本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、固化膜的制造方法、固化膜及液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
：：液晶顯示裝置由于具有能夠成為薄型、輕量及低耗電這樣的優(yōu)點(diǎn)，所以在各種電子設(shè)備中被廣泛利用。此外，液晶顯示裝置通常設(shè)置有經(jīng)圖案形成的層間絕緣膜。在該層間絕緣膜的形成中，從用于獲得所需的圖案形狀的工序數(shù)少、且可獲得充分的平坦性這樣的理由出發(fā)，廣泛使用感光性樹脂組合物。例如，在專利文獻(xiàn)1中，作為所謂的化學(xué)放大型的感光性樹脂組合物，記載了“含有：(A-1)包含滿足下述(1)及(2)中的至少一者的聚合物的聚合物成分、(B-1)光酸產(chǎn)生劑、(C-1)溶劑的感光性樹脂組合物，其中，(1)含有(a1-1)具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元及(a1-2)具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物，或(2)具有構(gòu)成單元(a1-1)的聚合物及具有構(gòu)成單元(a1-2)的聚合物”([權(quán)利要求1])，此外，作為NQD(萘醌二疊氮)型的感光性樹脂組合物，記載了“含有：(A-2)包含(a2-1)具有酸基的構(gòu)成單元及(a2-2)具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物成分、(B-2)醌二疊氮化物、(C-2)溶劑的感光性樹脂組合物”([權(quán)利要求2])?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-197155號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的問題另一方面，在專利文獻(xiàn)1中，記載了具有使感光性樹脂組合物固化而得到的固化膜作為層間絕緣膜的液晶顯示裝置([0189][0190])，在包括專利文獻(xiàn)1的以往公知的液晶顯示裝置中，為了使液晶單元中使用的液晶分子發(fā)生取向，需要在層間絕緣膜上設(shè)置取向膜。因此，本發(fā)明的課題在于提供能夠形成兼作取向膜的層間絕緣膜的感光性樹脂組合物、以及使用了其的固化膜的制造方法、固化膜及液晶顯示裝置。用于解決問題的方法本發(fā)明人們?yōu)榱诉_(dá)成上述課題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過配合含有具有氟取代烴基等部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元和具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物，能夠形成兼作取向膜的層間絕緣膜，從而完成了本發(fā)明。即，發(fā)現(xiàn)通過以下的構(gòu)成能夠達(dá)成上述課題。[1]一種感光性樹脂組合物，其是含有聚合物成分A1和光酸產(chǎn)生劑B1的感光性樹脂組合物，所述聚合物成分A1含有包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1，滿足下述1～3中的至少一個(gè)：1：上述聚合物A1-1進(jìn)一步包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2，2：作為上述聚合物成分A1，進(jìn)一步含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物A1-2，3：進(jìn)一步含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的分子量為1,000以下的交聯(lián)劑C1，并且，滿足下述4及5中的至少一個(gè)：4：上述聚合物A1-1或上述聚合物A1-2包含下述s1中所示的構(gòu)成單元，5：作為上述聚合物成分A1，進(jìn)一步含有包含下述s1中所示的構(gòu)成單元的聚合物A1-3，s1：具有選自由氟取代烴基、硅氧烷骨架及碳原子數(shù)為10～30的烷基組成的組中的至少一個(gè)部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元、以及具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元。[2]根據(jù)[1]所述的感光性樹脂組合物，其中，上述酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)為酸基以縮醛的形式被保護(hù)的基團(tuán)。[3]一種感光性樹脂組合物，其是含有聚合物成分A2和醌二疊氮化物B2的感光性樹脂組合物，所述聚合物成分A2含有包含具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A2-1，滿足下述1～3中的至少一個(gè)：1：上述聚合物A2-1進(jìn)一步包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2，2：作為上述聚合物成分A2，進(jìn)一步含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物A2-2，3：進(jìn)一步含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的分子量為1,000以下的交聯(lián)劑C2，并且，滿足下述4及5中的至少一個(gè)：4：上述聚合物A2-1或上述聚合物A2-2包含下述s1中所示的構(gòu)成單元，5：作為上述聚合物成分A2，進(jìn)一步含有包含下述s1中所示的構(gòu)成單元的聚合物A2-3，s1：具有選自由氟取代烴基、硅氧烷骨架及碳原子數(shù)為10～30的烷基組成的組中的至少一個(gè)部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元、以及具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元。[4]根據(jù)[1]～[3]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，上述光取向性基團(tuán)為通過光二聚化反應(yīng)而賦予取向性的基團(tuán)。[5]根據(jù)[1]～[4]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，上述光取向性基團(tuán)為肉桂酸酯基或查耳酮基。[6]根據(jù)[1]～[5]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，上述交聯(lián)性基團(tuán)為環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基。[7]根據(jù)[1]～[6]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，具有上述s1中所示的構(gòu)成單元的聚合物的含量相對(duì)于組合物的全部固體成分為0.1～20質(zhì)量％。[8]根據(jù)[1]～[7]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，含有有機(jī)溶劑D。[9]一種固化膜的制造方法，其包括以下工序：將[8]所述的感光性樹脂組合物涂布到基板上的工序；從所涂布的感光性樹脂組合物中除去有機(jī)溶劑D的工序；通過活性放射線對(duì)除去了有機(jī)溶劑D的感光性樹脂組合物進(jìn)行曝光的工序；利用顯影液對(duì)經(jīng)曝光的感光性樹脂組合物進(jìn)行顯影的工序；和將經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)行熱固化而得到固化膜的工序。[10]一種固化膜，其是使[1]～[8]中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物固化而成的固化膜。[11]一種液晶顯示裝置，其具有[10]所述的固化膜。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠形成兼作取向膜的層間絕緣膜的感光性樹脂組合物、以及使用了其的固化膜的制造方法、固化膜及液晶顯示裝置。具體實(shí)施方式以下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。以下記載的構(gòu)成要件的說明有時(shí)基于本發(fā)明的代表性的實(shí)施方式來進(jìn)行，但本發(fā)明并不限定于這樣的實(shí)施方式。另外，本說明書中，使用“～”表示的數(shù)值范圍是指將“～”的前后記載的數(shù)值作為下限值及上限值包含的范圍。在本說明書中的基團(tuán)(原子團(tuán))的表述中，未記載取代及未取代的表述包含不具有取代基的基團(tuán)(原子團(tuán))，同時(shí)也包含具有取代基的基團(tuán)(原子團(tuán))。例如所謂“烷基”，不僅包含不具有取代基的烷基(未取代烷基)，而且也包含具有取代基的烷基(取代烷基)。本說明書中，“(甲基)丙烯酸酯”是表示“丙烯酸酯”或“甲基丙烯酸酯”的表述，“(甲基)丙烯酸”是表示“丙烯酸”或“甲基丙烯酸”的表述，“(甲基)丙烯?；笔潜硎尽氨；被颉凹谆；钡谋硎觥１菊f明書中，固體成分為25℃下的固體成分。本說明書中，聚合物的重均分子量及數(shù)均分子量作為利用GPC(凝膠滲透色譜法)測(cè)定的聚苯乙烯換算值來定義。本發(fā)明的第1方式所述的感光性樹脂組合物(以下，也簡(jiǎn)稱為“本發(fā)明的第1方式”)為一種感光性樹脂組合物，其含有聚合物成分A1和光酸產(chǎn)生劑B1，所述聚合物成分A1含有包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1，滿足后述的1～3中所示的條件中的至少一個(gè)，并且，滿足后述的4及5中所示的條件中的至少一個(gè)。此外，本發(fā)明的第2方式所述的感光性樹脂組合物(以下，也簡(jiǎn)稱為“本發(fā)明的第2方式”)為一種感光性樹脂組合物，其含有聚合物成分A2和醌二疊氮化物B2，所述聚合物成分A2含有包含具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A2-1，滿足后述的1～3中所示的條件中的至少一個(gè)，并且，滿足后述的4及5中所示的條件中的至少一個(gè)。本發(fā)明的第1方式及第2方式所述的感光性樹脂組合物通過配合具有后述的s1中所示的構(gòu)成單元的聚合物作為聚合物成分A1或聚合物成分A2，能夠形成兼作取向膜的層間絕緣膜。其詳細(xì)情況并不清楚，但本發(fā)明人們推測(cè)如下。即，認(rèn)為由于具有后述的s1中所示的構(gòu)成單元的聚合物中含有具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元，同時(shí)含有具有氟取代烴基等部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元，由此，在樹脂組合物被涂布于基板(例如，薄膜晶體管等)上后，包含具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物向涂膜的表面附近移行(滲出)，在熱固化后，光取向性基團(tuán)偏向存在于固化膜的表面附近，所以也能夠作為取向膜(光取向膜)發(fā)揮功能。接著，對(duì)本發(fā)明的第1方式及第2方式中使用的聚合物成分等各成分進(jìn)行詳細(xì)說明。[本發(fā)明的第1方式]本發(fā)明的第1方式含有以下的聚合物成分A1和光酸產(chǎn)生劑B1?！簿酆衔锍煞諥1〕本發(fā)明的第1方式所含有的聚合物成分A1為含有包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1的聚合物成分。其中，聚合物成分A1通過由后述的光酸產(chǎn)生劑B1產(chǎn)生的催化量的酸性物質(zhì)的作用，上述聚合物A1-1中的酸分解性基團(tuán)進(jìn)行脫保護(hù)反應(yīng)，產(chǎn)生酸基，由此能夠進(jìn)行固化反應(yīng)。此外，聚合物成分A1意味著除了包含上述聚合物A1-1以外，還包含根據(jù)需要添加的其它的聚合物的聚合物成分。本發(fā)明中，聚合物成分A1所含有的聚合物優(yōu)選為加成聚合型的聚合物，更優(yōu)選為包含來自(甲基)丙烯酸和/或其酯的構(gòu)成單元的聚合物。此外，也可以具有除來自(甲基)丙烯酸和/或其酯的構(gòu)成單元以外的構(gòu)成單元、例如來自苯乙烯的構(gòu)成單元、或來自乙烯基化合物的構(gòu)成單元等。此外，將“來自(甲基)丙烯酸和/或其酯的構(gòu)成單元”也稱為“丙烯酸系構(gòu)成單元”。本發(fā)明的第1方式必須滿足下述1～3中所示的條件中的至少一個(gè)、并且滿足下述4及5中所示的條件中的至少一個(gè)。這表示：在包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1中、或不同于聚合物A1-1地具有有助于固化的交聯(lián)性基團(tuán)的部位或成分是必須的；和包含具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元和用于使其偏向存在于表面的構(gòu)成單元的聚合物成分是必須的。因此，在以下的說明中，不是以每種聚合物為中心，而是以作為聚合物成分而必須的聚合物中的構(gòu)成單元為中心進(jìn)行說明。(條件)1：上述聚合物A1-1進(jìn)一步包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2，2：作為上述聚合物成分A1，進(jìn)一步含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物A1-2，3：進(jìn)一步含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的分子量為1,000以下的交聯(lián)劑C1，4：上述聚合物A1-1或上述聚合物A1-2包含下述s1中所示的構(gòu)成單元，5：作為上述聚合物成分A1，進(jìn)一步含有包含下述s1中所示的構(gòu)成單元的聚合物A1-3，s1：具有選自由氟取代烴基、硅氧烷骨架及碳原子數(shù)為10～30的烷基組成的組中的至少一個(gè)部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元、以及具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元。<構(gòu)成單元a1>聚合物成分A1包含至少含有具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1。通過聚合物成分A1包含具有構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1，能夠制成感度極高的化學(xué)放大型的樹脂組合物。關(guān)于本發(fā)明中的“酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)”，作為酸基及酸分解性基團(tuán)可以使用公知的基團(tuán)，沒有特別限定。作為酸基，優(yōu)選可列舉出例如羧基、酚性羥基等。此外，作為酸分解性基團(tuán)，可列舉出通過酸比較容易分解的基團(tuán)(例如后述的酯結(jié)構(gòu)、四氫吡喃酯基、或四氫呋喃酯基等縮醛系官能團(tuán))、或通過酸比較難分解的基團(tuán)(例如叔丁酯基等叔烷基酯基、碳酸叔丁酯基等碳酸叔烷基酯基)等。具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1優(yōu)選為具有羧基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元(以下，也稱為“具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元”)、或具有酚性羥基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)酚性羥基的構(gòu)成單元(以下，也稱為“具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)酚性羥基的構(gòu)成單元”)。以下，依次對(duì)具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1和具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)酚性羥基的構(gòu)成單元a1-2分別進(jìn)行說明。<<具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1>>上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1為含有具有羧基的構(gòu)成單元的羧基被以下詳細(xì)說明的酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元。作為可以用于上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1的上述具有羧基的構(gòu)成單元，可以沒有特別限制地使用公知的構(gòu)成單元?？闪信e出例如來自不飽和單羧酸、不飽和二羧酸、不飽和三羧酸等在分子中具有至少一個(gè)羧基的不飽和羧酸等的構(gòu)成單元a1-1-1、或同時(shí)具有烯屬不飽和基團(tuán)和來自酸酐的結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元a1-1-2。以下，對(duì)作為上述具有羧基的構(gòu)成單元而使用的a1-1-1即來自分子中具有至少一個(gè)羧基的不飽和羧酸等的構(gòu)成單元、和a1-1-2即同時(shí)具有烯屬不飽和基團(tuán)和來自酸酐的結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元分別依次進(jìn)行說明。<<<來自分子中具有至少一個(gè)羧基的不飽和羧酸等的構(gòu)成單元a1-1-1>>>關(guān)于作為上述來自分子中具有至少一個(gè)羧基的不飽和羧酸等的構(gòu)成單元a1-1-1而在本發(fā)明中使用的不飽和羧酸，可列舉出例如日本特開2014-238438號(hào)公報(bào)的段落0043中記載的化合物。其中，從顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，為了形成上述構(gòu)成單元a1-1-1，優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-琥珀酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二甲酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-鄰苯二甲酸、或不飽和多元羧酸的酐等，更優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二甲酸。上述來自分子中具有至少一個(gè)羧基的不飽和羧酸等的構(gòu)成單元a1-1-1可以由一種單獨(dú)構(gòu)成，也可以由兩種以上構(gòu)成。<<<同時(shí)具有烯屬不飽和基團(tuán)和來自酸酐的結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元a1-1-2>>>同時(shí)具有烯屬不飽和基團(tuán)和來自酸酐的結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元a1-1-2優(yōu)選為來自使具有烯屬不飽和基團(tuán)的構(gòu)成單元中存在的羥基與酸酐反應(yīng)而得到的單體的單元。作為上述酸酐，可以使用公知的酸酐，具體而言，可列舉出馬來酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、氯菌酸酐等二元酸酐；偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、二苯甲酮四羧酸酐、聯(lián)苯四羧酸酐等酸酐。