，載置面31與照射部10相向。另外，理想的是，對載置于載置面31上的被處理面板6進行保溫的溫度為盡可能固定，若載置于載置面31的被處理面板6的溫度被保持為固定，則在載臺30內(nèi)循環(huán)的介質(zhì)的溫度也可為比載置于載置面31的被處理面板6的溫度稍低的溫度或稍高的溫度。另外，作為介質(zhì)，并不限定于水等液體，也可使包含各種氣體的流體循環(huán)。

在載臺30上，以彩色濾光片基板7側(cè)與載置面31接觸的方式來載置被處理面板6。因此，照射部10從相向基板8側(cè)對被處理面板6照射紫外線。另外，對被處理面板6照射紫外線的方向并無限定，也可根據(jù)需要而從彩色濾光片基板7側(cè)照射紫外線。

載臺30例如是由鋁合金等形成為平板狀，在內(nèi)部設(shè)有使用于將被處理面板6調(diào)節(jié)為規(guī)定溫度的介質(zhì)循環(huán)的循環(huán)路徑(未圖示)。在載臺30的循環(huán)路徑上，連接有使介質(zhì)在循環(huán)路徑內(nèi)循環(huán)的介質(zhì)保溫循環(huán)裝置32，通過介質(zhì)保溫循環(huán)裝置32，經(jīng)由載臺30來將被處理面板6的溫度保持為固定。介質(zhì)保溫循環(huán)裝置32例如具有連結(jié)于循環(huán)路徑的配管33(參照圖2)、用于將介質(zhì)保持為固定溫度的加熱器及冷卻裝置、及將配管33內(nèi)的介質(zhì)送出的泵等而構(gòu)成。如此，通過控制載臺30的溫度，從而載臺30將照射箱20內(nèi)的被處理面板6的溫度保持為固定溫度。

腔室40形成為覆蓋照射箱20與載臺30整體的箱狀，在上部配置有照射部10。

而且，在腔室40中，設(shè)有用于使被處理面板6相對于腔室40內(nèi)的照射箱20而進出的搬出/搬入口44。在搬出/搬入口44處，可開閉地設(shè)有擋閘(shutter)43。搬出/搬入口44在使被處理面板6相對于腔室40的照射箱20而進出時，擋閘43打開，在照射箱20中收容有被處理面板6時，擋閘43關(guān)閉。而且，被處理面板6是通過搬出/搬入口44而使用機械臂(robot arm)RH10(參照圖4)，來相對于腔室40進出。

循環(huán)型空調(diào)裝置50如圖2所示，設(shè)在腔室40的側(cè)壁，具有向腔室40內(nèi)導(dǎo)入調(diào)溫用氣體的導(dǎo)入口51、以及從腔室40內(nèi)導(dǎo)出調(diào)溫用氣體的排出口52。導(dǎo)入口51及排出口52是在腔室40的側(cè)壁上開設(shè)，且配置于照射箱20的上方。循環(huán)型空調(diào)裝置50經(jīng)由導(dǎo)入口51及排出口52來使調(diào)溫用氣體相對于腔室40的內(nèi)部而循環(huán)，由此，將腔室40內(nèi)控制為規(guī)定溫度。通過如此般控制腔室40內(nèi)的溫度，從而循環(huán)型空調(diào)裝置50將照射箱20內(nèi)的被處理面板6的溫度保持為固定溫度。尤其，循環(huán)型空調(diào)裝置50在被處理面板6的表面溫度比設(shè)置有液晶面板的制造裝置1的環(huán)境的溫度高時，將照射箱20內(nèi)的被處理面板6的溫度保持為固定的溫度。

而且，循環(huán)型空調(diào)裝置50具有分別連結(jié)于導(dǎo)入口51及排出口52的送風(fēng)管53、用于將氣體保持為固定溫度的加熱器及冷卻裝置、以及將送風(fēng)管53內(nèi)的氣體送出的送風(fēng)機等，依照導(dǎo)入口51、腔室40內(nèi)、排出口52的順序來使氣體循環(huán)。

