技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種多層膜層的中性灰度減光濾鏡及其制造方法，其包括基片，所述基片上鍍有若干層膜層，所述膜層包括層疊的減反射膜和金屬膜，相鄰的兩個(gè)所述金屬膜間設(shè)有至少一層所述減反射膜，所述減反射膜的構(gòu)成材料的折射率大于1.30。多層膜層的中性灰度減光濾鏡的制造方法，其包括的步驟有：(1)將鍍膜傘安裝到真空室的腔體頂部，所述鍍膜傘的旋轉(zhuǎn)軸安裝有動(dòng)力源，所述真空室的腔體底部設(shè)有兩個(gè)鍍膜材源，修正板固定在所述真空室內(nèi)，一端位于兩個(gè)所述鍍膜材源同一側(cè)，采用真空泵將所述真空室抽至預(yù)定真空度；(2)所述動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)所述鍍膜傘旋轉(zhuǎn)，采用兩個(gè)所述鍍膜材源交替蒸鍍所述膜層，所述膜層以預(yù)定的光學(xué)厚度和預(yù)定的次序依次層疊。

技術(shù)研發(fā)人員：孫義昌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：孫義昌
文檔號(hào)碼：201610662155
技術(shù)研發(fā)日：2014.06.23
技術(shù)公布日：2016.11.30