它們中，從顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、或琥珀酸酐。上述酸酐的相對(duì)于羥基的反應(yīng)率，從顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為10～100摩爾％，更優(yōu)選為30～100摩爾％。(可以用于構(gòu)成單元a1-1的酸分解性基團(tuán))作為可以用于上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1的上述酸分解性基團(tuán)，可以使用上述的酸分解性基團(tuán)。這些酸分解性基團(tuán)中，羧基為以縮醛的形式被保護(hù)的保護(hù)羧基，這從樹脂組合物的基本物性、特別是感度或圖案形狀、接觸孔的形成性、樹脂組合物的保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)是優(yōu)選的。進(jìn)而在酸分解性基團(tuán)中，羧基為下述式a1-10所表示的以縮醛的形式被保護(hù)的保護(hù)羧基，這從感度的觀點(diǎn)出發(fā)更優(yōu)選。另外，當(dāng)羧基為下述式a1-10所表示的以縮醛的形式被保護(hù)的保護(hù)羧基時(shí)，作為保護(hù)羧基的整體，成為-(C＝O)-O-CR101R102(OR103)的結(jié)構(gòu)。[化學(xué)式1]式a1-10中，R101及R102分別獨(dú)立地表示氫原子或烴基，其中，將R101與R102均為氫原子的情況除外。R103表示烷基。R101或R102與R10也可以連結(jié)而形成環(huán)狀醚。上述式a1-10中，R101～R103分別獨(dú)立地表示氫原子或烷基，上述烷基可以是直鏈狀、支鏈狀、環(huán)狀中的任一種。其中，不會(huì)R101及R102這兩者表示氫原子，而是R101及R102中的至少一者表示烷基。上述式a1-10中，當(dāng)R101、R102及R103表示烷基時(shí)，上述烷基可以是直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀中的任一種。作為上述直鏈狀或支鏈狀的烷基，優(yōu)選碳原子數(shù)為1～12，更優(yōu)選碳原子數(shù)為1～6，進(jìn)一步優(yōu)選碳原子數(shù)為1～4。具體而言，可列舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、新戊基、正己基、叔己基(2,3-二甲基-2-丁基)、正庚基、正辛基、2-乙基己基、正壬基、正癸基等。作為上述環(huán)狀烷基，優(yōu)選碳原子數(shù)為3～12，更優(yōu)選碳原子數(shù)為4～8，進(jìn)一步優(yōu)選碳原子數(shù)為4～6。作為上述環(huán)狀烷基，可列舉出例如環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基、降冰片基、異冰片基等。上述烷基也可以具有取代基，作為取代基，可例示出鹵素原子、芳基、烷氧基。在具有鹵素原子作為取代基時(shí)，R101、R102、R103成為鹵代烷基，在具有芳基作為取代基時(shí)，R101、R102、R103成為芳烷基。作為上述鹵素原子，可例示出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，它們中，優(yōu)選氟原子或氯原子。此外，作為上述芳基，優(yōu)選碳原子數(shù)為6～20的芳基，更優(yōu)選碳原子數(shù)為6～12的芳基。具體而言，可例示出苯基、α-甲基苯基、萘基等，作為被芳基取代的烷基整體、即芳烷基，可例示出芐基、α-甲基芐基、苯乙基、萘基甲基等。作為上述烷氧基，優(yōu)選碳原子數(shù)為1～6的烷氧基，更優(yōu)選碳原子數(shù)為1～4的烷氧基，進(jìn)一步優(yōu)選為甲氧基或乙氧基。此外，在上述烷基為環(huán)烷基時(shí)，上述環(huán)烷基也可以具有碳原子數(shù)為1～10的直鏈狀或支鏈狀的烷基作為取代基，在烷基為直鏈狀或支鏈狀的烷基的情況下，也可以具有碳原子數(shù)為3～12的環(huán)烷基作為取代基。這些取代基也可以被上述取代基進(jìn)一步取代。上述式a1-10中，當(dāng)R101、R102及R103表示芳基時(shí)，上述芳基優(yōu)選碳原子數(shù)為6～12，更優(yōu)選碳原子數(shù)為6～10。上述芳基也可以具有取代基，作為上述取代基，可優(yōu)選例示出碳原子數(shù)為1～6的烷基。作為芳基，可例示出例如苯基、甲苯基、二甲苯基、枯烯基、1-萘基等。此外，R101、R102及R103可以彼此鍵合并與它們所鍵合的碳原子或氧原子一起形成環(huán)。作為R101與R102、R101與R103或R102與R103鍵合時(shí)的環(huán)結(jié)構(gòu)，可列舉出例如環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、四氫呋喃基、金剛烷基及四氫吡喃基等。另外，上述式a1-10中，優(yōu)選R101及R102中的任一者為氫原子或甲基。為了形成具有上述式a1-10所表示的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元而使用的自由基聚合性單體可以使用市售品，也可以使用通過公知的方法合成的自由基聚合性單體。例如可以利用日本特開2011-221494號(hào)公報(bào)的段落0037～0040中記載的合成方法等來合成。上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1的第一優(yōu)選方式為下述式所表示的構(gòu)成單元。[化學(xué)式2]式中，R1及R2分別獨(dú)立地表示氫原子、烷基或芳基，至少R1及R2中的任一者為烷基或芳基，R3表示烷基或芳基，R1或R2與R3也可以連結(jié)而形成環(huán)狀醚，R4表示氫原子或甲基，X表示單鍵或亞芳基。當(dāng)R1及R2為烷基時(shí)，優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～10的烷基。當(dāng)R1及R2為芳基時(shí)，優(yōu)選為苯基。R1及R2分別獨(dú)立地優(yōu)選為氫原子或碳原子數(shù)為1～4的烷基。R3表示烷基或芳基，優(yōu)選碳原子數(shù)為1～10的烷基，更優(yōu)選碳原子數(shù)為1～6的烷基。X表示單鍵或亞芳基，優(yōu)選為單鍵。上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1的第二優(yōu)選方式為下述式所表示的構(gòu)成單元。[化學(xué)式3]式中，R121表示氫原子或碳原子數(shù)為1～4的烷基，L1表示羰基或亞苯基，R122～R128分別獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1～4的烷基。R121優(yōu)選為氫原子或甲基。L1優(yōu)選為羰基。R122～R128優(yōu)選為氫原子。作為上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1的優(yōu)選的具體例子，可例示出下述的構(gòu)成單元。另外，R表示氫原子或甲基。[化學(xué)式4]<<具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)酚性羥基的構(gòu)成單元a1-2>>作為上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)酚性羥基的構(gòu)成單元a1-2，可列舉出羥基苯乙烯系構(gòu)成單元或酚醛清漆系樹脂中的構(gòu)成單元。它們中，來自羥基苯乙烯、或α-甲基羥基苯乙烯的構(gòu)成單元從感度的觀點(diǎn)出發(fā)是優(yōu)選的。此外，作為具有酚性羥基的構(gòu)成單元，日本特開2014-238438號(hào)公報(bào)的段落0065～0073中記載的構(gòu)成單元從感度的觀點(diǎn)出發(fā)也是優(yōu)選的。(構(gòu)成單元a1的優(yōu)選方式)當(dāng)具有上述構(gòu)成單元a1的聚合物實(shí)質(zhì)上不具有下述構(gòu)成單元a2時(shí)，構(gòu)成單元a1在具有上述構(gòu)成單元a1的聚合物中優(yōu)選為20～100摩爾％，更優(yōu)選為30～90摩爾％。當(dāng)具有上述構(gòu)成單元a1的聚合物具有下述構(gòu)成單元a2時(shí)，構(gòu)成單元a1在具有上述構(gòu)成單元a1和構(gòu)成單元a2的聚合物中，從感度的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選為3～70摩爾％，更優(yōu)選為10～60摩爾％。此外，特別是當(dāng)上述構(gòu)成單元a1為具有羧基以縮醛的形式被保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元時(shí)，優(yōu)選為20～50摩爾％。另外，本發(fā)明中，當(dāng)將“構(gòu)成單元”的含量以摩爾比來規(guī)定時(shí)，“構(gòu)成單元”與“單體單元”含義相同。此外，本發(fā)明中，“單體單元”也可以通過高分子反應(yīng)等在聚合后被修飾。以下也同樣。若上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1與上述具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)酚性羥基的構(gòu)成單元a1-2相比，則有顯影較快的特征。因而，在欲快速顯影的情況下，優(yōu)選為具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元a1-1。相反地在欲減慢顯影的情況下，優(yōu)選使用具有被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的保護(hù)酚性羥基的構(gòu)成單元a1-2。<構(gòu)成單元a2>聚合物成分A1優(yōu)選含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物。另外，如上述的條件1～3中所示的那樣，當(dāng)不含有后述的交聯(lián)劑C1時(shí)，至少含有具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1進(jìn)一步包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2、或者含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它的聚合物A1-2是必須的。上述交聯(lián)性基團(tuán)只要為通過加熱處理而引起固化反應(yīng)的基團(tuán)，則沒有特別限定。作為具有優(yōu)選的交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元的方式，可列舉出包含選自由環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基、-NH-CH2-O-R(R表示氫原子或碳原子數(shù)為1～20的烷基)所表示的基團(tuán)、烯屬不飽和基團(tuán)、及封端異氰酸酯基組成的組中的至少一個(gè)基團(tuán)的構(gòu)成單元，優(yōu)選為包含選自由環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基、-NH-CH2-O-R(R表示氫原子或碳原子數(shù)為1～20的烷基)所表示的基團(tuán)、(甲基)丙烯?；?、及封端異氰酸酯基組成的組中的至少一種基團(tuán)的構(gòu)成單元，更優(yōu)選為包含選自由環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基、及-NH-CH2-O-R(R表示氫原子或碳原子數(shù)為1～20的烷基)所表示的基團(tuán)組成的組中的至少一種基團(tuán)的構(gòu)成單元。<<具有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的構(gòu)成單元a2-1>>聚合物成分A1優(yōu)選含有包含具有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的構(gòu)成單元a2-1的聚合物。另外，3元環(huán)的環(huán)狀醚基也稱為環(huán)氧基，4元環(huán)的環(huán)狀醚基也稱為氧雜環(huán)丁烷基。上述具有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的構(gòu)成單元a2-1只要在一個(gè)構(gòu)成單元中具有至少一個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基即可，也可以具有一個(gè)以上的環(huán)氧基及一個(gè)以上的氧雜環(huán)丁烷基、兩個(gè)以上的環(huán)氧基、或兩個(gè)以上的氧雜環(huán)丁烷基，沒有特別限定，但優(yōu)選具有合計(jì)1個(gè)～3個(gè)環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基，更優(yōu)選具有合計(jì)1個(gè)或2個(gè)環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基，進(jìn)一步優(yōu)選具有一個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基。作為為了形成具有環(huán)氧基的構(gòu)成單元而使用的自由基聚合性單體的具體例子，可列舉出例如丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環(huán)氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環(huán)氧丁酯、丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、甲基丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、α-乙基丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、日本專利第4168443號(hào)公報(bào)的段落0031～0035中記載的含有脂環(huán)式環(huán)氧骨架的化合物等，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。作為為了形成具有氧雜環(huán)丁烷基的構(gòu)成單元而使用的自由基聚合性單體的具體例子，可列舉出例如日本特開2001-330953號(hào)公報(bào)的段落0011～0016中記載的具有氧雜環(huán)丁烷基的(甲基)丙烯酸酯等，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。作為為了形成上述具有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的構(gòu)成單元a2-1而使用的自由基聚合性單體的具體例子，優(yōu)選為含有甲基丙烯酸酯結(jié)構(gòu)的單體、含有丙烯酸酯結(jié)構(gòu)的單體。它們中優(yōu)選的是甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲酯、及甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲酯。這些構(gòu)成單元可以單獨(dú)使用一種或?qū)煞N以上組合使用。作為具有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的構(gòu)成單元a2-1的優(yōu)選的具體例子，可例示出下述的構(gòu)成單元。另外，R表示氫原子或甲基。[化學(xué)式5]<<具有烯屬不飽和基團(tuán)的構(gòu)成單元a2-2>>作為上述具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它例子，可列舉出具有烯屬不飽和基團(tuán)的構(gòu)成單元a2-2。作為上述具有烯屬不飽和基團(tuán)的構(gòu)成單元a2-2，優(yōu)選為在側(cè)鏈上具有烯屬不飽和基團(tuán)的構(gòu)成單元，更優(yōu)選為在末端具有烯屬不飽和基團(tuán)、且具有碳原子數(shù)為3～16的側(cè)鏈的構(gòu)成單元。此外，關(guān)于具有烯屬不飽和基團(tuán)的構(gòu)成單元a2-2，可以參考日本特開2011-215580號(hào)公報(bào)的段落0072～0090的記載、及日本特開2008-256974號(hào)公報(bào)的段落0013～0031的記載，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。<<具有-NH-CH2-O-R(R表示氫原子或碳原子數(shù)為1～20的烷基)所表示的基團(tuán)的構(gòu)成單元a2-3>>作為上述具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它例子，也優(yōu)選為具有-NH-CH2-O-R(R表示氫原子或碳原子數(shù)為1～20的烷基)所表示的基團(tuán)的構(gòu)成單元a2-3。通過含有構(gòu)成單元a2-3，可以通過緩慢的加熱處理來引起固化反應(yīng)，可以獲得各種特性優(yōu)異的固化膜。其中，R優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～20的烷基，更優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～9的烷基，進(jìn)一步優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～4的烷基。此外，烷基可以為直鏈、支鏈或環(huán)狀的烷基的任一種，但優(yōu)選為直鏈或支鏈的烷基。構(gòu)成單元a2-3更優(yōu)選為具有下述式a2-30所表示的基團(tuán)的構(gòu)成單元。[化學(xué)式6]式a2-30中，R31表示氫原子或甲基，R32表示碳原子數(shù)為1～20的烷基。R32優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～9的烷基，進(jìn)一步優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～4的烷基。此外，烷基可以是直鏈、支鏈或環(huán)狀的烷基的任一種，但優(yōu)選為直鏈或支鏈的烷基。作為R32的具體例子，可列舉出甲基、乙基、正丁基、異丁基、環(huán)己基、及正己基。其中，優(yōu)選為異丁基、正丁基、甲基。(構(gòu)成單元a2的優(yōu)選方式)在具有上述構(gòu)成單元a2的聚合物不具有構(gòu)成單元a1的情況下，構(gòu)成單元a2在含有上述構(gòu)成單元a2的聚合物中優(yōu)選為5～90摩爾％，更優(yōu)選為20～80摩爾％。在具有上述構(gòu)成單元a2的聚合物具有上述構(gòu)成單元a1的情況下，構(gòu)成單元a2的含量在具有構(gòu)成單元a1和構(gòu)成單元a2的聚合物中優(yōu)選為1～70摩爾％，更優(yōu)選為3～60摩爾％。本發(fā)明中，進(jìn)而，無論為哪一方式，在聚合物成分A1的全部構(gòu)成單元中優(yōu)選含有0～70摩爾％的構(gòu)成單元a2，更優(yōu)選含有0～50摩爾％。另外，如上所述，當(dāng)構(gòu)成單元a2的含量為0摩爾％時(shí)，必須含有后述的交聯(lián)劑C1。若為上述的數(shù)值的范圍內(nèi)，則將由樹脂組合物得到的固化膜的通過后工序所層疊的無機(jī)膜上的蝕刻抗蝕劑剝離后的固化膜表面的蝕刻抗蝕劑殘?jiān)?