另外，理想的是，依照導(dǎo)入口51、腔室40內(nèi)、排出口52的順序循環(huán)的氣體的溫度與對載置于載置面31的被處理面板6進行保持的溫度盡可能相等。而且，若載置于載置面31的被處理面板6保持為固定溫度，則循環(huán)氣體的溫度也可為比載置于載置面31的被處理面板6的溫度稍低的溫度或稍高的溫度。另外，氣體的溫度終究只是作為目標(biāo)的溫度，有時也不同于實際溫度。

而且，例如在排出口52的附近等，設(shè)置有溫度傳感器(sensor)(未圖示)，該溫度傳感器對沿著載臺30內(nèi)部所設(shè)的循環(huán)路徑流動的液體、在支撐基體11中所設(shè)的流路中循環(huán)的液體、及在腔室40內(nèi)循環(huán)的氣體等的溫度進行探測。而且，例如在導(dǎo)入口51的附近等，設(shè)置有對從導(dǎo)入口51向腔室40內(nèi)導(dǎo)入的氣體的流量進行探測的流量傳感器。

控制部60控制第1照射裝置100的紫外線的照射動作?？刂撇?0連接于液體保溫循環(huán)裝置32、循環(huán)型空調(diào)裝置50、照射部10等?？刂撇?0例如包含控制電路，該控制電路設(shè)有未圖示的微處理器(micro processor)，該微處理器具有包含中央處理器(Central Processing Unit，CPU)等的運算處理裝置、以及只讀存儲器(Read Only Memory，ROM)、隨機存取存儲器(Random Access Memory，RAM)等半導(dǎo)體存儲器。而且，控制部60是與顯示處理動作的狀態(tài)的顯示部、及操作者(operator)用于登記處理內(nèi)容信息等的操作部相連接。

控制部60在從照射部10對載置于載臺30的載置面31上的被處理面板6照射紫外線時，基于溫度傳感器等的探測結(jié)果，對填充于支撐基體11中所設(shè)的流路中的液體的溫度進行控制，由此，將發(fā)光元件13或基板12保持為所需的動作溫度。而且，控制部60在從照射部10對載置于載臺30的載置面31上的被處理面板6照射紫外線時，基于溫度傳感器等的探測結(jié)果，控制液體保溫循環(huán)裝置32，以將在載臺30中循環(huán)的液體的溫度保持為固定。而且，同時，控制部60基于溫度傳感器等的探測結(jié)果，控制循環(huán)型空調(diào)裝置50，以將在腔室40內(nèi)循環(huán)的氣體的溫度保持為固定。由此，控制部60將載置于載臺30的載置面31上的被處理面板6的溫度保持為固定。

例如，當(dāng)從照射部10對被處理面板6照射紫外線時，控制部60以滿足第1條件的方式來控制載臺30及循環(huán)型空調(diào)裝置50。例如，控制部60以被照射紫外線時的被處理面板6的溫度相對于10℃～70℃之間的規(guī)定的設(shè)定溫度為±0.5℃以內(nèi)的方式，來控制載臺30及循環(huán)型空調(diào)裝置50。即，將載置于載臺30的載置面31上的被處理面板6的溫度保持為固定，是指相對于10℃～70℃之間的規(guī)定的設(shè)定溫度而將溫度保持在±0.5℃以內(nèi)。例如，在設(shè)定溫度為55℃的情況下，控制部60以被處理面板6的溫度被保持在54.5℃～55.5℃的范圍內(nèi)的方式，來控制在液體保溫循環(huán)裝置32中循環(huán)的液體的溫度及照射箱20內(nèi)的溫度等。而且，在設(shè)定溫度為60℃的情況下，控制部60以被處理面板6的溫度被保持在59.5℃～60.5℃的范圍內(nèi)的方式，來控制在液體保溫循環(huán)裝置32中循環(huán)的液體的溫度及被導(dǎo)入照射箱20內(nèi)的氣體的流量、溫度等。