，變得良好?lt;s1中所示的構(gòu)成單元>聚合物成分A1含有包含下述s1中所示的構(gòu)成單元(以下，也稱為“構(gòu)成單元s1”)的聚合物。另外，如上述的條件4及5中所示的那樣，構(gòu)成單元s1可以是(i)至少含有具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1進(jìn)一步具有構(gòu)成單元s1的方式、(ii)含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它的聚合物A1-2進(jìn)一步具有構(gòu)成單元s1的方式、及(iii)其它的聚合物A1-3具有構(gòu)成單元s1的方式中的任一種。s1：具有選自由氟取代烴基、硅氧烷骨架及碳原子數(shù)為10～30的烷基組成的組中的至少一個(gè)部分結(jié)構(gòu)(以下，也稱為“偏向存在性基團(tuán)”)的構(gòu)成單元、以及具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元<<具有氟取代烴基的部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元>>氟取代烴基只要是通過至少一個(gè)氟原子取代而成的烴基即可，可列舉出將烷基或亞烷基(以下，本段落中簡(jiǎn)記為“烷基等”)中的至少一個(gè)氫原子取代為氟原子的烷基等，更優(yōu)選為將烷基等的全部氫原子取代為氟原子的烷基等。從偏向存在性的觀點(diǎn)出發(fā)，這樣的氟取代烴基優(yōu)選為下述通式I所表示的基團(tuán)。[化學(xué)式7](通式I)通式I中，R2表示氫原子或碳原子數(shù)為1～4個(gè)的烷基，*表示向聚合物鏈的連結(jié)部位。X表示單鍵或2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)，m表示1～3的整數(shù)，n表示1以上的整數(shù)，r表示0或1～2的整數(shù)。另外，當(dāng)m為1時(shí)，多個(gè)R2分別可以相同，也可以不同。通式I中的m表示1～3的整數(shù)，優(yōu)選為1或2。通式I中的n表示1以上的整數(shù)，優(yōu)選為1～10的整數(shù)，更優(yōu)選為1～4的整數(shù)，特別優(yōu)選為1或2。通式I中的r表示0或1～2的整數(shù)，優(yōu)選為1或2，更優(yōu)選為2。此外，*所表示的向聚合物鏈的連結(jié)部位可以與上述的聚合物A1-1等聚合物的主鏈直接鍵合，也可以介由聚氧亞烷基、亞烷基、酯基、氨基甲酸酯基、可包含雜原子的環(huán)狀亞烷基、聚(己內(nèi)酯)、氨基等2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)而鍵合。優(yōu)選介由聚氧亞烷基而鍵合。作為通式I中R2所表示的碳原子數(shù)為1～4個(gè)的烷基，可列舉出甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基等，優(yōu)選為氫原子、或甲基，更優(yōu)選為氫原子。通式I中，當(dāng)X為單鍵時(shí)，意味著聚合物主鏈與R2所鍵合的碳原子直接連結(jié)。此外，在X為2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)的情況下，作為該連結(jié)基團(tuán)，可列舉出-O-、-S-、-N(R4)-、-CO-等。它們中，更優(yōu)選為-O-。其中，R4表示氫原子或碳原子數(shù)為1～4個(gè)的烷基。作為烷基，可列舉出甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基等，優(yōu)選為氫原子、甲基。作為將氟取代烴基導(dǎo)入聚合物中的方法，可列舉出：通過高分子反應(yīng)將氟取代烴基導(dǎo)入聚合物中的方法；將具有氟取代烴基的單體(以下，稱為“含有氟取代烴基的單體”)進(jìn)行共聚而在聚合物中導(dǎo)入具有氟取代烴基的構(gòu)成單元的方法等。作為將含有氟取代烴基的單體進(jìn)行共聚而在聚合物中導(dǎo)入具有氟取代烴基的構(gòu)成單元的方法中的含有氟取代烴基的單體，下述通式II所表示的單體可作為優(yōu)選的單體列舉出。[化學(xué)式8](通式II)通式II中，R1表示氫原子、鹵素原子、可具有取代基的甲基、或可具有取代基的乙基。此外，R2、X、m、n及r均與通式I中的R2、X、m、n及r含義相同，優(yōu)選的例子也相同。另外，作為通式II中R1所表示的鹵素原子，可列舉出例如氟原子、氯原子、溴原子。另外，關(guān)于這樣的含有氟取代烴基的單體的制造法，例如在“フッ素化合物の合成と機(jī)能”(監(jiān)修：石川延男、發(fā)行：株式會(huì)社シーエムシー、1987)的117～118頁、或“ChemistryofOrganicFluorineCompoundsII”(Monograph187，EdbyMilosHudlickyandAttilaE.Pavlath，AmericanChemicalSociety1995)的747～752頁中有記載。此外，作為通式II所表示的單體的具體例子，可列舉出下述式(IIa)所表示的甲基丙烯酸四氟異丙基酯、下述式(IIb)所表示的甲基丙烯酸六氟異丙基酯等。此外，作為其它具體例子，可列舉出日本特開2010-18728號(hào)公報(bào)段落號(hào)〔0058〕～〔0061〕中記載的化合物。它們中優(yōu)選為在聚氧亞烷基上鍵合有氟取代烴基的結(jié)構(gòu)。[化學(xué)式9]<<具有硅氧烷骨架的部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元>>硅氧烷骨架只要是具有“-Si-O-Si-”，則沒有特別限制，優(yōu)選包含聚氧亞烷基。本發(fā)明中，從偏向存在性的觀點(diǎn)出發(fā)，硅氧烷骨架優(yōu)選為將具有(甲基)丙烯酰氧基和烷氧基甲硅烷基的化合物進(jìn)行共聚，向聚合物中導(dǎo)入具有硅氧烷骨架的部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元。其中，作為烷氧基甲硅烷基，優(yōu)選為例如下述式(X)所表示的基團(tuán)。[化學(xué)式10]上述式(X)中，R3～R5分別獨(dú)立地表示氫原子、羥基、鹵素原子、烷基、或烷氧基，至少一個(gè)為烷氧基。*表示鍵合位置。上述式(X)中，R3～R5中的至少一個(gè)為烷氧基，作為烷氧基，優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～15的烷氧基，更優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～8的烷氧基，進(jìn)一步優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～4的烷氧基，特別優(yōu)選為乙氧基或甲氧基。本發(fā)明中，優(yōu)選R3～R5中的兩個(gè)為烷氧基及一個(gè)為烷基的情況、或三個(gè)為烷氧基的情況。其中，更優(yōu)選為三個(gè)為烷氧基的方式、即三烷氧基甲硅烷基。作為具有這樣的烷氧基甲硅烷基和(甲基)丙烯酰氧基的化合物，具體而言，可列舉出例如3-(甲基)丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷等。此外，本發(fā)明中，從偏向存在性的觀點(diǎn)出發(fā)，硅氧烷骨架優(yōu)選將下述結(jié)構(gòu)式(A)所表示的化合物(以下，也稱為“特定硅氧烷化合物”)進(jìn)行聚合而將硅氧烷骨架導(dǎo)入聚合物中。[化學(xué)式11]上述結(jié)構(gòu)式(A)中，R7表示可具有羥基、胺基、鹵素原子等取代基的碳原子數(shù)為2～6的直鏈或支鏈的亞烷基、或下述結(jié)構(gòu)式(B)所表示的2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)。[化學(xué)式12]上述結(jié)構(gòu)式(B)中，R4表示氫原子、甲基、乙基。n1、n2、及n3分別獨(dú)立地為0～100的整數(shù)。其中，R4在結(jié)構(gòu)式(B)中存在兩個(gè)以上，但分別可以不同，此外，也可以相同。上述結(jié)構(gòu)式(A)中，x1、x2、及x3為它們的合計(jì)滿足1～100的整數(shù)。此外，y1為1～30的整數(shù)。上述結(jié)構(gòu)式(A)中，X2為單鍵、或下述結(jié)構(gòu)式(C)所表示的2價(jià)的基團(tuán)。[化學(xué)式13]上述結(jié)構(gòu)式(C)中，R8表示可具有羥基、胺基、鹵素原子等取代基的碳原子數(shù)為1～6的直鏈或支鏈的亞烷基，Q1及Q2表示氧原子、硫原子、或-NRB-，Q1、Q2分別可以不同，此外，也可以相同。RB表示氫原子、或碳原子數(shù)為1～4的烷基。上述結(jié)構(gòu)式(C)中，Q2與上述結(jié)構(gòu)式(A)中的R7鍵合。上述結(jié)構(gòu)式(A)中，Y2表示下述結(jié)構(gòu)式(D)～下述結(jié)構(gòu)式(F)所表示的1價(jià)的基團(tuán)。[化學(xué)式14]上述結(jié)構(gòu)式(D)～(F)中，R5表示氫原子、或碳原子數(shù)為1～6的直鏈狀或支鏈狀的烷基。上述結(jié)構(gòu)式(A)中，Z1、Z2、Z3分別獨(dú)立地表示下述結(jié)構(gòu)式(G)所表示的1價(jià)的基團(tuán)。[化學(xué)式15]上述結(jié)構(gòu)式(G)中，R6表示碳原子數(shù)為1～4的未取代的烷基，y2表示1～100的整數(shù)，優(yōu)選為1～50的整數(shù)，更優(yōu)選為1～20的整數(shù)。此外，作為硅氧烷骨架，日本特開2010-18728號(hào)公報(bào)的段落號(hào)〔0092〕～〔0094〕中記載的結(jié)構(gòu)可作為上述的式(A)的具體例子列舉出，但并不限定于它們。它們中，優(yōu)選為硅氧烷結(jié)構(gòu)介由聚氧亞烷基與聚合物鍵合的結(jié)構(gòu)。<<具有碳原子數(shù)為10～30的烷基的部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元>>碳原子數(shù)為10～30的烷基也可以包含支鏈結(jié)構(gòu)或環(huán)狀結(jié)構(gòu)，但優(yōu)選直鏈結(jié)構(gòu)的部分的碳原子數(shù)在10～30的范圍內(nèi)，更優(yōu)選全部為直鏈結(jié)構(gòu)。此外，烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為10～20。具體而言，優(yōu)選在聚合物的側(cè)鏈上具有下述通式(a3-1)所表示的基團(tuán)。[化學(xué)式16]通式(a3-1)中，na3表示10～30的整數(shù)，*表示與聚合物的主鏈或側(cè)鏈連結(jié)的位置。na3優(yōu)選為10～20的整數(shù)。對(duì)于將上述通式(a3-1)的結(jié)構(gòu)導(dǎo)入聚合物的主鏈或側(cè)鏈的方法沒有特別限定，但例如只要在合成時(shí)適當(dāng)選擇并適用具有(a3-1)的結(jié)構(gòu)的單體，則能夠在所得到的聚合物的重復(fù)單元中導(dǎo)入(a3-1)的結(jié)構(gòu)。此外，具有上述通式(a3-1)的結(jié)構(gòu)的單體可以使用市售的化合物，但也可以對(duì)不具有(a3-1)的結(jié)構(gòu)的市售的單體適當(dāng)導(dǎo)入(a3-1)中包含的所期望的結(jié)構(gòu)來使用。對(duì)于在市售的單體中導(dǎo)入(a3-1)的結(jié)構(gòu)的方法沒有限定，只要適當(dāng)適用公知的方法即可。具有上述通式(a3-1)的結(jié)構(gòu)的單體可以根據(jù)聚合物的主鏈結(jié)構(gòu)適當(dāng)選擇，例如若是在主鏈上具有(甲基)丙烯酸結(jié)構(gòu)的聚合物，則優(yōu)選使用下述通式(a3-2)所表示的單體。[化學(xué)式17]上述通式(a3-2)中，R32表示氫原子、甲基、乙基、或鹵素原子，X31表示2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)，R33表示單鍵、或亞烷基氧基。此外，na3與上述通式(a3-1)含義相同，優(yōu)選的范圍也相同。通式(a3-2)中，R32為氫原子、甲基、乙基、或鹵素原子，更優(yōu)選為氫原子、或甲基，進(jìn)一步優(yōu)選為甲基。通式(a3-2)中，作為X31的2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)，可列舉出-O-、-S-、-N(R4)-等。它們中更優(yōu)選為-O-。其中，R4表示氫原子、或碳原子數(shù)為1～4個(gè)的烷基。作為烷基，可以是直鏈結(jié)構(gòu)，也可以是支鏈結(jié)構(gòu)，可列舉出甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基等，優(yōu)選為氫原子、甲基。此外，作為R33的亞烷基氧基，優(yōu)選碳原子數(shù)為1～4。亞烷基氧基也可以具有支鏈結(jié)構(gòu)。此外，可以具有取代基，也可以是未取代。作為也可以具有的取代基，可列舉出鹵素原子等。作為亞烷基氧基的具體例子，可例示出亞甲基氧基、亞乙基氧基、亞丙基氧基、亞丁基氧基等。它們中，R33優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～4的未取代的直鏈亞烷基氧基、或單鍵，更優(yōu)選為單鍵。通過使用上述通式(a3―2)所表示的單體，可以獲得具有下述通式(U-a3-1)所表示的重復(fù)單元的聚合物。這樣的聚合物具有通式(U-a3-1)所表示的重復(fù)單元為優(yōu)選的形態(tài)之一。[化學(xué)式18]上述通式(U-a3-1)中，na3與上述通式(a3-1)含義相同，優(yōu)選的范圍也相同，R32、X31、及R33與上述通式(a3-2)含義相同，優(yōu)選的范圍也相同。以下，示出通式(a3-2)所表示的單體的具體例子。但是，本發(fā)明并不限定于它們。[化學(xué)式19]<<具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元>>聚合物成分A1含有上述的包含具有選自由氟取代烴基、硅氧烷骨架及碳原子數(shù)為10～30的烷基組成的組中的至少一個(gè)部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元、以及具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物。其中，光取向性基團(tuán)是指通過光二聚化反應(yīng)或光異構(gòu)化反應(yīng)而賦予取向性的光反應(yīng)性基團(tuán)。此外，作為通過光二聚化反應(yīng)而賦予取向性的基團(tuán)，可列舉出例如由選自由馬來酰亞胺衍生物、肉桂酸衍生物及香豆素衍生物組成的組中的至少一種衍生物導(dǎo)入的基團(tuán)等，具體而言，可適當(dāng)列舉出肉桂酸酯基、查耳酮基。另外，作為肉桂酸酯基、及查耳酮基，例如可以導(dǎo)入以下的結(jié)構(gòu)(下述式中，*表示向聚合物鏈的連結(jié)部位，R表示氫原子或1價(jià)的有機(jī)基團(tuán))，此外，*所表示的向聚合物鏈的連結(jié)部位可以與上述的聚合物A1-1等聚合物的主鏈直接鍵合，也可以介由2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)而鍵合。作為R所表示的1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，優(yōu)選為烷基或芳基。此外，R所表示的1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)的碳原子數(shù)優(yōu)選為1～10，更優(yōu)選為1～7。[化學(xué)式20]另一方面，作為通過光的作用進(jìn)行異構(gòu)化的反應(yīng)性基團(tuán)，具體而言，可適當(dāng)列舉出由選自由例如偶氮苯化合物、芪化合物及螺吡喃化合物組成的組中的至少一種化合物的骨架構(gòu)成的基團(tuán)等。它們中，從圖案化曝光與取向曝光的差異表現(xiàn)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為通過以更短波光進(jìn)行反應(yīng)的光二聚化反應(yīng)而賦予取向性的基團(tuán)，更優(yōu)選為肉桂酸酯基或查耳酮基。另外，其中，所謂圖案化曝光與后述的本發(fā)明的固化物的制造方法中的曝光工序含義相同，所謂取向曝光，為樹脂組合物被涂布到基板上后，為了賦予取向性而進(jìn)行的曝光，與后述的本發(fā)明的固化物的制造方法中的光取向處理含義相同。關(guān)于含有具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物，其主鏈骨架沒有特別限定，但從側(cè)鏈的分子設(shè)計(jì)變得多樣、利用烯屬不飽和化合物的自由基聚合反應(yīng)的主鏈形成簡(jiǎn)便的理由出發(fā)，優(yōu)選為具有下述通式(III)所表示的重復(fù)單元的聚合物。[化學(xué)式21](通式III)(通式(III)中，R1表示氫原子或烷基。X表示亞芳基、-(C＝O)-O-、或-(C＝O)-NR-(R表示氫原子或碳原子數(shù)為1～4個(gè)的烷基)。L表示單鍵或2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)，P表示光取向性基團(tuán))其中，通式(III)中，R1表示氫原子或烷基，作為烷基，優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～4的烷基(例如，甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基等)。R1優(yōu)選為氫原子或甲基。此外，通式(III)中，L表示單鍵或2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)，作為2價(jià)的連結(jié)基團(tuán)，優(yōu)選為-O-、-S-、亞烷基、亞芳基、或?qū)⑺鼈兌鄠€(gè)組合而成的基團(tuán)。作為L(zhǎng)所表示的亞烷基，可以是直鏈、支鏈、或環(huán)狀結(jié)構(gòu)，但優(yōu)選為直鏈結(jié)構(gòu)。L所表示的亞烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1～10，更優(yōu)選為1～6，進(jìn)一步優(yōu)選為2～4。此外，作為L(zhǎng)所表示的亞芳基，可列舉出亞苯基、甲苯撐基、苯撐二甲基等，優(yōu)選為亞苯基。通式(III)中，P表示光取向性基團(tuán)，作為其具體例子，可適當(dāng)列舉出查耳酮基、肉桂酸酯基、芪基、馬來酰亞胺基、偶氮芐基。其中，更優(yōu)選為查耳酮基、肉桂酸酯基。此外，P所表示的光取向性基團(tuán)只要不失去光取向性，則也可以具有取代基。作為具體的取代基，可列舉出例如鹵代基、烷基、芳基等，優(yōu)選為烷基或芳基。上述的烷基或芳基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1～10，更優(yōu)選為1～7。以下示出具有通式(III)所表示的重復(fù)單元的聚合物的優(yōu)選的具體例子，但本發(fā)明并不限定于它們。[化學(xué)式22][化學(xué)式23][化學(xué)式24][化學(xué)式25][化學(xué)式26][化學(xué)式27][化學(xué)式28][化學(xué)式29]具有通式(I)所表示的重復(fù)單元的聚合物可以通過(a)使對(duì)應(yīng)的單體聚合而直接導(dǎo)入光反應(yīng)性基團(tuán)的方法來合成，也可以通過(b)在將具有任意的官能團(tuán)的單體聚合而得到的聚合物中通過高分子反應(yīng)而導(dǎo)入光反應(yīng)性基團(tuán)的方法來合成。此外，也可以將(a)及(b)的方法組合來合成。其中，作為在上述的(a)及(b)的方法中能夠利用的聚合反應(yīng)，可列舉出自由基聚合、陽離子聚合及陰離子聚合等。此外，具有通式(I)所表示的重復(fù)單元的聚合物可以是由多種通式(I)所表示的重復(fù)單元構(gòu)成的共聚物，此外，也可以是包含通式(I)以外的重復(fù)單元(例如不包含烯屬不飽和基團(tuán)的重復(fù)單元)的共聚物。(構(gòu)成單元s1的優(yōu)選方式)上述構(gòu)成單元s1相對(duì)于全部聚合物成分的構(gòu)成單元優(yōu)選為0.01～10摩爾％，更優(yōu)選為0.1～5摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1～3摩爾％，特別優(yōu)選為0.1～2摩爾％，最優(yōu)選為0.5～2摩爾％。當(dāng)具有上述構(gòu)成單元s1的聚合物具有構(gòu)成單元a1及構(gòu)成單元a2時(shí)，構(gòu)成單元s1的含量相對(duì)于上述聚合物的全部構(gòu)成單元優(yōu)選為20～90摩爾％，更優(yōu)選為20～80摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為20～70摩爾％。當(dāng)具有上述構(gòu)成單元s1的聚合物僅具有構(gòu)成單元a1及構(gòu)成單元a2中的任一者時(shí)，構(gòu)成單元s1的含量相對(duì)于上述聚合物的全部構(gòu)成單元優(yōu)選為30～90摩爾％，更優(yōu)選為30～80摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為30～70摩爾％。當(dāng)具有上述構(gòu)成單元s1的聚合物不具有構(gòu)成單元a1及構(gòu)成單元a2中的任一者時(shí)，構(gòu)成單元s1的含量相對(duì)于上述聚合物的全部構(gòu)成單元優(yōu)選為40～95摩爾％，更優(yōu)選為40～90摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為40～80摩爾％。<其它構(gòu)成單元>在第1方式中，聚合物成分A1也可以含有除了上述構(gòu)成單元a1、構(gòu)成單元a2及構(gòu)成單元s1以外還含有具有酸基的構(gòu)成單元a3、或它們以外的構(gòu)成單元a4的聚合物。<<構(gòu)成單元a3>>從不僅變得在堿性的顯影液中容易溶解、顯影性變得良好，而且感度優(yōu)異、進(jìn)而顯影后的固化物的細(xì)線密合性也優(yōu)異的理由出發(fā)，聚合物成分A1優(yōu)選含有包含具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物。本發(fā)明中的酸基是指pKa小于11的質(zhì)子解離性基團(tuán)。酸基通常使用可形成酸基的單體，作為包含酸基的構(gòu)成單元而組裝入聚合物中。通過在聚合物中包含這樣的包含酸基的構(gòu)成單元，存在相對(duì)于堿性的顯影液變得容易溶解的傾向。作為本發(fā)明中使用的酸基，可例示出羧酸基、磺酰胺基、膦酸基、磺酸基、酚性羥基、磺酰胺基、磺?；鶃啺坊?、以及這些酸基的酸酐基、及將這些酸基中和并制成鹽結(jié)構(gòu)的基團(tuán)等，優(yōu)選為羧酸基和/或酚性羥基。作為上述鹽，沒有特別限制，但可優(yōu)選例示出堿金屬鹽、堿土類金屬鹽、及有機(jī)銨鹽。本發(fā)明中使用的包含酸基的構(gòu)成單元更優(yōu)選為來自苯乙烯的構(gòu)成單元、或來自乙烯基化合物的構(gòu)成單元、來自(甲基)丙烯酸和/或其酯的構(gòu)成單元。例如可以使用日本特開2012-88459號(hào)公報(bào)的段落0021～0023及段落0029～0044記載的化合物，該內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。其中，優(yōu)選為來自對(duì)羥基苯乙烯、(甲基)丙烯酸、馬來酸、馬來酸酐的構(gòu)成單元。作為具有酸基的構(gòu)成單元a3，從感度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為具有羧基的構(gòu)成單元、或具有酚性羥基的構(gòu)成單元，更優(yōu)選為具有羧基的構(gòu)成單元。作為具有酸基的構(gòu)成單元a3，具體而言，可列舉出上述的來自分子中具有至少一個(gè)羧基的不飽和羧酸等的構(gòu)成單元a1-1-1、同時(shí)具有烯屬不飽和基團(tuán)和來自酸酐的結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元a1-1-2、具有酚性羥基的構(gòu)成單元a1-2-1，優(yōu)選的方式也相同。其中，作為具有酸基的構(gòu)成單元a3，優(yōu)選為來自選自由甲基丙烯酸、丙烯酸及對(duì)羥基苯乙烯組成的組中的化合物的構(gòu)成單元(下述式a3-1～式a3-3中的任一者所表示的構(gòu)成單元)，更優(yōu)選為來自甲基丙烯酸的構(gòu)成單元(下述式a3-1所表示的構(gòu)成單元)或來自丙烯酸的構(gòu)成單元(下述式a3-2所表示的構(gòu)成單元)，進(jìn)一步優(yōu)選為來自甲基丙烯酸的構(gòu)成單元(下述式a3-1所表示的構(gòu)成單元)。[化學(xué)式30](構(gòu)成單元a3的優(yōu)選方式)包含酸基的構(gòu)成單元a3相對(duì)于全部聚合物成分的構(gòu)成單元優(yōu)選為1～80摩爾％，更優(yōu)選為1～50摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為5～40摩爾％，特別優(yōu)選為5～30摩爾％，最優(yōu)選為5～20摩爾％。當(dāng)具有上述構(gòu)成單元a3的聚合物具有構(gòu)成單元a1及構(gòu)成單元a2時(shí)，構(gòu)成單元a3的含量相對(duì)于上述聚合物的全部構(gòu)成單元優(yōu)選為1～30摩爾％，更優(yōu)選為3～20摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為5～15摩爾％。當(dāng)具有上述構(gòu)成單元a3的聚合物僅具有構(gòu)成單元a1及構(gòu)成單元a2中的任一種時(shí)，構(gòu)成單元a3的含量相對(duì)于上述聚合物的全部構(gòu)成單元優(yōu)選為1～50摩爾％，更優(yōu)選為5～45摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為10～40摩爾％。當(dāng)具有上述構(gòu)成單元a3的聚合物不具有構(gòu)成單元a1及構(gòu)成單元a2中的任一者時(shí)，構(gòu)成單元a3的含量相對(duì)于上述聚合物的全部構(gòu)成單元優(yōu)選為1～50摩爾％，更優(yōu)選為2～40摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選為3～30摩爾％。<<構(gòu)成單元a4>>作為成為除上述的構(gòu)成單元a1、構(gòu)成單元a2、構(gòu)成單元s1及構(gòu)成單元a3以外的構(gòu)成單元a4的單體，沒有特別限制，可列舉出例如苯乙烯類、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)狀烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、二環(huán)不飽和化合物類、馬來酰亞胺化合物類、不飽和芳香族化合物。形成其它構(gòu)成單元a4的單體可以單獨(dú)使用一種或?qū)煞N以上組合使用。關(guān)于其它構(gòu)成單元a4，具體而言，可列舉出利用苯乙烯、甲基苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、甲氧基苯乙烯、乙氧基苯乙烯、氯苯乙烯、乙烯基苯甲酸甲酯、乙烯基苯甲酸乙酯、4-羥基苯甲酸(3-甲基丙烯酰氧基丙基)酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、丙烯腈、乙二醇單乙酰乙酸酯單(甲基)丙烯酸酯等的構(gòu)成單元。此外，可列舉出日本特開2004-264623號(hào)公報(bào)的段落0021～0024中記載的化合物。此外，作為其它構(gòu)成單元a4，來自苯乙烯類、或具有脂肪族環(huán)式骨架的單體的構(gòu)成單元從電特性的觀點(diǎn)出發(fā)是優(yōu)選的。具體而言，可列舉出苯乙烯、甲基苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸芐酯等。進(jìn)而此外，作為其它構(gòu)成單元a4，來自(甲基)丙烯酸烷基酯的構(gòu)成單元從密合性的觀點(diǎn)出發(fā)是優(yōu)選的。具體而言，可列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯等，更優(yōu)選為(甲基)丙烯酸甲酯。構(gòu)成聚合物的全部構(gòu)成單元中，上述的構(gòu)成單元a4的含有率優(yōu)選為60摩爾％以下，更優(yōu)選為50摩爾％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為40摩爾％以下。作為下限值，也可以為0摩爾％，但例如優(yōu)選設(shè)定為1摩爾％以上，更優(yōu)選設(shè)定為5摩爾％以上。若為上述的數(shù)值的范圍內(nèi)，則由樹脂組合物得到的固化膜的各種特性變得良好。<聚合物的組合>具有上述的構(gòu)成單元a1、構(gòu)成單元a2及構(gòu)成單元s1以及構(gòu)成單元a3及構(gòu)成單元a4的聚合物只要是滿足上述的條件1～5的聚合物，則構(gòu)成單元的組合、或聚合物的數(shù)目沒有特別限定。另外，如上述的條件1～3中所示的那樣，當(dāng)不含有后述的交聯(lián)劑C1時(shí)，至少包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1進(jìn)一步含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2、或者含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它的聚合物A1-2是必須的。因此，作為聚合物成分A1，也可以是成為以下聚合物的方式：例如僅含有包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1，且該聚合物A1-1包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2、構(gòu)成單元s1、及具有酸基的構(gòu)成單元a3全部。此外，作為聚合物成分A1，也可以是成為以下聚合物的方式：含有包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1，同時(shí)含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它的聚合物A1-2，且該聚合物A1-2包含構(gòu)成單元s1、及具有酸基的構(gòu)成單元a3。此外，作為聚合物成分A1，也可以是以下方式：含有包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1、包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它的聚合物A1-2、和包含構(gòu)成單元s1的其它的聚合物A1-3。此外，作為樹脂組合物含有后述的交聯(lián)劑C1時(shí)，作為聚合物成分A1，也可以是含有包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A1-1和包含構(gòu)成單元s1的其它的聚合物A1-3的方式。本發(fā)明的第1方式中，作為聚合物成分A1，也可以包含僅具有上述的構(gòu)成單元a3和構(gòu)成單元a4的聚合物。作為這樣的聚合物，優(yōu)選在側(cè)鏈上具有羧基的樹脂?？闪信e出例如在日本特開昭59-44615號(hào)、日本特公昭54-34327號(hào)、日本特公昭58-12577號(hào)、日本特公昭54-25957號(hào)、日本特開昭59-53836號(hào)、日本特開昭59-71048號(hào)的各公報(bào)中記載那樣的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、馬來酸共聚物、部分酯化馬來酸共聚物等、以及在側(cè)鏈上具有羧基的酸性纖維素衍生物、在具有羥基的聚合物上加成酸酐而成的物質(zhì)等，進(jìn)而也可列舉出在側(cè)鏈上具有(甲基)丙烯?；母叻肿泳酆衔镒鳛閮?yōu)選的物質(zhì)。所謂實(shí)質(zhì)上不含有，是指聚合物中的重量比例為1質(zhì)量％以下?？闪信e出例如(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸共聚物、日本特開平7-140654號(hào)公報(bào)中記載的(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體/甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物等。除此以外，還可以使用日本特開平7-207211號(hào)公報(bào)、日本特開平8-259876號(hào)公報(bào)、日本特開平10-300922號(hào)公報(bào)、日本特開平11-140144號(hào)公報(bào)、日本特開平11-174224號(hào)公報(bào)、日本特開2000-56118號(hào)公報(bào)、日本特開2003-233179號(hào)公報(bào)、日本特開2009-52020號(hào)公報(bào)等中記載的公知的高分子化合物，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。這些聚合物可以僅包含一種，也可以包含兩種以上。作為這些聚合物，也可以使用市售的SMA1000P、SMA2000P、SMA3000P、SMA1440F、SMA17352P、SMA2625P、SMA3840F(以上為Sartomer制)、ARUFONUC-3000、ARUFONUC-3510、ARUFONUC-3900、ARUFONUC-3910、ARUFONUC-3920、ARUFONUC-3080(以上為東亞合成株式會(huì)社制)、JONCRYL690、JONCRYL678、JONCRYL67、JONCRYL586(以上為BASF制)等。<分子量>聚合物成分A1中的聚合物的分子量以聚苯乙烯換算重均分子量計(jì)優(yōu)選為1,000～200,000，更優(yōu)選為2,000～50,000，進(jìn)一步優(yōu)選為10,000～20,000的范圍。若為上述的數(shù)值的范圍內(nèi)，則各種特性良好。數(shù)均分子量Mn與重均分子量Mw的比(分散度、Mw/Mn)優(yōu)選為1.0～5.0，更優(yōu)選為1.5～3.5。另外，本發(fā)明中的重均分子量或數(shù)均分子量的測(cè)定優(yōu)選通過凝膠滲透色譜(GPC)法進(jìn)行測(cè)定。本發(fā)明中的利用凝膠滲透色譜法的測(cè)定優(yōu)選使用HLC-8020GPC(東曹株式會(huì)社制)，作為柱使用TSKgelSuperHZM-H、TSKgelSuperHZ4000、TSKgelSuperHZ200(東曹株式會(huì)社制、4.6mmID×15cm)，作為洗脫液使用THF(四氫呋喃)。<調(diào)制方法>對(duì)于聚合物成分A1中的聚合物的合成法，已知有各種方法，但若列舉出一個(gè)例子，則可以通過將包含為了形成上述的各構(gòu)成單元而使用的自由基聚合性單體的自由基聚合性單體混合物在有機(jī)溶劑中使用自由基聚合引發(fā)劑進(jìn)行聚合來合成。此外，也可以通過所謂的高分子反應(yīng)來進(jìn)行合成。<含量>在本發(fā)明的第1方式中，聚合物成分A1的含量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分優(yōu)選為20～95質(zhì)量％，更優(yōu)選為50～95質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為55～95質(zhì)量％。若含量為該范圍，則可獲得固化性良好的有機(jī)膜。此外，在本發(fā)明的第1方式中，具有構(gòu)成單元s1的聚合物的含量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分優(yōu)選為0.1～20質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.1～10質(zhì)量％?！补馑岙a(chǎn)生劑B1〕本發(fā)明的第1方式含有光酸產(chǎn)生劑B1。作為光酸產(chǎn)生劑B1，優(yōu)選為對(duì)波長(zhǎng)為300nm以上、優(yōu)選波長(zhǎng)為300～450nm的活性光線感應(yīng)而產(chǎn)生酸的化合物，但對(duì)于其化學(xué)結(jié)構(gòu)沒有限制。此外，關(guān)于對(duì)波長(zhǎng)為300nm以上的活性光線不直接感應(yīng)的光酸產(chǎn)生劑，只要是通過與敏化劑并用而對(duì)波長(zhǎng)為300nm以上的活性光線感應(yīng)而產(chǎn)生酸的化合物，則也可以與敏化劑組合而優(yōu)選使用。作為本發(fā)明中使用的光酸產(chǎn)生劑，優(yōu)選為產(chǎn)生pKa為4以下的酸的光酸產(chǎn)生劑，更優(yōu)選為產(chǎn)生pKa為3以下的酸的光酸產(chǎn)生劑，最優(yōu)選為產(chǎn)生pKa為2以下的酸的光酸產(chǎn)生劑。另外，本發(fā)明中，pKa基本是指25℃的水中的pKa。在水中無法測(cè)定的pKa是指變更到適于測(cè)定的溶劑中測(cè)定得到的pKa。具體而言，可以參考化學(xué)便覽等中記載的pKa。作為pKa為3以下的酸，優(yōu)選為磺酸或膦酸，更優(yōu)選為磺酸。作為光酸產(chǎn)生劑B1的例子，可列舉出鎓鹽化合物、三氯甲基-s-三嗪類、锍鹽、碘鎓鹽、季銨鹽類、重氮甲烷化合物、酰亞胺磺酸酯化合物、及肟磺酸酯化合物等。它們中，優(yōu)選鎓鹽化合物、酰亞胺磺酸酯化合物、肟磺酸酯化合物，特別優(yōu)選鎓鹽化合物、肟磺酸酯化合物。光酸產(chǎn)生劑可以單獨(dú)使用一種或?qū)煞N以上組合使用。作為三氯甲基-s-三嗪類、二芳基碘鎓鹽類、三芳基锍鹽類、季銨鹽類、及重氮甲烷化合物的具體例子，可例示出日本特開2011-221494號(hào)公報(bào)的段落號(hào)0083～0088中記載的化合物、或日本特開2011-105645號(hào)公報(bào)的段落號(hào)0013～0049中記載的化合物，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。作為酰亞胺磺酸酯化合物的具體例子，可例示出WO2011/087011號(hào)公報(bào)的段落號(hào)0065～0075中記載的化合物，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。作為鎓鹽，可優(yōu)選例示出二芳基碘鎓鹽類、三芳基锍鹽類。作為二芳基碘鎓鹽類，優(yōu)選可列舉出二苯基碘鎓三氟乙酸鹽、二苯基碘鎓三氟甲烷磺酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘鎓三氟甲烷磺酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘鎓三氟乙酸鹽、苯基-4-(2’-羥基-1’-十四烷氧基)苯基碘鎓三氟甲烷磺酸鹽、4-(2’-羥基-1’-十四烷氧基)苯基碘鎓六氟銻酸鹽、苯基-4-(2’-羥基-1’-十四烷氧基)苯基碘鎓-對(duì)甲苯磺酸鹽。作為三芳基锍鹽類，優(yōu)選可列舉出三苯基锍三氟甲烷磺酸鹽、三苯基锍三氟乙酸鹽、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟甲烷磺酸鹽、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟乙酸鹽、4-苯基硫代苯基二苯基锍三氟甲烷磺酸鹽、或4-苯基硫代苯基二苯基锍三氟乙酸鹽。