此處，對于實施方式的第2照射裝置200，參照附圖來進行說明。圖4是表示實施方式的第2照射裝置的立體圖。而且，圖5是表示實施方式的第2照射裝置的立體圖。

第2照射裝置200包括多個匣盒201A、201B、201C等。另外，在不區(qū)分多個匣盒201A～201C等的情況下，有時稱作匣盒201。第2照射裝置200具有九個匣盒201。即，第2照射裝置200能夠并列地進行第2照射工序。具體而言，第2照射裝置200能夠同時對九片被處理面板6照射紫外線。

各匣盒201包括照射紫外線的照射部210、擋閘220、載置面230以及導(dǎo)管(duct)240a、240b。

照射部210具有作為光源的多個紫外線燈211。紫外線燈211是如下所述的紫外線熒光燈的呈直線狀延伸的管型放電燈，即，封入有汞或氬等稀有氣體，且內(nèi)壁主要受波長254nm的紫外線激發(fā)而照射比波長254nm長的波長的紫外線。紫外線燈211例如以波長300nm～400nm左右為主波長，且峰值波長為波長365nm的紫外線的照度為15mW/cm²以下。而且，照射部210能夠從第2照射裝置200裝卸。

而且，在各匣盒201中，可開閉地設(shè)有用于使被處理面板6進出于匣盒201內(nèi)的擋閘220。擋閘220在使被處理面板6進出于匣盒201內(nèi)時打開，在匣盒201內(nèi)收容有被處理面板6時關(guān)閉。例如，被處理面板6在擋閘220開放時，使用機械臂RH10來相對于匣盒201內(nèi)而進出。

而且，各匣盒201具有配置被收容在匣盒201內(nèi)的被處理面板6的載置面230。即，收容于匣盒201內(nèi)的被處理面板6是被配置于載置面230上，從而被照射來自紫外線燈211的紫外線。而且，導(dǎo)管240a、240b是與各個照射部210連接，向照射部210輸送制冷劑。例如，導(dǎo)管240a是制冷劑的流入側(cè)，導(dǎo)管240b是制冷劑的流出側(cè)。而且，導(dǎo)管240a中所用的制冷劑是經(jīng)未圖示的外部冷卻裝置冷卻的空氣等。

第2照射裝置200以比第1時間TM1長的第2時間TM2，來對被處理面板6照射紫外線。圖1中，第2照射裝置200對于經(jīng)過了第1照射工序的被處理面板6，以第2時間TM2來照射紫外線。

例如，第2照射裝置200從照射部210放射波長365nm的紫外線，其照度設(shè)定值為2mW/cm²(以下有時稱作“第2照度”)。另外，第1照度與第2照度也可為不同的照度。而且，例如，第2照射裝置200對被處理面板6照射紫外線的第2時間TM2是用于使殘留的單體大致反應(yīng)而大致生成穩(wěn)定化藍相的時間。即，第2照射裝置200對被處理面板6照射紫外線的第2時間TM2是在第1照射工序后照射紫外線，直至被處理面板6的聚合物穩(wěn)定藍相大致生成為止的時間。具體而言，第2時間TM2也可為1小時。

而且，第2照射裝置200是在滿足條件中所含的溫度范圍(以下稱作“第2溫度范圍”)比第1條件寬的規(guī)定條件(以下稱作“第2條件”)的狀態(tài)下，對被處理面板6照射紫外線。即，第2溫度范圍的范圍寬于第1溫度范圍。因此，第2照射裝置200在滿足條件比第1條件有所緩和的第2條件的狀態(tài)下，以第2照度來對被處理面板6照射紫外線。

本實施方式中，液晶面板的制造裝置1不需要對被處理面板6照射紫外線的期間、即第2時間TM2內(nèi)的溫度管理。即，第2照射裝置200中的第2條件不需要溫度管理(第2溫度范圍的設(shè)定)。另外，液晶面板的制造裝置1也可將第2溫度范圍設(shè)為±5℃以內(nèi)等適當(dāng)?shù)姆秶Ｒ韵?，將?照射裝置200以第2時間TM2并以第2照度來對被處理面板6照射紫外線的工序稱作“第2照射工序”。