作為肟磺酸酯化合物、即具有肟磺酸酯結(jié)構(gòu)的化合物，可優(yōu)選例示出含有下述通式(B1-1)所表示的肟磺酸酯結(jié)構(gòu)的化合物。通式(B1-1)[化學(xué)式31]通式(B1-1)中，R21表示烷基或芳基。波浪線表示與其它基團(tuán)的鍵合。通式(B1-1)中，所有基團(tuán)均可以被取代，R21中的烷基可以是直鏈狀，也可以是支鏈狀，還可以是環(huán)狀。所允許的取代基在以下進(jìn)行說明。作為R21的烷基，優(yōu)選為碳原子數(shù)為1～10的直鏈或支鏈的烷基。R21的烷基也可以被鹵素原子、碳原子數(shù)為6～11的芳基、碳原子數(shù)為1～10的烷氧基、或環(huán)狀的烷基(包含7,7-二甲基-2-氧代降冰片基等橋聯(lián)式脂環(huán)基，優(yōu)選二環(huán)烷基等)取代。作為R21的芳基，優(yōu)選為碳原子數(shù)為6～11的芳基，更優(yōu)選為苯基或萘基。R21的芳基也可以被低級(jí)烷基、烷氧基或鹵素原子取代。含有上述通式(B1-1)所表示的肟磺酸酯結(jié)構(gòu)的上述化合物也優(yōu)選為日本特開2014-238438號(hào)公報(bào)段落0108～0133中記載的肟磺酸酯化合物。作為酰亞胺磺酸酯系化合物，優(yōu)選萘酰亞胺系化合物，可以參考國(guó)際公開WO11/087011號(hào)小冊(cè)子的記載，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。本發(fā)明中特別優(yōu)選可列舉出三氟甲基磺酰氧基二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯二羧基酰亞胺、琥珀酰亞胺三氟甲基磺酸酯、鄰苯二甲酰亞胺三氟甲基磺酸酯、N-羥基萘二甲酰亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基-5-降冰片烯-2,3-二羧基酰亞胺丙磺酸酯。在本發(fā)明的第1方式中，光酸產(chǎn)生劑B1的含量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分100質(zhì)量份優(yōu)選為0.1～20質(zhì)量份。下限更優(yōu)選為例如0.2質(zhì)量份以上，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5質(zhì)量份以上。上限更優(yōu)選為例如10質(zhì)量份以下，進(jìn)一步優(yōu)選為5質(zhì)量份以下。〔交聯(lián)劑C1〕本發(fā)明的第1方式在不滿足上述的條件1及2的情況、即聚合物成分A1不含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的聚合物的情況下，含有分子量為1,000以下的交聯(lián)劑C1。另外，即使是滿足上述的條件1或2的情況下，也可以含有交聯(lián)劑C1。作為交聯(lián)劑C1，只要是通過熱引起交聯(lián)反應(yīng)的物質(zhì)則可以沒有限制地使用。例如，優(yōu)選為選自由以下敘述的分子內(nèi)具有兩個(gè)以上的環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物、封端異氰酸酯化合物(具有被保護(hù)的異氰酸根合基的化合物)、含有烷氧基甲基的化合物、或含有至少一個(gè)烯屬不飽和雙鍵(烯屬不飽和基團(tuán))的化合物組成的組中的至少一種，更優(yōu)選為選自由分子內(nèi)具有兩個(gè)以上的環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物、封端異氰酸酯化合物組成的組中的至少一種。交聯(lián)劑C1的添加量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分100質(zhì)量份優(yōu)選為0～30質(zhì)量份，更優(yōu)選為1～20質(zhì)量份。另外，交聯(lián)劑也可以將多種并用，該情況下通過將交聯(lián)劑全部合計(jì)而得到的總含量來計(jì)算添加量。以下，對(duì)本發(fā)明中優(yōu)選使用的上述的交聯(lián)劑C1進(jìn)行說明。<分子內(nèi)具有兩個(gè)以上的環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物>作為交聯(lián)劑C1，可列舉出例如多官能的小環(huán)環(huán)狀醚化合物。即，是指1分子內(nèi)具有兩個(gè)以上環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的化合物。作為分子內(nèi)具有兩個(gè)以上的環(huán)氧基的化合物的具體例子，可列舉出脂肪族環(huán)氧化合物等。它們可以作為市售品獲得?？闪信e出例如DenacolEX-611、EX-612、EX-614、EX-614B、EX-622、EX-512、EX-521、EX-411、EX-421、EX-313、EX-314、EX-321、EX-211、EX-212、EX-810、EX-811、EX-850、EX-851、EX-821、EX-830、EX-832、EX-841、EX-911、EX-941、EX-920、EX-931、EX-212L、EX-214L、EX-216L、EX-321L、EX-850L、DLC-201、DLC-203、DLC-204、DLC-205、DLC-206、DLC-301、DLC-402(以上NagaseChemtexCorporation制)、CELLOXIDE2021P、2081、3000、EHPE3150、EpoleadGT400、CELVENUSB0134、B0177(DaicelCorporation制)等。它們可以單獨(dú)使用一種或?qū)煞N以上組合使用。作為分子內(nèi)具有兩個(gè)以上的氧雜環(huán)丁烷基的化合物的具體例子，可以使用AronOxetaneOXT-121、OXT-221、OX-SQ、PNOX(以上、東亞合成株式會(huì)社制)。此外，包含氧雜環(huán)丁烷基的化合物優(yōu)選單獨(dú)使用或與包含環(huán)氧基的化合物混合使用。<封端異氰酸酯化合物>作為交聯(lián)劑C1，也可以優(yōu)選采用封端異氰酸酯系化合物。封端異氰酸酯化合物只要是具有異氰酸酯基被化學(xué)保護(hù)而成的封端異氰酸酯基的化合物則沒有特別限制，但從固化性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為1分子內(nèi)具有兩個(gè)以上的封端異氰酸酯基的化合物。另外，本發(fā)明中的封端異氰酸酯基為可通過熱生成異氰酸酯基的基團(tuán)，可優(yōu)選例示出例如使封端劑與異氰酸酯基反應(yīng)而將異氰酸酯基保護(hù)的基團(tuán)。此外，上述封端異氰酸酯基優(yōu)選為可通過90℃～250℃的熱而生成異氰酸酯基的基團(tuán)。此外，作為封端異氰酸酯化合物，其骨架并沒有特別限定，只要是在1分子中具有兩個(gè)異氰酸酯基，則可以是任意的化合物，可以是脂肪族、脂環(huán)族或芳香族的多異氰酸酯，但可適當(dāng)使用例如2,4-甲苯二異氰酸酯、2,6-甲苯二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、1,6-六亞甲基二異氰酸酯、1,3-三亞甲基二異氰酸酯、1,4-四亞甲基二異氰酸酯、2,2,4-三甲基六亞甲基二異氰酸酯、2,4,4-三甲基六亞甲基二異氰酸酯、1,9-九亞甲基二異氰酸酯、1,10-十亞甲基二異氰酸酯、1,4-環(huán)己烷二異氰酸酯、2,2’-二乙基醚二異氰酸酯、二苯基甲烷-4,4’-二異氰酸酯、鄰二甲苯二異氰酸酯、間二甲苯二異氰酸酯、對(duì)二甲苯二異氰酸酯、亞甲基雙(環(huán)己基異氰酸酯)、環(huán)己烷-1,3-二亞甲基二異氰酸酯、環(huán)己烷-1,4-二亞甲基二異氰酸酯、1,5-萘二異氰酸酯、對(duì)亞苯基二異氰酸酯、3,3’-亞甲基二甲苯-4,4’-二異氰酸酯、4,4’-二苯基醚二異氰酸酯、四氯亞苯基二異氰酸酯、降冰片烷二異氰酸酯、氫化1,3-苯二甲基二異氰酸酯、氫化1,4-苯二甲基二異氰酸酯等異氰酸酯化合物及由這些化合物派生的預(yù)聚物型的骨架的化合物。它們中，特別優(yōu)選為甲苯二異氰酸酯(TDI)或二苯基甲烷二異氰酸酯(MDI)、六亞甲基二異氰酸酯(HDI)、異佛爾酮二異氰酸酯(IPDI)。作為本發(fā)明中使用的固化性組合物中的封端異氰酸酯化合物的母結(jié)構(gòu)，可列舉出縮二脲型、異氰脲酸酯型、加合物型、2官能預(yù)聚物型等。作為形成上述封端異氰酸酯化合物的封端結(jié)構(gòu)的封端劑，可列舉出肟化合物、內(nèi)酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亞甲基化合物、吡唑化合物、硫醇化合物、咪唑系化合物、酰亞胺系化合物等。它們中，特別優(yōu)選選自肟化合物、內(nèi)酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亞甲基化合物、吡唑化合物中的封端劑。作為上述肟化合物，可列舉出肟、及酮肟，具體而言，可例示出丙酮肟、甲醛肟、環(huán)己烷肟、甲基乙基酮肟、環(huán)己酮肟、二苯甲酮肟、丙酮肟等。作為上述內(nèi)酰胺化合物，可例示出ε-己內(nèi)酰胺、γ-丁內(nèi)酰胺等。作為上述酚化合物，可例示出苯酚、萘酚、甲酚、二甲苯酚、鹵素取代苯酚等。作為上述醇化合物，可例示出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、環(huán)己醇、乙二醇單烷基醚、丙二醇單烷基醚、乳酸烷基酯等。作為上述胺化合物，可列舉出伯胺及仲胺，可以是芳香族胺、脂肪族胺、脂環(huán)族胺中的任一種，可例示出苯胺、二苯基胺、乙烯亞胺、聚乙烯亞胺等。作為上述活性亞甲基化合物，可例示出丙二酸二乙酯、丙二酸二甲酯、乙酰乙酸乙酯、乙酰乙酸甲酯等。作為上述吡唑化合物，可例示出吡唑、甲基吡唑、二甲基吡唑等。作為上述硫醇化合物，可例示出烷基硫醇、芳基硫醇等。本發(fā)明中使用的固化性組合物中可以使用的封端異氰酸酯化合物可作為市售品獲得，可優(yōu)選使用例如CoronateAPstableM、Coronate2503、2515、2507、2513、2555、MillionateMS-50(以上為NipponPolyurethaneIndustryCO.,LTD.制)、TakenateB-830、B-815N、B-820NSU、B-842N、B-846N、B-870N、B-874N、B-882N(以上為三井化學(xué)株式會(huì)社制)、Duranate17B-60PX、17B-60P、TPA-B80X、TPA-B80E、MF-B60X、MF-B60B、MF-K60X、MF-K60B、E402-B80B、SBN-70D、SBB-70P、K6000(以上為AsahiKaseiChemicalsCorporation制)、DesmoduleBL1100、BL1265MPA/X、BL3575/1、BL3272MPA、BL3370MPA、BL3475BA/SN、BL5375MPA、VPLS2078/2、BL4265SN、PL340、PL350、SumiduleBL3175(以上為SumikaBayerUrethaneCo.,Ltd.制)等。<含有烷氧基甲基的交聯(lián)劑>作為含有烷氧基甲基的化合物，優(yōu)選烷氧基甲基化三聚氰胺、烷氧基甲基化苯并胍胺、烷氧基甲基化甘脲及烷氧基甲基化尿素等。它們分別通過將羥甲基化三聚氰胺、羥甲基化苯并胍胺、羥甲基化甘脲、或羥甲基化尿素的羥甲基轉(zhuǎn)換成烷氧基甲基來得到。對(duì)于該烷氧基甲基的種類沒有特別限定，可列舉出例如甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、丁氧基甲基等，但從排氣的產(chǎn)生量的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選甲氧基甲基。這些化合物中，烷氧基甲基化三聚氰胺、烷氧基甲基化苯并胍胺、烷氧基甲基化甘脲可作為優(yōu)選的化合物列舉出，從透明性的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選烷氧基甲基化甘脲。含有烷氧基甲基的交聯(lián)劑也將其分子量為1,000以下的化合物用于固化性組合物中。這些含有烷氧基甲基的化合物可作為市售品獲得，可以優(yōu)選使用例如CYMEL300、301、303、370、325、327、701、266、267、238、1141、272、202、1156、1158、1123、1170、1174、UFR65、300(以上，MitsuiCyanamidCo.,Ltd.制)、NIKALACMX-750、-032、-706、-708、-40、-31、-270、-280、-290、NIKALACMS-11、NIKALACMW-30HM、-100LM、-390、(以上，SANWAChemicalCo.,Ltd.制)等。[本發(fā)明的第2方式]本發(fā)明的第2方式含有以下的聚合物成分A2和醌二疊氮化物B2?！簿酆衔锍煞諥2〕本發(fā)明的第2方式所含有的聚合物成分A2為含有包含具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A2-1的聚合物成分。此外，聚合物成分A2是指除了包含上述聚合物A2-1以外，還包含根據(jù)需要添加的其它的聚合物的聚合物成分。另外，聚合物成分A2所含有的聚合物與第1方式的聚合物成分A1所含有的聚合物同樣優(yōu)選為加成聚合型的聚合物，更優(yōu)選為包含來自(甲基)丙烯酸和/或其酯的構(gòu)成單元的聚合物。本發(fā)明的第2方式必須滿足下述1～3中所示的條件中的至少一個(gè)，并且滿足下述4及5中所示的條件中的至少一個(gè)。這表示：在包含具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A2-1中、或不同于聚合物A2-1地具有有助于固化的交聯(lián)性基團(tuán)的部位或成分是必須的；和包含具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元和用于使其偏向存在于表面的構(gòu)成單元的聚合物成分是必須的。因此，在以下的說明中，不是以每種聚合物為中心，而是以作為聚合物成分所需的聚合物中的構(gòu)成單元為中心進(jìn)行說明。(條件)1：上述聚合物A2-1進(jìn)一步包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2，2：作為上述聚合物成分A2，進(jìn)一步含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物A2-2，3：進(jìn)一步含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的分子量為1,000以下的交聯(lián)劑C2，4：上述聚合物A2-1或上述聚合物A2-2包含下述s1中所示的構(gòu)成單元，5：作為上述聚合物成分A2，進(jìn)一步含有包含下述s1中所示的構(gòu)成單元的聚合物A2-3，s1：具有選自由氟取代烴基、硅氧烷骨架及碳原子數(shù)為10～30的烷基組成的組中的至少一個(gè)部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元、以及具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元。<構(gòu)成單元a3>聚合物成分A2包含至少含有具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A2-1。其中，具有酸基的構(gòu)成單元a3與第1方式的聚合物成分A1中的具有酸基的構(gòu)成單元a3含義相同，優(yōu)選的范圍也相同。在第2方式中，在聚合物的全部構(gòu)成單元中，構(gòu)成單元a3優(yōu)選含有3～70摩爾％，更優(yōu)選含有5～60摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選含有10～50摩爾％。通過將構(gòu)成單元a3的使用比例設(shè)定為上述范圍，將溶解性最優(yōu)化，同時(shí)得到感度優(yōu)異的樹脂組合物。<構(gòu)成單元a2>聚合物成分A2優(yōu)選含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物。另外，如上述的條件1～3所示的那樣，當(dāng)不含有后述的交聯(lián)劑C2時(shí)，至少含有具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A2-1進(jìn)一步含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2、或含有包含具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它的聚合物A2-2是必須的。其中，具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2與第1方式的聚合物成分A1中的具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2含義相同，優(yōu)選的范圍也相同。在第2方式中，在聚合物的全部構(gòu)成單元中，構(gòu)成單元a2優(yōu)選含有0～70摩爾％，更優(yōu)選含有0～50摩爾％。通過將構(gòu)成單元a2的使用比例設(shè)定為上述范圍，能夠形成各種特性優(yōu)異的固化膜。另外，如上所述，當(dāng)構(gòu)成單元a2的含量為0摩爾％時(shí)，必須含有后述的交聯(lián)劑C2。<s1中所示的構(gòu)成單元>聚合物成分A2含有包含下述s1中所示的構(gòu)成單元s1的聚合物。另外，如上述的條件4及5中所示的那樣，構(gòu)成單元s1可以是(i)至少含有具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A2-1進(jìn)一步具有構(gòu)成單元s1的方式、(ii)含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的其它的聚合物A2-2進(jìn)一步具有構(gòu)成單元s1的方式、及(iii)其它的聚合物A2-3具有構(gòu)成單元s1的方式中的任一種。s1：具有選自由氟取代烴基、硅氧烷骨架及碳原子數(shù)為10～30的烷基組成的組中的至少一個(gè)部分結(jié)構(gòu)的構(gòu)成單元、以及具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元。其中，構(gòu)成單元s1與第1方式的聚合物成分A1中的構(gòu)成單元s1含義相同，優(yōu)選的范圍也相同。在本發(fā)明的第2方式中，與第1方式同樣，具有構(gòu)成單元s1的聚合物的含量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分優(yōu)選為0.1～20質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.1～10質(zhì)量％。<其它構(gòu)成單元>在第2方式中，聚合物成分A2也可以含有除了上述的構(gòu)成單元a3、構(gòu)成單元a2及構(gòu)成單元s1以外還具有除它們以外的構(gòu)成單元a5的聚合物。作為成為構(gòu)成單元a5的單體，只要是上述構(gòu)成單元a3及構(gòu)成單元a2以外的不飽和化合物則沒有特別限制。作為為了形成構(gòu)成單元a5而使用的自由基聚合性單體的具體例子，可列舉出例如甲基丙烯酸鏈狀烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)狀烷基酯、丙烯酸鏈狀烷基酯、丙烯酸環(huán)狀烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、二環(huán)不飽和化合物、馬來酰亞胺化合物、不飽和芳香族化合物、共軛二烯、四氫呋喃骨架、呋喃骨架、四氫吡喃骨架、吡喃骨架、包含下述式(4)所表示的骨架的不飽和化合物及其它不飽和化合物等。作為為了形成構(gòu)成單元a5而使用的自由基聚合性單體的具體例子，可以使用日本特開2012-88459號(hào)公報(bào)的段落號(hào)0046～0065記載的化合物等，該內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。[化學(xué)式32]上述式(4)中，R23為氫原子或甲基。s為1以上的整數(shù)。這些構(gòu)成單元a5中，優(yōu)選為甲基丙烯酸鏈狀烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)狀烷基酯、馬來酰亞胺化合物、四氫呋喃骨架、呋喃骨架、四氫吡喃骨架、吡喃骨架、具有上述式(4)所表示的骨架的不飽和化合物、不飽和芳香族化合物、丙烯酸環(huán)狀烷基酯、丙烯?；鶈徇?。它們中，苯乙烯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸正月桂酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02，6]癸烷-8-基、對(duì)甲氧基苯乙烯、丙烯酸2-甲基環(huán)己基酯、N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、聚乙二醇(n＝2～10)單(甲基)丙烯酸酯、3-(甲基)丙烯酰氧基四氫呋喃-2-酮、丙烯酰基嗎啉從共聚反應(yīng)性及相對(duì)于堿水溶液的溶解性的方面出發(fā)更優(yōu)選。這些化合物可以單獨(dú)使用，也可以將兩種以上混合使用。在第2方式中，在聚合物的全部構(gòu)成單元中，構(gòu)成單元a5優(yōu)選含有1～90摩爾％，更優(yōu)選含有5～80摩爾％，進(jìn)一步優(yōu)選含有7～60摩爾％。通過將構(gòu)成單元a5的使用比例設(shè)定為上述范圍，能夠形成各種特性優(yōu)異的固化膜?！蝉B氮化物B2〕本發(fā)明的第2方式含有醌二疊氮化物B2。作為醌二疊氮化物B2，可以使用通過活性光線的照射產(chǎn)生羧酸的1,2-醌二疊氮化物。作為1,2-醌二疊氮化物，可以使用酚性化合物或醇性化合物(以下，稱為“母核”)與1,2-萘醌二疊氮磺酰鹵的縮合物。作為這些化合物的具體例子，可以參考例如日本特開2012-088459公報(bào)的段落號(hào)0075～0078的記載，該內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。在酚性化合物或醇性化合物(母核)與1,2-萘醌二疊氮磺酰鹵的縮合反應(yīng)中，相對(duì)于酚性化合物或醇性化合物中的OH基數(shù)，可以使用優(yōu)選與30～85摩爾％、更優(yōu)選與50～70摩爾％相當(dāng)?shù)?,2-萘醌二疊氮磺酰鹵。縮合反應(yīng)可以通過公知的方法來實(shí)施。此外，作為1,2-醌二疊氮化物，也可適當(dāng)使用將上述例示的母核的酯鍵變更為酰胺鍵的1,2-萘醌二疊氮磺酸酰胺類、例如2,3,4-三氨基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酰胺等。此外，還可以使用4,4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1.0摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(3.0摩爾)的縮合物、1,1,1-三(對(duì)羥基苯基)乙烷(1.0摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯(2.0摩爾)的縮合物、2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮(1.0摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯(2.44摩爾)的縮合物等。這些醌二疊氮化物B2可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。第2方式中的醌二疊氮化物B2的含量相對(duì)于樹脂組合物中的全部固體成分100質(zhì)量份優(yōu)選為1～50質(zhì)量份，更優(yōu)選為2～40質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為10～25質(zhì)量份。通過將醌二疊氮化物B2的配合量設(shè)定為上述范圍，活性光線相對(duì)于成為顯影液的堿水溶液的照射部分與未照射部分的溶解度的差大，圖案化性能變得良好，此外所得到的固化膜的耐溶劑性變得良好?！步宦?lián)劑C2〕本發(fā)明的第2方式在不滿足上述的條件1及2的情況、即聚合物成分A2不含有具有交聯(lián)性基團(tuán)的聚合物的情況下，含有分子量為1,000以下的交聯(lián)劑C2。另外，即使是滿足上述的條件1或2的情況下，也可以含有交聯(lián)劑C2。其中，交聯(lián)劑C2與第1方式中使用的交聯(lián)劑C1含義相同，優(yōu)選的范圍也相同?！灿袡C(jī)溶劑D〕本發(fā)明的第1方式及第2方式所述的感光性樹脂組合物(以下，也將它們總地簡(jiǎn)稱為“本發(fā)明的樹脂組合物”)優(yōu)選含有有機(jī)溶劑D。作為有機(jī)溶劑D，可以使用公知的有機(jī)溶劑，可例示出乙二醇單烷基醚類、乙二醇二烷基醚類、乙二醇單烷基醚乙酸酯類、丙二醇單烷基醚類、丙二醇二烷基醚類、丙二醇單烷基醚乙酸酯類、二乙二醇二烷基醚類、二乙二醇單烷基醚乙酸酯類、二丙二醇單烷基醚類、丁二醇二乙酸酯類、二丙二醇二烷基醚類、二丙二醇單烷基醚乙酸酯類、醇類、酯類、酮類、酰胺類、內(nèi)酯類等。作為這些有機(jī)溶劑的具體例子，可以參照日本特開2009-098616號(hào)公報(bào)的段落0062。對(duì)于優(yōu)選的具體例子，可列舉出丙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙基甲基醚、丙二醇單甲基醚、1,3-丁二醇二乙酸酯、甲氧基丙醇乙酸酯、環(huán)己醇乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、四氫糠基醇。有機(jī)溶劑D的沸點(diǎn)從涂布性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為100℃～300℃，更優(yōu)選為120℃～250℃。本發(fā)明中可使用的有機(jī)溶劑D可以單獨(dú)使用一種、或?qū)煞N以上并用。也優(yōu)選將沸點(diǎn)不同的溶劑并用。從調(diào)整為適于涂布的粘度這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，含有有機(jī)溶劑D時(shí)的含量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分100質(zhì)量份，優(yōu)選為100～3,000質(zhì)量份，更優(yōu)選為200～2,000質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為250～1,000質(zhì)量份。作為樹脂組合物的固體成分濃度，優(yōu)選為3～50質(zhì)量％，更優(yōu)選為20～40質(zhì)量％?！裁艋瘎吃诒景l(fā)明的樹脂組合物、特別是本發(fā)明的第1方式所述的感光性樹脂組合物中，在與光酸產(chǎn)生劑B1的組合中，為了促進(jìn)其分解，優(yōu)選含有敏化劑。敏化劑吸收活性光線或放射線而變成電子激發(fā)狀態(tài)。變成電子激發(fā)狀態(tài)的敏化劑與光酸產(chǎn)生劑接觸，產(chǎn)生電子遷移、能量遷移、發(fā)熱等作用。由此，光酸產(chǎn)生劑引起化學(xué)變化而發(fā)生分解，并生成酸。作為優(yōu)選的敏化劑的例子，可列舉出屬于以下的化合物類、且在350nm到450nm的波長(zhǎng)域的任一處具有吸收波長(zhǎng)的化合物。多核芳香族類(例如，芘、苝、聯(lián)三亞苯、蒽、9,10-二丁氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽，3,7-二甲氧基蒽、9,10-二丙氧基蒽)、呫噸類(例如，熒光素、曙紅、赤蘚紅、羅丹明B、孟加拉玫瑰紅)、呫噸酮類(例如，呫噸酮、噻噸酮、二甲基噻噸酮、二乙基噻噸酮)、花青類(例如，硫雜羰花青、氧雜羰花青)、部花青類(例如，部花青、羰部花青)、若丹菁類、氧雜菁類、噻嗪類(例如，硫堇、亞甲基藍(lán)、甲苯胺藍(lán))、吖啶類(例如，吖啶橙、氯黃素、吖啶黃素)、吖啶酮類(例如，吖啶酮、10-丁基-2-氯吖啶酮)、蒽醌類(例如，蒽醌)、方酸內(nèi)鎓鹽類(例如，方酸內(nèi)鎓鹽)、苯乙烯基類、堿性苯乙烯基類(例如，2-{2-[4-(二甲基氨基)苯基]乙烯基}苯并噁唑)、香豆素類(例如，7-二乙基氨基-4-甲基香豆素、7-羥基-4-甲基香豆素、2,3,6,7-四氫-9-甲基-1H,5H,11H[1]苯并吡喃并[6,7,8-ij]喹嗪-11-酮)。這些敏化劑中，優(yōu)選多核芳香族類、吖啶酮類、苯乙烯基類、堿性苯乙烯基類、香豆素類，更優(yōu)選多核芳香族類。多核芳香族類中，最優(yōu)選蒽衍生物。敏化劑的含量相對(duì)于光酸產(chǎn)生劑B1或醌二疊氮化物B2的100質(zhì)量份優(yōu)選為0～1,000質(zhì)量份，更優(yōu)選為10～500質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為50～200質(zhì)量份。此外，敏化劑可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上并用?！矇A性化合物〕本發(fā)明的樹脂組合物也可以含有堿性化合物。作為堿性化合物，可以從化學(xué)放大固化性組合物中使用的堿性化合物中任意選擇來使用。可列舉出例如脂肪族胺、芳香族胺、雜環(huán)式胺、氫氧化季銨、羧酸的季銨鹽等。作為它們的具體例子，可列舉出日本特開2011-221494號(hào)公報(bào)的段落0204～0207中記載的化合物。具體而言，作為脂肪族胺，可列舉出例如三甲基胺、二乙基胺、三乙基胺、二正丙基胺、三正丙基胺、二正戊基胺、三正戊基胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二環(huán)己基胺、二環(huán)己基甲基胺等。作為芳香族胺，可列舉出例如苯胺、芐基胺、N,N-二甲基苯胺、二苯基胺等。作為雜環(huán)式胺，可列舉出例如吡啶、2-甲基吡啶、4-甲基吡啶、2-乙基吡啶、4-乙基吡啶、2-苯基吡啶、4-苯基吡啶、N-甲基-4-苯基吡啶、4-二甲基氨基吡啶、咪唑、苯并咪唑、4-甲基咪唑、2-苯基苯并咪唑、2,4,5-三苯基咪唑、煙堿、煙酸、煙酰胺、喹啉、8-羥基喹啉、吡嗪、吡唑、噠嗪、嘌呤、吡咯烷、哌啶、哌嗪、嗎啉、4-甲基嗎啉、N-環(huán)己基-N’-[2-(4-嗎啉基)乙基]硫脲、1,5-二氮雜二環(huán)[4.3.0]-5-壬烯、1,8-二氮雜二環(huán)[5.3.0]-7-十一碳烯、丁烷-1,2,3,4-四羧酸四(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)等。作為氫氧化季銨，可列舉出例如氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四正丁基銨、氫氧化四正己基銨等。作為羧酸的季銨鹽，可列舉出例如乙酸四甲基銨、苯甲酸四甲基銨、乙酸四正丁基銨、苯甲酸四正丁基銨等。它們中，優(yōu)選雜環(huán)式胺，特別優(yōu)選N-環(huán)己基-N’-[2-(4-嗎啉基)乙基]硫脲。堿性化合物可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上并用。此外，含有堿性化合物時(shí)的含量相對(duì)于樹脂組合物中的全部固體成分100質(zhì)量份優(yōu)選為0.001～3質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.05～0.5質(zhì)量份。〔表面活性劑〕本發(fā)明的樹脂組合物也可以含有表面活性劑。作為表面活性劑，可以使用陰離子系、陽離子系、非離子系、或兩性中的任一種，但優(yōu)選的表面活性劑為非離子系表面活性劑。作為表面活性劑，優(yōu)選非離子系表面活性劑，更優(yōu)選氟系表面活性劑。作為第1方式中可以使用的表面活性劑，可列舉出例如作為市售品的MegafacF142D、MegafacF172、MegafacF173、MegafacF176、MegafacF177、MegafacF183、MegafacF479、MegafacF482、MegafacF554、MegafacF780、MegafacF781、MegafacF781-F、MegafacR30、MegafacR08、MegafacF-472SF、MegafacBL20、MegafacR-61、MegafacR-90(DIC株式會(huì)社制)、FluoradFC-135、FluoradFC-170C、FluoradFC-430、FluoradFC-431、NovecFC-4430(Sumitomo3MLimited制)、AsahiGuardAG7105、7000、950、7600、SurflonS-112、SurflonS-113、SurflonS-131、SurflonS-141、SurflonS-145、SurflonS-382、SurflonSC-101、SurflonSC-102、SurflonSC-103、SurflonSC-104、SurflonSC-105、SurflonSC-106(旭硝子株式會(huì)社制)、EFTOPEF351、EFTOP352、EFTOP801、EFTOP802(MitsubishiMaterialsElectronicChemicalsCo.,Ltd.制)、Ftergent250(NeosCorporation制)。此外，除了上述以外，還可列舉出KP(信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)、POLYFLOW(共榮社化學(xué)株式會(huì)社制)、EFTOP(MitsubishiMaterialsElectronicChemicalsCo.,Ltd.制)、Megafac(DIC株式會(huì)社制)、Fluorad(Sumitomo3MLimited制)、AsahiGuard、Surflon(旭硝子株式會(huì)社制)、PolyFox(OMNOVA制)等各系列。此外，作為表面活性劑，日本特開2014-238438號(hào)公報(bào)段落0151～0155中記載的化合物也可以作為優(yōu)選的例子列舉出。含有表面活性劑時(shí)的含量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分中100質(zhì)量份優(yōu)選為0.001～5.0質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.01～2.0質(zhì)量份。表面活性劑可以僅包含一種，也可以包含兩種以上。當(dāng)包含兩種以上時(shí)，優(yōu)選其合計(jì)量達(dá)到上述范圍。〔密合改良劑〕本發(fā)明的樹脂組合物也可以含有密合改良劑。作為密合改良劑，可列舉出烷氧基硅烷化合物等。烷氧基硅烷化合物優(yōu)選為使成為基材的無機(jī)物例如硅、氧化硅、氮化硅等硅化合物、金、銅、鉬、鈦、鋁等金屬與絕緣膜的密合性提高的化合物。作為密合改良劑的具體例子，可列舉出例如γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-環(huán)氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-氯丙基三甲氧基硅烷、γ-巰基丙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷等。它們中，優(yōu)選γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，更優(yōu)選γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷。它們可以單獨(dú)使用一種或?qū)煞N以上組合使用。密合改良劑的含量相對(duì)于樹脂組合物的全部固體成分100質(zhì)量份優(yōu)選為0.001～15質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.005～10質(zhì)量份。密合改良劑可以僅使用一種，也可以使用兩種以上。當(dāng)使用兩種以上時(shí)，優(yōu)選合計(jì)量達(dá)到上述范圍。〔抗氧化劑〕本發(fā)明的樹脂組合物也可以含有抗氧化劑。作為抗氧化劑，可以含有公知的抗氧化劑。通過添加抗氧化劑，具有能夠防止固化膜的著色、或能夠減少由分解引起的膜厚減少、此外耐熱透明性優(yōu)異這樣的優(yōu)點(diǎn)。作為這樣的抗氧化劑，可列舉出例如磷系抗氧化劑、酰胺類、酰肼類、受阻胺系抗氧化劑、硫系抗氧化劑、酚系抗氧化劑、抗壞血酸類、硫酸鋅、糖類、亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、硫代硫酸鹽、羥基胺衍生物等。它們中，從固化膜的著色、膜厚減少的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選酚系抗氧化劑、酰胺系抗氧化劑、酰肼系抗氧化劑、硫系抗氧化劑，最優(yōu)選酚系抗氧化劑。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上混合。作為具體例子，可列舉出日本特開2005-29515號(hào)公報(bào)的段落0026～0031中記載的化合物，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。作為酚系抗氧化劑的市售品，可列舉出例如AdekastabAO-15、AdekastabAO-18、AdekastabAO-20、AdekastabAO-23、AdekastabAO-30、AdekastabAO-37、AdekastabAO-40、AdekastabAO-50、AdekastabAO-51、AdekastabAO-60、AdekastabAO-70、AdekastabAO-80、AdekastabAO-330、AdekastabAO-412S、AdekastabAO-503、AdekastabA-611、AdekastabA-612、AdekastabA-613、AdekastabPEP-4C、AdekastabPEP-8、AdekastabPEP-8W、AdekastabPEP-24G、AdekastabPEP-36、AdekastabPEP-36Z、AdekastabHP-10、Adekastab2112、Adekastab260、Adekastab522A、Adekastab1178、Adekastab1500、AdekastabC、Adekastab135A、Adekastab3010、AdekastabTPP、AdekastabCDA-1、AdekastabCDA-6、AdekastabZS-27、AdekastabZS-90、AdekastabZS-91(以上，株式會(huì)社ADEKA制)、Irganox245FF、Irganox1010FF、Irganox1010、IrganoxMD1024、Irganox1035FF、Irganox1035、Irganox1098、Irganox1330、Irganox1520L、Irganox3114、Irganox1726、Irgafos168、Irgamod295(BASF制)、Tinuvin405(BASF制)等。其中，可以適當(dāng)使用AdekastabAO-60、AdekastabAO-80、Irganox1726、Irganox1035、Irganox1098、Tinuvin405。含有抗氧化劑時(shí)的含量相對(duì)于樹脂性組合物的全部固體成分100質(zhì)量份優(yōu)選為0.1～10質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.2～5質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.5～4質(zhì)量％。通過設(shè)定為該范圍，可得到所形成的膜的充分的透明性，且圖案形成時(shí)的感度也變得良好。