此處，對液晶面板的制造方法的處理流程進行說明。圖6是表示實施方式的液晶面板的制造處理的流程圖。另外，液晶面板的制造方法既可由規(guī)定裝置(例如液晶面板的制造裝置1)自動進行，也可由規(guī)定裝置(例如液晶面板的制造裝置1)的操作者來進行。例如，在液晶面板的制造裝置1自動進行液晶面板的制造處理的情況下，液晶面板的制造裝置1也可具有規(guī)定的控制機構(gòu)。而且，在通過液晶面板的制造裝置1來進行液晶面板的制造處理的情況下，第1照射裝置100與第2照射裝置200之間的被處理面板6的移動也可通過液晶面板的制造裝置1的操作者或具有機械臂RH10的規(guī)定的機器人等來進行。

以下表示液晶面板的制造裝置1進行液晶面板的制造處理的情況。而且，在圖6所示的流程圖中，設(shè)在步驟S101之前被處理面板6開始第1照射工序，以下進行說明。例如，在第1照射工序中，通過規(guī)定的機構(gòu)(例如載臺30)來控制溫度，并以第1時間TM1來對被處理面板6照射紫外線。而且，例如，在第2照射工序中，對于被處理面板6，以比第1時間TM1長的第2時間TM2照射紫外線。

首先，液晶面板的制造裝置1通過第1照射裝置100進行第1照射工序。具體而言，第1照射裝置100的控制部60由操作者來登記處理內(nèi)容信息，在有處理動作的開始指示時，開始處理動作。當(dāng)處理動作開始時，打開腔室40的擋閘43，通過搬出/搬入口44，使用機械臂RH10等將被處理面板6載置于腔室40的載臺30的載置面31上。然后，控制部60關(guān)閉擋閘43，經(jīng)由配管33來使液體在載臺30內(nèi)循環(huán)，并且通過導(dǎo)入口51將氣體導(dǎo)入腔室40內(nèi)并從排出口52排出。

并且，控制部60使照射部10的發(fā)光元件13點燈。控制部60使固定溫度的液體在載臺30內(nèi)流通，并且將固定的氣體從導(dǎo)入口51導(dǎo)入腔室40內(nèi)并從排出口52排出，從而使氣體循環(huán)。并且，控制部60對于載置于載置面31上的被處理面板6，使照射部10放射的紫外線穿過窗材21并以第1照度照射第1時間TM1。如此，第1照射裝置100滿足與溫度相關(guān)的第1條件，并且使紫外線以固定的第1照度照射第1時間TM1。

接下來，液晶面板的制造裝置1判定第1照射工序中的被處理面板6的第1照射工序是否已完成(步驟S101)。在第1照射工序中的被處理面板6的第1照射工序尚未完成的情況下(步驟S101：否(No))，液晶面板的制造裝置1重復(fù)步驟S101的處理。

另一方面，在第1照射工序中的被處理面板6的第1照射工序已完成的情況下(步驟S101：是(Yes))，液晶面板的制造裝置1使被處理面板6移動至第2照射裝置200。例如，液晶面板的制造裝置1通過機械臂RH10來使被處理面板6從第1照射裝置100移動至第2照射裝置200。

隨后，液晶面板的制造裝置1開始被處理面板6的第2照射工序(步驟S102)。然后，液晶面板的制造裝置1開始新的被處理面板6的第1照射工序(步驟S103)。即，液晶面板的制造裝置1并列地處理在步驟S102中開始第2照射工序的被處理面板6與在步驟S103中開始第1照射工序的新的被處理面板6。隨后，液晶面板的制造裝置1重復(fù)步驟S101的處理。另外，液晶面板的制造裝置1在所有的被處理面板6的第2照射工序結(jié)束時，結(jié)束液晶面板的制造處理。而且，液晶面板的制造裝置1也可在因第2照射裝置200的所有匣盒201處于使用中等而無法進行第2照射工序的情況下，等待步驟S102的處理，待能夠進行第2照射工序后，進行步驟S102的處理。