〔其它成分〕本發(fā)明的樹脂組合物除了上述成分以外，還可以根據(jù)需要加入紫外線吸收劑、金屬鈍化劑、或酸增殖劑、顯影促進(jìn)劑、增塑劑、熱自由基產(chǎn)生劑、熱酸產(chǎn)生劑、增稠劑、及有機(jī)或無機(jī)的防沉淀劑等公知的添加劑。此外，作為這些化合物，也可以參考例如日本特開2012-88459號(hào)公報(bào)的段落0201～0224、日本特開2014-238438號(hào)公報(bào)的記載，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。此外，作為其它添加劑，也可以使用日本特開2012-8223號(hào)公報(bào)的段落0120～0121中記載的熱自由基產(chǎn)生劑、國(guó)際公開第2011/136074號(hào)中記載的含氮化合物及熱酸產(chǎn)生劑，這些內(nèi)容被納入本申請(qǐng)說明書中。〔感光性樹脂組合物的調(diào)制方法〕本發(fā)明的樹脂組合物可以將各成分以規(guī)定的比例且通過任意的方法混合，攪拌溶解而調(diào)制。例如，也可以將各成分分別預(yù)先溶解于溶劑中制成溶液后，將它們以規(guī)定的比例混合而調(diào)制本發(fā)明的感光性樹脂組合物。像以上那樣調(diào)制的組合物溶液也可以使用例如孔徑為0.2μm的過濾器等過濾后使用。[固化膜的制造方法]本發(fā)明的固化膜的制造方法優(yōu)選包括以下的(1)～(5)的工序。(1)將含有有機(jī)溶劑D的本發(fā)明的樹脂組合物涂布到基板上的工序(涂布工序)；(2)從涂布的樹脂組合物中除去有機(jī)溶劑D的工序(溶劑除去工序)；(3)將除去了有機(jī)溶劑D的樹脂組合物通過活性放射線進(jìn)行曝光的工序(曝光工序)；(4)將經(jīng)曝光的樹脂組合物通過顯影液進(jìn)行顯影的工序(顯影工序)；(5)將經(jīng)顯影的樹脂組合物進(jìn)行熱固化而得到固化膜的工序(后烘烤工序)。以下依次對(duì)各工序進(jìn)行說明。在(1)的工序中，優(yōu)選將本發(fā)明的樹脂組合物涂布于基板上而制成包含溶劑的濕潤(rùn)膜。在進(jìn)行(1)的工序前，也可以相對(duì)于基板進(jìn)行堿洗滌或等離子體洗滌等洗滌。此外，也可以相對(duì)于洗滌后的基板以六甲基二硅氮烷等對(duì)基板表面進(jìn)行處理。作為以六甲基二硅氮烷對(duì)基板表面進(jìn)行處理的方法，沒有特別限定，但可列舉出例如將基板暴露在六甲基二硅氮烷蒸氣中的方法等。作為基板，可列舉出無機(jī)基板、樹脂基板、使用了樹脂材料及無機(jī)材料的復(fù)合材料的基板等。作為無機(jī)基板，可列舉出例如玻璃基板、石英基板、硅基板、氮化硅基板、及在這些基板上蒸鍍有鉬、鈦、鋁、銅等的復(fù)合基板。作為樹脂基板，可列舉出由聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸丁二醇酯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚砜、聚醚砜、聚芳酯、烯丙基二甘醇碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚苯并唑、聚苯硫醚、聚環(huán)烯烴、降冰片烯樹脂、聚氯三氟乙烯等氟樹脂、液晶聚合物、丙烯酸類樹脂、環(huán)氧樹脂、硅酮樹脂、離聚物樹脂、氰酸酯樹脂、交聯(lián)富馬酸二酯、環(huán)狀聚烯烴、芳香族醚、馬來酰亞胺-烯烴、纖維素、環(huán)硫化合物等合成樹脂構(gòu)成的基板。這些基板也可以根據(jù)最終制品的形態(tài)而形成例如薄膜晶體管(thinfilmtransistor：TFT)元件那樣的多層層疊結(jié)構(gòu)。樹脂組合物向基板上的涂布方法沒有特別限定，可以使用例如狹縫涂布法、噴霧法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法、流延涂布法、狹縫及旋轉(zhuǎn)法等方法。在狹縫涂布法的情況下，優(yōu)選將基板與狹縫模具的相對(duì)移動(dòng)速度設(shè)定為50～120mm/sec。將樹脂組合物涂布時(shí)的濕潤(rùn)膜厚沒有特別限定，可以以與用途相對(duì)應(yīng)的膜厚來進(jìn)行涂布。例如優(yōu)選為0.5～10μm。也可以在基板上涂布本發(fā)明的樹脂組合物之前，應(yīng)用如日本特開2009-145395號(hào)公報(bào)中記載的那樣的所謂預(yù)濕法。在(2)的工序中，從涂布樹脂組合物而形成的上述的濕潤(rùn)膜中，通過減壓(真空)和/或加熱等，將溶劑除去而在基板上形成干燥膜。溶劑除去工序的加熱條件優(yōu)選為在70～130℃下30～300秒鐘左右。溫度和時(shí)間為上述范圍時(shí)，存在在進(jìn)行后述的(4)的工序時(shí)圖案的密合性更良好、且也可進(jìn)一步減少殘?jiān)膬A向。在(3)的工序中，對(duì)設(shè)置有干燥膜的基板照射規(guī)定的圖案的活性光線。在該工序中，在曝光部中，生成羧基或酚性羥基等酸基，曝光部在顯影液中的溶解性提高。即，在包含含有具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物成分和光酸產(chǎn)生劑的方式中，通過活性光線的照射，光酸產(chǎn)生劑分解而產(chǎn)生酸。進(jìn)而，通過產(chǎn)生的酸的催化作用，干燥膜中包含的酸分解性基團(tuán)被水解，生成羧基或酚性羥基。此外，在包含醌二疊氮化物的方式中，通過活性光線的照射，由醌二疊氮化物生成羧基。作為活性光線的光源，可以使用低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、化學(xué)燈、發(fā)光二極管(LED)光源、準(zhǔn)分子激光產(chǎn)生裝置等，可優(yōu)選使用i射線(365nm)、h射線(405nm)、g射線(436nm)等具有波長(zhǎng)為300nm以上且450nm以下的波長(zhǎng)的活性光線。此外，根據(jù)需要也可以通過長(zhǎng)波長(zhǎng)截止濾波器、短波長(zhǎng)截止濾波器、帶通濾波器那樣的分光濾波器來調(diào)整照射光。曝光量?jī)?yōu)選為1～500mJ/cm2。作為曝光裝置，可以使用鏡面投影對(duì)準(zhǔn)曝光器、步進(jìn)機(jī)、掃描器、近接式、接觸式、微透鏡陣列、透鏡掃描器、激光曝光等各種方式的曝光機(jī)。此外，也可以進(jìn)行使用了所謂的超分辨技術(shù)的曝光。作為超分辨技術(shù)，可列舉出進(jìn)行多次曝光的多重曝光、或使用相位轉(zhuǎn)移掩模的方法、環(huán)帶照明法等。通過使用這些超分辨技術(shù)能夠形成更高精細(xì)的圖案，從而優(yōu)選。在(4)的工序中，使用顯影液對(duì)樹脂組合物進(jìn)行顯影。通過將具有容易溶解于顯影液中的酸基的曝光部區(qū)域除去，形成正型圖像。在顯影工序中使用的顯影液中，優(yōu)選包含堿性化合物的水溶液。作為堿性化合物，可以使用例如氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀等堿金屬氫氧化物類；碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸銫等堿金屬碳酸鹽類；碳酸氫鈉、碳酸氫鉀等堿金屬碳酸氫鹽類；氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四丙基銨、氫氧化四丁基銨、氫氧化二乙基二甲基銨等氫氧化四烷基銨類：膽堿等氫氧化(羥基烷基)三烷基銨類；硅酸鈉、偏硅酸鈉等硅酸鹽類；乙胺、丙胺、二乙胺、三乙胺等烷基胺類；二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類；1,8-二氮雜二環(huán)-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜二環(huán)-[4.3.0]-5-壬烯等脂環(huán)式胺類。它們中，優(yōu)選氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四丙基銨、氫氧化四丁基銨、膽堿(氫氧化-2-羥基乙基三甲基銨)。此外，也可以將在上述堿類的水溶液中添加適量甲醇或乙醇等水溶性有機(jī)溶劑或表面活性劑而得到的水溶液作為顯影液使用。顯影液的pH優(yōu)選為10.0～14.0。顯影時(shí)間優(yōu)選為30～500秒鐘，此外，顯影的方法可以為水坑法(旋覆浸沒法)、噴淋法、浸漬法等中的任一種。在顯影后，也可以進(jìn)行淋洗工序。在淋洗工序中，通過將顯影后的基板用純水等清洗，進(jìn)行所附著的顯影液的除去、顯影殘?jiān)某?。淋洗方法可以使用公知的方法?？闪信e出例如噴淋淋洗或浸漬淋洗等。在(5)的工序中，通過將所得到的正型圖像進(jìn)行加熱，使酸分解性基團(tuán)熱分解而生成羧基或酚性羥基等酸基，與交聯(lián)性基團(tuán)、交聯(lián)劑等交聯(lián)，由此可以形成固化膜。該加熱優(yōu)選使用熱板或烘箱等加熱裝置來進(jìn)行。加熱溫度優(yōu)選為200℃～350℃，更優(yōu)選為250℃～350℃。加熱時(shí)間若為熱板上則優(yōu)選為5～90分鐘，若為烘箱則優(yōu)選為30～120分鐘。通過加熱進(jìn)行環(huán)化反應(yīng)或交聯(lián)反應(yīng)，從而能夠形成耐熱性、硬度等更優(yōu)異的固化膜。此外，在進(jìn)行加熱處理時(shí)，也可以通過在氮?dú)鈿夥障逻M(jìn)行來進(jìn)一步提高透明性。在后烘烤前，也可以在較低溫度下進(jìn)行烘烤后進(jìn)行后烘烤(追加中間烘烤工序)。在進(jìn)行中間烘烤時(shí)，優(yōu)選在90～150℃下加熱1～60分鐘后，在200℃以上的高溫下進(jìn)行后烘烤。此外，也可以將中間烘烤、后烘烤分為三階段以上的多階段來進(jìn)行加熱。通過設(shè)置這樣的中間烘烤、后烘烤，可以調(diào)整圖案的頂錐角。這些加熱可以使用熱板、烘箱、紅外線加熱器等公知的加熱方法。另外，可以在后烘烤之前，對(duì)形成有圖案的基板通過活性光線進(jìn)行全面再曝光(后曝光)后，進(jìn)行后烘烤，由此從存在于未曝光部分中的光酸產(chǎn)生劑產(chǎn)生酸，作為促進(jìn)交聯(lián)工序的催化劑發(fā)揮功能，從而可以促進(jìn)膜的固化反應(yīng)。作為包括后曝光工序時(shí)的優(yōu)選的曝光量，優(yōu)選為100～3,000mJ/cm2，特別優(yōu)選為100～500mJ/cm2。由本發(fā)明的樹脂組合物得到的固化膜也可以作為干式蝕刻抗蝕劑使用。在將通過后烘烤工序進(jìn)行熱固化所得到的固化膜作為干式蝕刻抗蝕劑使用時(shí)，作為蝕刻處理，可以進(jìn)行灰化、等離子體蝕刻、臭氧蝕刻等干式蝕刻處理。此外，本發(fā)明的固化膜的制造方法在上述后烘烤工序之后，從使所得到的固化膜作為取向膜發(fā)揮功能的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選實(shí)施光取向處理。光取向處理除了使用波長(zhǎng)為313nm以下的光以外，沒有特別限定，但使用偏振的紫外線在得到均勻的取向方面是優(yōu)選的。該情況下，照射偏振的紫外線的方法沒有特別限定。另外，作為偏振光，沒有特別限制，可列舉出例如直線偏振光、圓偏振光、橢圓偏振光等，其中，優(yōu)選直線偏振光。此外，只要實(shí)質(zhì)上得到偏振光即可，也可以將無偏振的光從薄膜的法線傾斜一定角度來進(jìn)行照射。換言之，也可以從固化膜表面的斜向照射非偏振光。所謂“傾斜照射”，只要是相對(duì)于固化膜表面的法線方向傾斜了極角θ(0<θ<90°)的方向，則沒有特別限制，可以根據(jù)目的而適當(dāng)選擇，但θ優(yōu)選為20～80°。作為所使用的光的光源，可列舉出例如氙氣燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、金屬鹵化物燈等。相對(duì)于由這樣的光源得到的紫外線，通過使用干涉濾光片或彩色濾光片等，可以限制照射的波長(zhǎng)范圍。此外，相對(duì)于來自這些光源的光，通過使用偏光濾光片或偏光棱鏡，能夠得到直線偏振光。[固化膜]本發(fā)明的固化膜為將上述的本發(fā)明的樹脂組合物固化而得到的固化膜。此外，本發(fā)明的固化膜優(yōu)選為通過上述的本發(fā)明的固化膜的形成方法而得到的固化膜。本發(fā)明的固化膜可以作為層間絕緣膜及保護(hù)膜適當(dāng)使用，特別是在作為層間絕緣膜使用時(shí)，通過預(yù)先實(shí)施光取向處理，固化膜也具有作為取向膜的功能，所以對(duì)后述的液晶顯示裝置的用途是有用的。[液晶顯示裝置]本發(fā)明的液晶顯示裝置具有本發(fā)明的固化膜。作為本發(fā)明的液晶顯示裝置，只要采用使用本發(fā)明的樹脂組合物形成的層間絕緣膜則沒有特別限定，可以適用于采取各種結(jié)構(gòu)的公知的液晶顯示裝置。此外，由于使用本發(fā)明的樹脂組合物形成的層間絕緣膜能夠兼作取向膜，所以可以制成從公知的液晶顯示裝置去掉取向膜的結(jié)構(gòu)。例如，作為本發(fā)明的液晶顯示裝置所具備的薄膜晶體管(TFT)的具體例子，可列舉出非晶硅-TFT、低溫多晶硅-TFT、氧化物半導(dǎo)體TFT等。本發(fā)明的固化膜由于電特性優(yōu)異，所以可以與這些TFT組合而優(yōu)選使用。此外，作為本發(fā)明的液晶顯示裝置可采取的液晶驅(qū)動(dòng)方式，可列舉出TN(TwistedNematic)方式、VA(VerticalAlignment)方式、IPS(In-Plane-Switching)方式、FFS(FringeFieldSwitching)方式、OCB(OpticallyCompensatedBend)方式等。在面板構(gòu)成中，在COA(ColorFilteronAllay)方式的液晶顯示裝置中也可以使用本發(fā)明的固化膜，例如可用作日本特開2005-284291號(hào)公報(bào)的有機(jī)絕緣膜(115)、或日本特開2005-346054號(hào)公報(bào)的有機(jī)絕緣膜(212)。此外，本發(fā)明的樹脂組合物及本發(fā)明的固化膜并不限定于上述用途，可以用于各種用途中。例如，除了層間絕緣膜以外，也可以適當(dāng)用于濾色器的保護(hù)膜、或用于將液晶顯示裝置中的液晶層的厚度保持恒定的間隔件或在固體攝像元件中設(shè)置于濾色器上的微透鏡等。對(duì)于液晶顯示裝置的詳細(xì)情況，可以參考日本特開2007-328210號(hào)公報(bào)及日本特開2014-238438號(hào)公報(bào)的記載，該內(nèi)容被納入本說明書中。實(shí)施例以下基于實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步進(jìn)行詳細(xì)說明。以下的實(shí)施例中所示的材料、使用量、比例、處理內(nèi)容、處理步驟等只要不脫離本發(fā)明的主旨，則可以適當(dāng)變更。因此，本發(fā)明的范圍不應(yīng)該受到以下所示的實(shí)施例的限定性解釋。另外，只要沒有特別說明，則“份”、“％”為質(zhì)量基準(zhǔn)。〔具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元(單體a-1)的合成〕將反式-4-羥基肉桂酸甲酯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、12.5g、0.07mol)和三乙基胺(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、7.79g、0.07mol)溶解于四氫呋喃(以下，簡(jiǎn)記為“THF”)100mL中，在冷卻至0℃后，緩慢滴加甲基丙烯酰氯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、7.33g、0.07mol)。接著，相對(duì)于白濁的反應(yīng)體系加入水500g，攪拌1小時(shí)后過濾，得到14g具有肉桂酸酯基作為光取向性基團(tuán)的單體a-1。通過NMR(nuclearmagneticresonance)確認(rèn)結(jié)構(gòu)?！簿哂泄馊∠蛐曰鶊F(tuán)的構(gòu)成單元(單體a-2)的合成〕將4-羥基-3-甲氧基肉桂酸乙酯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、22.2g、0.1mol)溶解于二甲基乙酰胺150mL中，添加碳酸鉀(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、30g、0.22mol)，將溫度上升至90℃。接著，滴加4-氯丁醇(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、21.6g、0.2mol)，攪拌3小時(shí)。之后，將反應(yīng)溶液注入到水1L中，以2NHCl進(jìn)行中和后，以醋酸乙酯700mL進(jìn)行萃取，用飽和食鹽水清洗并進(jìn)行濃縮。接著，通過硅膠柱色譜法進(jìn)行分取，得到23g中間體化合物。使該中間體化合物15g(0.05mol)和三乙基胺(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、5.6g、0.056mol)溶解到THF100mL中，冷卻至0℃。接著，滴加甲基丙烯酰氯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、5.8g、0.056mol)，攪拌3小時(shí)后，將反應(yīng)溶液注入到水500g中，以醋酸乙酯萃取后進(jìn)行濃縮。接著，通過硅膠柱色譜法分取，得到20g具有間隔基肉桂酸酯作為光取向性基團(tuán)的單體a-2。〔具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元(單體a-3)的合成〕使氫醌(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、63.8g、0.58mol)溶解到二甲基乙酰胺500mL中，添加碳酸鉀(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、40g、0.29mol)，將溫度上升至90℃。接著，滴加甲基丙烯酸4-氯丁酯(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、25.6g、0.145mol)，攪拌3小時(shí)。之后，將反應(yīng)溶液注入到水1L中，以2NHCl中和后，以醋酸乙酯700mL萃取，用飽和食鹽水清洗并進(jìn)行濃縮。將粗結(jié)晶取出，通過硅膠柱色譜法分取，得到18g中間體化合物。使該中間體化合物18g和三乙基胺(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、7.79g、0.07mol)溶解到THF100mL中，冷卻至0℃。接著，滴加肉桂酰氯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、13.1g、0.07mol)，攪拌3小時(shí)后，將反應(yīng)溶液倒入水500g中，以醋酸乙酯萃取后進(jìn)行濃縮。接著，通過硅膠柱色譜法分取，得到22g具有查耳酮基作為光取向性基團(tuán)的單體a-3。〔具有光取向性基團(tuán)的構(gòu)成單元(單體a-4)的合成〕與Macromolecules2004，Vol.37，#7，p.2572同樣地操作，合成了具有偶氮基作為光取向性基團(tuán)的單體a-4?！簿哂泄馊∠蛐曰鶊F(tuán)的構(gòu)成單元(單體a-5)的合成〕與JounalofPolymerScience，PartA：PolymerChemistry，2010，Vol.48，#19，4323同樣地操作，合成了具有香豆素基作為光取向性基團(tuán)的單體a-5。〔酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的構(gòu)成單元(單體e-1)的合成〕將甲基丙烯酸(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、86g、1mol)冷卻至15℃，添加樟腦磺酸(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、4.6g、0.02mol)。