如上所述，液晶面板的制造裝置1通過第2照射裝置200來進行第2照射工序。而且，第2照射裝置200的第2照射工序的第2時間TM2長于第1照射裝置100的第1照射工序的第1時間TM1。因此，在對一片被處理面板6進行第2照射工序的期間內(nèi)，將進行多次第1照射工序。即，在對一片被處理面板6進行第2照射工序的期間，進行了第1照射工序的多個被處理面板6移動至第2照射裝置200。另一方面，由于第2照射裝置200能夠并列地進行第2照射工序，因此能夠?qū)Χ鄠€被處理面板6進行第2照射工序。

在圖1所示的示例中，在設(shè)第1時間TM1為30秒鐘，第2時間TM2為1小時，連續(xù)處理的被處理面板6的數(shù)量為30片的情況下，由于四個第2照射裝置200具有九個匣盒201，因此能夠?qū)?6片被處理面板6并列地進行第2照射工序。因此，液晶面板的制造裝置1能夠?qū)⑻幚?6片被處理面板6所需的時間(以下有時稱作“總節(jié)拍時間(total tact time)”)縮短至1小時15分鐘(＝30秒×30片+1小時)。另外，在不并列進行第2照射工序的情況下，即在逐個地進行第2照射工序的情況下，總節(jié)拍時間將達到30小時30秒(＝30秒+1小時×30片)。而且，液晶面板的制造裝置1能夠?qū)⒃诟鞅惶幚砻姘?的處理中使用第1照射裝置100的時間抑制為30秒。另外，被處理面板6的移動及配置等需要時間，但為了簡化說明，假設(shè)這些時間包含在第1時間TM1或第2時間TM2中。

由此，液晶面板的制造裝置1在僅使用第1照射裝置100的情況下，能夠縮短在第1照射裝置100中一片被處理面板6需要數(shù)百秒左右的照射時間。即，液晶面板的制造裝置1通過追加不需要溫度管理的第2照射裝置200的第2照射工序，從而能夠縮短以往進行長時間照射并需要溫度管理的第1照射裝置100的第1照射工序的時間。如此，液晶面板的制造裝置1能夠抑制相對于被處理面板6的紫外線照射效率的惡化。

而且，液晶面板的制造裝置1通過對應(yīng)于連續(xù)處理的被處理面板6的數(shù)量來增加第2照射裝置200的數(shù)量或各第2照射裝置200的匣盒201，也能夠縮短用于液晶面板生產(chǎn)的總節(jié)拍時間。

此處，使用圖7來表示液晶面板的制造裝置1中的第1照射工序及第2照射工序的時間序列的一例。圖7是表示實施方式的液晶面板的制造裝置中的處理的時間圖。

圖7所示的示例中，表示液晶面板的制造裝置1處理六片以上的被處理面板6的情況。圖7中，將各被處理面板6設(shè)為面板A～面板F等來進行說明。另外，圖7所示的示例中，將第2照射裝置200中的匣盒201的合計數(shù)設(shè)為五個。圖7中，將各匣盒201設(shè)為匣盒A～匣盒E來進行說明。而且，圖7所示的示例中，將第1時間TM1設(shè)為比第2時間TM2的五分之一短的時間。

首先，第1照射裝置100在時刻t1對面板A開始第1照射工序。隨后，在從時刻t1經(jīng)過第1時間TM1后，第1照射裝置100對面板A完成第1照射工序。

接下來，第1照射裝置100在從針對面板A的第1照射工序的完成時刻經(jīng)過面板A的搬送作業(yè)后(圖7中為經(jīng)過時間CT1后)的時刻t2，對面板B開始第1照射工序。而且，匣盒A在時刻t2，對從第1照射裝置100搬送來的面板A開始第2照射工序。在液晶面板的制造裝置1中，在第1照射裝置100對作為被處理面板6的面板B照射紫外線的過程中，第2照射裝置200對由第1照射裝置100以第1時間TM1照射了紫外線的另一被處理面板6即面板A照射紫外線。隨后，在從時刻t2經(jīng)過第1時間TM1后，第1照射裝置100對面板B完成第1照射工序。以下，對于面板C～面板F，同樣地進行照射。

接下來，第1照射裝置100在時刻t7，對面板F以后的面板(例如面板G)開始第1照射工序。而且，匣盒A在時刻t7，對面板A完成第2照射工序，并從第1照射裝置100搬送面板F。因此，匣盒A在時刻t7，對面板F開始第2照射工序。同樣，匣盒B～匣盒E在時刻t7，對面板B～面板E繼續(xù)第2照射工序。

如此，在圖7所示的示例中，液晶面板的制造裝置1能夠并列地對五片被處理面板6進行第2照射工序。由此，液晶面板的制造裝置1也能夠縮短對所有被處理面板6進行處理所需的總節(jié)拍時間。

如以上所述，本實施方式中，液晶面板的制造裝置1于在第1照射裝置100中對被處理面板6照射紫外線的過程中，第2照射裝置200對另一被處理面板6照射紫外線。因此，液晶面板的制造裝置1能夠并列地進行處理。由此，液晶面板的制造裝置1通過將裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜而零件數(shù)量多的第1照射裝置100與裝置結(jié)構(gòu)簡單而零件數(shù)量少的第2照射裝置200予以組合，從而既能抑制作為液晶面板的制造裝置1整體的裝置結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化及零件數(shù)量的增大，又能抑制對被處理面板6的紫外線照射效率的惡化。而且，由于第1照射裝置100中的第1照射工序的第1時間TM1短于第2照射裝置200中的第2照射工序的第2時間TM2，因此能夠抑制在第1照射裝置100中一片被處理面板6需要數(shù)百秒左右的照射時間的增大。而且，液晶面板的制造裝置1能夠抑制對所有被處理面板6進行處理所需的總節(jié)拍時間的增大。因此，液晶面板的制造裝置1對于被處理面板6，既能抑制裝置結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化及零件數(shù)量的增大，又能抑制紫外線照射效率的惡化。

前述結(jié)構(gòu)的實施方式的液晶面板的制造裝置1中，第1照射裝置100通過載臺30來控制溫度。由此，液晶面板的制造裝置1能夠在第1照射工序中將被處理面板6保持為規(guī)定溫度，并且通過照射規(guī)定照射時間的紫外線，從而能夠生成聚合物穩(wěn)定藍相。而且，液晶面板的制造裝置1中，與第1照射裝置100相比，并不嚴(yán)格地進行第2照射工序的溫度管理，第2照射裝置200比起第1照射裝置100，可裝置結(jié)構(gòu)簡單而零件數(shù)量少，因此既能抑制作為液晶面板的制造裝置1整體的裝置結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化及零件數(shù)量的增大，又能抑制對被處理面板6的紫外線照射效率的惡化。因此，液晶面板的制造裝置1對于被處理面板6，既能抑制裝置結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化及零件數(shù)量的增大，又能抑制紫外線照射效率的惡化。

而且，在前述結(jié)構(gòu)的實施方式的液晶面板的制造裝置1中，被處理面板6中所含的液晶層9包含向列液晶組合物、呈現(xiàn)藍相的液晶組合物及聚合性單體，由此，液晶層9能夠通過照射紫外線來抑制聚合物穩(wěn)定藍相的呈現(xiàn)的阻礙。

[變形例]

[關(guān)于發(fā)光元件的配置]

另外，多個發(fā)光元件13的配置并不限定于沿著一列而排列成直線狀的結(jié)構(gòu)，也可為沿著多列而排列的結(jié)構(gòu)、或者相對于基板12的長邊方向而呈鋸齒狀交替地錯開位置排列的結(jié)構(gòu)。而且，也可根據(jù)照射所需光的需要，在基板12中將多種發(fā)光元件相對于基板12的長邊方向而交替地配置。

[關(guān)于第1照射裝置的其他結(jié)構(gòu)]

在所述液晶面板的制造裝置1中，示出了包括將LED用于光源的第1照射裝置100的示例，但對于第1照射裝置的光源，也可根據(jù)目的來使用各種光源。關(guān)于此點，使用圖來進行說明。另外，對于圖8所示的第1照射裝置100A中的與第1照射裝置100同樣的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

如圖8所示，第1照射裝置100A具備照射紫外線的照射部10A、照射箱20、載臺30、腔室40、循環(huán)型空調(diào)裝置50以及控制部60。

照射部10A將紫外線照射至照射箱20內(nèi)。照射部10A具有作為光源的多個紫外線燈11A、以及將紫外線燈11A所照射的紫外線反射向載臺30的載置面31的反射板12A。即，照射部10A與照射部10的不同之處在于，光源為紫外線燈11A。照射部10A也可經(jīng)由以鋁所形成的散熱介質(zhì)來對紫外線燈11A發(fā)出的熱進行散熱。而且，紫外線燈11A也可由使紫外線燈11A所放射的紫外線通過的水冷套(jacket)(未圖示)來覆蓋。水冷套在內(nèi)部填充有冷卻水，通過使該冷卻水循環(huán)來將紫外線燈11A保持為所需的動作溫度。

紫外線燈11A是如下所述的紫外線熒光燈的呈直線狀延伸的管型放電燈，即，封入有汞或氬等稀有氣體，且在內(nèi)壁主要受波長254nm的紫外線激發(fā)而照射比波長254nm長的波長的紫外線。紫外線燈11A例如以波長300nm～400nm左右為主波長，且峰值波長為365nm的紫外線的照度為15mW/cm²以下。

在照射部10A中，在紫外線燈11A與照射箱20之間，可開閉地設(shè)有遮擋紫外線的擋閘16。擋閘16通過進行開閉動作，從而切換為：將紫外線燈11A放射的紫外線照射至載置于載臺30的載置面31上的被處理面板6的狀態(tài)、與遮擋紫外線燈11A放射的紫外線而不對被處理面板6照射紫外線的狀態(tài)。例如，在第1照射裝置100A中，控制部60使紫外線燈11A點燈，在紫外線燈11A放射的光達到所需的光量后，打開擋閘16。

另外，所述的液晶面板的制造裝置1的結(jié)構(gòu)為一例，液晶面板的制造裝置1也可根據(jù)目的來適當(dāng)采用各種結(jié)構(gòu)。例如，液晶面板的制造裝置1也可為下述結(jié)構(gòu)：例如沿著傳輸帶(belt conveyor)的搬運方向，依照第1照射部、第2照射部的順序排列，被處理面板6在傳輸帶的皮帶上移動。此時，通過第1照射部的傳輸帶也可使被處理面板6以第1速度沿搬運方向移動，該第1速度是將來自第1照射部的光以第1時間TM1照射至被處理面板6的速度。而且，通過第2照射部的傳輸帶也可使被處理面板6以第2速度沿搬運方向移動，該第2速度是將來自第2照射部的光以第2時間TM2照射至被處理面板6的速度。

如此，對于第1照射裝置的其他結(jié)構(gòu)，也能夠獲得與第1實施方式同樣的效果。

對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但該實施方式僅為例示，并不意圖限定發(fā)明的范圍。該實施方式能夠以其他的各種形態(tài)來實施，在不脫離發(fā)明主旨的范圍內(nèi)，能夠進行各種省略、置換、變更。該實施方式及其變形包含在發(fā)明的范圍或主旨內(nèi)，同樣包含在權(quán)利要求書所記載的發(fā)明及其均等的范圍內(nèi)。