接著，在反應(yīng)溶液中滴加2-二氫呋喃(KawakenFineChemicalsCo.,Ltd.制、71g、1mol、1.0當(dāng)量)。在攪拌1小時(shí)后，加入飽和碳酸氫鈉(500mL)，以醋酸乙酯(500mL)進(jìn)行萃取。接著，以硫酸鎂干燥后，將不溶物過濾后在40℃以下減壓濃縮，進(jìn)一步通過將殘?jiān)狞S色油狀物進(jìn)行減壓蒸餾，作為單體e-1，得到125g沸點(diǎn)(bp.)為54～56℃/3.5mmHg餾分的甲基丙烯酸四氫-2H-呋喃-2-酯作為無色油狀物(收率為80％)。〔酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的構(gòu)成單元(單體e-2)的合成〕將甲基丙烯酸(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、86g、1mol)冷卻至15℃，添加樟腦磺酸(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、4.6g、0.02mol)。接著，在反應(yīng)溶液中滴加乙基乙烯基醚(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、74g、1mol、1.0當(dāng)量)。攪拌1小時(shí)后，加入飽和碳酸氫鈉(500mL)，以醋酸乙酯(500mL)進(jìn)行萃取。接著，以硫酸鎂干燥后，將不溶物過濾后在40℃以下減壓濃縮，進(jìn)一步通過將殘?jiān)狞S色油狀物進(jìn)行減壓蒸餾，作為單體e-2，得到125g沸點(diǎn)(bp.)為50～52℃/3.5mmHg餾分的甲基丙烯酸乙氧基乙酯作為無色油狀物(收率為78％)?！簿哂袠?gòu)成單元s1的聚合物(P1)的合成〕將二乙二醇甲基乙基醚(以下，簡(jiǎn)記為“HS-EDM”)22g在氮?dú)鈿饬飨?，加熱?0℃并攪拌。用2小時(shí)滴加合成的單體a-1(11.1g、45mol％)、甲基丙烯酸六氟異丙基酯(以下，簡(jiǎn)記為“HFIP”)(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制、3.5g、15mol％)、甲基丙烯酸(以下，簡(jiǎn)記為“MAA”)(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、1.7g、20mol％)、甲基丙烯酸縮水甘油酯(以下，簡(jiǎn)記為“GMA”)(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、2.8g、20mol％)、自由基聚合引發(fā)劑(V-65、和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)497mg(2mol％)、及PGMEA(30g)的混合溶液。滴加結(jié)束后，通過進(jìn)一步在70℃下反應(yīng)4小時(shí)，得到具有構(gòu)成單元s1的聚合物P1的PGMEA溶液(固體成分濃度：27％)?！簿哂袠?gòu)成單元s1的聚合物(P2～P15)的合成〕除了將單體、引發(fā)劑及溶劑的種類按照下述第1表進(jìn)行變更以外，通過與聚合物P1同樣的方法，合成聚合物P2～P15。另外，下述第1表的各單體成分的欄中記載的數(shù)值為相對(duì)于單體成分的總量的各個(gè)單體的使用量(mol％)。此外，聚合引發(fā)劑的欄中記載的數(shù)值為設(shè)單體成分的總量為100mol％時(shí)的mol％。此外，實(shí)施例中使用的縮寫如下所述。<縮寫>·HFIP：甲基丙烯酸六氟異丙酯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制)·6FM：甲基丙烯酸三氟乙酯(大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)·KBM-503：3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)·C18MA：甲基丙烯酸十八烷酯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制)·MAA：甲基丙烯酸(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)·MMA：甲基丙烯酸甲酯(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)·St：苯乙烯(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)·AA：丙烯酸(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)·GMA：甲基丙烯酸縮水甘油酯(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制)·OXE-30：甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲酯(大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)·DCPM：甲基丙烯酸二環(huán)戊酯(FANCRYLFA-513M、日立化成株式會(huì)社制)·NBMA：N-丁氧基甲基丙烯酰胺(MitsubishiRayonCo.,Ltd.制)·V-601：自由基聚合引發(fā)劑(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)·V-65：自由基聚合引發(fā)劑(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)·PGMEA：甲氧基丙二醇乙酸酯(DaicelCorporation制)·HS-EDM：二乙二醇甲基乙基醚(東邦化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)表1〔其它光取向性聚合物的合成〕<聚合物P16的合成>通過與WO2010/150748的[0084]段落(合成例1)中記載的特定共聚物P1同樣的方法，得到聚合物16。<聚合物P17的合成>通過與日本特開2013-177561號(hào)公報(bào)的[0161]段落(調(diào)制例1)中記載的光取向性聚合物(A-1)同樣的方法，合成聚合物P17?！簿哂衅渌鼧?gòu)成單元的聚合物的調(diào)制〕<包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1及具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物A-1的合成>將HS-EDM(82份)在氮?dú)鈿饬飨?，加熱?0℃并攪拌。接著，用2小時(shí)滴加作為單體e-1而合成的甲基丙烯酸四氫-2H-呋喃-2-酯(43份(相當(dāng)于全部單體成分中的40.5mol％))、OXE-30(48份(相當(dāng)于全部單體成分中的37.5mol％))、MAA(6份(相當(dāng)于全部單體成分中的9.5mol％))、甲基丙烯酸羥基乙基酯(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制、11份(相當(dāng)于全部單體成分中的12.5mol％))、自由基聚合引發(fā)劑V-601(4.3份)、及PGMEA(82份)的混合溶液，通過進(jìn)一步在90℃下反應(yīng)2小時(shí)，得到聚合物A-1的溶液(固體成分濃度：40％)。另外，所得到的聚合物A-1的通過凝膠滲透色譜法(GPC)測(cè)定的重均分子量為15,000。<包含具有酸基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元a1的聚合物A-2的合成>將PGMEA(238g)在氮?dú)鈿饬飨?，加熱?0℃并攪拌。接著，用2小時(shí)滴加作為單體e-1而合成的甲基丙烯酸四氫-2H-呋喃-2-酯(240g(相當(dāng)于全部單體成分中的61.1mol％))、MAA(50.4g(相當(dāng)于全部單體成分中的17.6mol％))、MMA(27.9g(相當(dāng)于全部單體成分中的21.3mol％))、自由基聚合引發(fā)劑V-601(14.7g)、及PGMEA(238g)的混合溶液，進(jìn)一步在90℃下反應(yīng)2小時(shí)，通過在冷卻后追加PGMEA(42g)，得到聚合物A-2的溶液(固體成分濃度：38％)。所得到的聚合物A-2的通過凝膠滲透色譜法(GPC)測(cè)定的重均分子量為15,000。<包含具有交聯(lián)基團(tuán)的構(gòu)成單元a3的聚合物A-3的合成>將HS-EDM(145g)在氮?dú)鈿饬飨拢訜嶂?0℃并攪拌。接著，用2小時(shí)滴加GMA(144.7g(67.9mol％))、MAA(16.7g(12.9mol％))、St(28.1g(18.0mol％))、DCPM(3.87g(1.17mol％)、自由基聚合引發(fā)劑V-65(20.8g(5.6mol％單體量換算))、及HS-EDM(145g)的混合溶液。滴加結(jié)束后，通過在70℃下反應(yīng)4小時(shí)，得到聚合物A-3的PGMEA溶液(固體成分濃度：35％)。<包含具有酸基的構(gòu)成單元a3及具有交聯(lián)性基團(tuán)的構(gòu)成單元a2的聚合物A-4>對(duì)燒瓶?jī)?nèi)進(jìn)行氮置換后，投入459.0g溶解有2,2’-偶氮雙異丁腈9.0g的二乙二醇二甲基醚溶液。接著，投入St(22.5g)、MAA(45.0g)、DCPM(67.5g)、及GMA(90.0g)后，緩慢地開始攪拌。接著，使溶液的溫度上升至80℃，將該溫度保持5小時(shí)后，在90℃下加熱1小時(shí)使聚合結(jié)束。之后，將反應(yīng)生成溶液滴加到大量的水中使反應(yīng)物凝固。將該凝固物水洗后，再溶解于THF(200g)中，以大量的水再次使其凝固。將該再溶解及凝固的操作合計(jì)進(jìn)行3次后，將所得到的凝固物在60℃下進(jìn)行48小時(shí)減壓干燥，得到聚合物A-4。之后，按照固體成分濃度達(dá)到25重量％的方式使用二乙二醇制成聚合物A-4溶液。<包含具有酸基的構(gòu)成單元a3的聚合物A-5>將HS-EDM(11g)在氮?dú)鈿饬飨?，加熱?0℃并攪拌。接著，用2小時(shí)滴加MAA(4.3g(50.0mol％))、MMA(5.0g(50.0mol％))、自由基聚合引發(fā)劑V-601(0.497g(2mol％單體量換算))、及HS-EDM(11g)的混合溶液。滴加結(jié)束后，通過在90℃下反應(yīng)2小時(shí)，得到聚合物A-5的溶液(固體成分濃度：30％)。<包含具有酸基的構(gòu)成單元及具有交聯(lián)基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物A-6>將HS-EDM(91g)在氮?dú)鈿饬飨?，加熱?0℃并攪拌。接著，用2小時(shí)滴加OXE-30(75g(67.9mol％))、MAA(6.7g(12.9mol％))、St(11.3g(18.0mol％))、DCPM(1.5g(1.17mol％)、自由基聚合引發(fā)劑V-65(4.5g(3.0mol％單體量換算))、及HS-EDM(91g)的混合溶液。滴加結(jié)束后，通過在70℃下反應(yīng)4小時(shí)，得到聚合物A-6的溶液(固體成分濃度：30％)。<非光取向性聚合物A-7的合成>通過與日本特開2013-177561號(hào)公報(bào)的[0165]段落(調(diào)制例5)中記載的非光取向性聚合物(E-1)同樣的方法，合成了非光取向性聚合物A-7。〔交聯(lián)劑〕作為交聯(lián)劑，使用以下所示的交聯(lián)劑。<C-1>作為分子量為1,000以下的交聯(lián)劑C-1，使用多官能環(huán)氧化合物(EX-321L、NagaseChemtexCorporation制)。<HMM>六甲氧基甲基三聚氰胺(HMM、東京化成工業(yè)株式會(huì)社制)〔酸產(chǎn)生劑〕作為酸產(chǎn)生劑(光酸產(chǎn)生劑及熱酸產(chǎn)生劑)，合成或使用以下所示的酸產(chǎn)生劑。<B-1的合成>在2-萘酚(10g)、氯苯(30mL)的懸浮溶液中添加氯化鋁(10.6g)、2-氯丙酰氯(10.1g)，將混合液加熱至40℃并反應(yīng)2小時(shí)。冰冷下，在反應(yīng)液中滴加4NHCl水溶液(60mL)，添加醋酸乙酯(50mL)并進(jìn)行分液。在有機(jī)層中添加碳酸鉀(19.2g)，在40℃下反應(yīng)1小時(shí)后，添加2NHCl水溶液(60mL)并分液，將有機(jī)層濃縮后，將結(jié)晶以二異丙基醚(10mL)進(jìn)行再漿化，過濾并干燥而得到酮化合物(6.5g)。在所得到的酮化合物(3.0g)、甲醇(30mL)的懸浮溶液中添加醋酸(7.3g)、50質(zhì)量％羥基胺水溶液(8.0g)，進(jìn)行加熱回流。放冷后，加入水(50mL)，將析出的結(jié)晶過濾。冷甲醇洗滌后，干燥而得到肟化合物(2.4g)。使所得到的肟化合物(1.8g)溶解于丙酮(20mL)中，冰冷下添加三乙基胺(1.5g)、對(duì)甲苯磺酰氯(2.4g)，升溫至室溫并反應(yīng)1小時(shí)。在反應(yīng)液中添加水(50mL)，將析出的結(jié)晶過濾后，以甲醇(20mL)進(jìn)行再漿化，過濾并干燥而得到B-1(2.3g)。另外，B-1的1H-NMR光譜(300MHz、CDCl3)為δ＝8.3(d，1H)，8.0(d，2H)，7.9(d，1H)，7.8(d，1H)，7.6(dd，1H)，7.4(dd，1H)7.3(d，2H)，7.1(d.1H)，5.6(q，1H)，2.4(s，3H)，1.7(d，3H)。<B-2的合成>使1-氨基-2-萘酚鹽酸鹽4.0g懸浮于N-甲基吡咯烷酮16g中，添加碳酸氫鈉3.4g后，滴加4,4-二甲基-3-氧代戊酸甲酯4.9g，在氮?dú)鈿夥障?20℃下加熱2小時(shí)。放冷后，在反應(yīng)混合液中添加水、醋酸乙酯并分液，將有機(jī)相以硫酸鎂干燥，過濾，濃縮而得到粗B-2A。將粗B-2A通過硅膠柱色譜法純化，得到1.7g中間體B-2A。將B-2A(1.7g)與對(duì)二甲苯(6mL)混合，添加對(duì)甲苯磺酸一水合物0.23g并在140℃下加熱2小時(shí)。放冷后，在反應(yīng)混合液中添加水、醋酸乙酯并分液，將有機(jī)相以硫酸鎂干燥后，過濾，濃縮而得到粗B-2B。將THF(2mL)與粗B-2B總量混合，冰冷下滴加2M鹽酸/THF溶液6.0mL，接著滴加亞硝酸異戊酯(0.84g)，升溫至室溫(25℃)后攪拌2小時(shí)。在所得到的反應(yīng)混合物中添加水、醋酸乙酯并分液，將有機(jī)層用水洗滌后，以硫酸鎂干燥，過濾，濃縮而得到中間體粗B-2C。將中間體粗B-2C總量與丙酮(10mL)混合，在冰冷下添加三乙基胺(1.2g)、對(duì)甲苯磺酰氯(1.4g)后，升溫至室溫并攪拌1小時(shí)。在所得到的反應(yīng)混合液中添加水、醋酸乙酯并分液，將有機(jī)相以硫酸鎂干燥后，過濾，濃縮而得到粗B-2。將粗B-2以冷甲醇再漿化后，過濾，干燥而得到B-2(1.2g)。另外，B-2的1H-NMR光譜(300MHz、CDCl3)為δ＝8.5-8.4(m，1H)，8.0-7.9(m，4H)，7.7-7.6(m，2H)，7.6-7.5(m，1H)，7.4(d.2H)，2.4(s，3H)，1.4(s，9H)。<B-3>使用市售的酸產(chǎn)生劑(PAG-103、BASF制)。<下述所示的結(jié)構(gòu)的化合物B-4>按照WO2011/087011號(hào)公報(bào)的段落號(hào)0128中記載的方法來合成。[化學(xué)式33]<下述所示的結(jié)構(gòu)的化合物B-5>市售的三芳基锍鹽(GSID-26-1、BASF制)[化學(xué)式34]<TAS-200>醌二疊氮化物(TAS-200、東洋合成工業(yè)株式會(huì)社制)<PTSA>作為熱酸產(chǎn)生劑，使用對(duì)甲苯磺酸一水合物(PTSA、東京化成工業(yè)株式會(huì)社制)?！财渌煞帧?lt;堿性化合物F-1>作為堿性化合物，使用下述結(jié)構(gòu)的化合物。[化學(xué)式35]<F-554>作為表面活性劑，使用含全氟烷基非離子表面活性劑(F-554、DIC株式會(huì)社制)。<KBM-403>作為密合改良劑，使用γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(KBM-403、信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)?！矊?shí)施例1～74及比較例1～4〕將下述第2表中所示的各成分在溶劑(PGMEA)中溶解混合至固體成分濃度達(dá)到18質(zhì)量％，以口徑為0.2μm的聚四氟乙烯制過濾器進(jìn)行過濾，得到各實(shí)施例及比較例的感光性樹脂組合物。另外，表中的添加量表示各成分的以固體成分計(jì)的添加量，單位為質(zhì)量份。表2表3〔圖案化評(píng)價(jià)〕<感度>將玻璃基板(EAGLEXG、0.7mm厚(CorningIncorporated制))在六甲基二硅氮烷(HMDS)蒸氣下暴露30秒，旋涂涂布各感光性樹脂組合物后，在90℃/120秒熱板上預(yù)烘烤而使溶劑揮發(fā)，形成膜厚為3.0μm的感光性樹脂組合物層。接著，對(duì)所得到的感光性樹脂組合物層使用佳能株式會(huì)社制的MPA5500CF(高壓汞燈)，介由規(guī)定的掩模進(jìn)行曝光。進(jìn)而，將曝光后的感光性樹脂組合物層以堿顯影液(0.4％的氫氧化四甲基銨水溶液)進(jìn)行23℃/60秒鐘顯影后，以超純水淋洗20秒。將通過這些操作使10μm的孔析像時(shí)的最佳i射線曝光量(Eopt)作為感度。值越低，則越以低曝光量開口，可以說為高的感度。評(píng)價(jià)基準(zhǔn)為以下。另外，A～C時(shí)為實(shí)用上沒有問題的范圍，D判斷為有問題。將結(jié)果示于下述第3表中。A：低于150mJ/cm2B：150mJ/cm2以上且低于300mJ/cm2C：300mJ/cm2以上且低于600mJ/cm2D：未開口<透明性>在六甲基二硅氮烷(HMDS)蒸氣下暴露了30秒的玻璃基板上，旋涂涂布各感光性樹脂組合物后，在90℃/120秒熱板上進(jìn)行預(yù)烘烤而使溶劑揮發(fā)，形成膜厚為3.0μm的感光性樹脂組合物層。接著，使用超高壓汞燈按照累計(jì)照射量達(dá)到300mJ/cm2(能量強(qiáng)度：20mW/cm2、i射線)的方式進(jìn)行曝光，將該基板利用烘箱進(jìn)行230℃/30分鐘加熱后，進(jìn)一步利用烘箱在230℃下加熱2小時(shí)，得到固化膜。使用分光光度計(jì)(U-3000：株式會(huì)社日立制作所制)以波長(zhǎng)400nm測(cè)定該固化膜的透射率。單位以％表示。A～C時(shí)為實(shí)用上沒有問題的范圍，D判斷為有問題。將結(jié)果示于下述第3表中。A：95％以上B：低于95％且為90％以上C：低于90％且為80％以上D：低于80％〔取向評(píng)價(jià)〕<取向性>相對(duì)于基板通過旋涂法涂布各感光性樹脂組合物，在80℃的熱板上進(jìn)行1分鐘預(yù)干燥后，在240℃的潔凈烘箱中燒成60分鐘，形成膜厚為3μm的固化膜。接著，在中央部通過濺射及干式蝕刻形成能夠向外部連接的1cm×1cm的梳齒狀的ITO(IndiumTinOxide)透明電極(InPlaneSwitching(IPS)型)。之后，相對(duì)于上述的基板，使用紫外線偏振光曝光裝置(HC-2150PUFM、LANTECHNICALSERVICECO.,LTD.制)，通過偏轉(zhuǎn)光進(jìn)行光取向處理。接著，使用環(huán)氧樹脂系的密封材料制作了單元間隙為3μm的液晶單元。在液晶單元中注入Merck制的水平取向用液晶組合物MLC-2055，將注入口用UV固化性的封口劑密封后，在液晶單元的兩面使取向方向一致地粘貼偏振板，制作了液晶顯示元件。作為評(píng)價(jià)，對(duì)液晶顯示元件在燈箱(白色光源)上以偏振光顯微鏡的20倍倍率確認(rèn)液晶元件的取向，并評(píng)價(jià)其狀況。評(píng)價(jià)基準(zhǔn)為以下。將結(jié)果示于下述第3表中。A：沒有問題B：黑色顯示中有濃淡C：有取向缺陷，看見亮點(diǎn)D：沒有取向，完全沒有被遮光<取向感度>此外，記錄取向完成后的感度。評(píng)價(jià)基準(zhǔn)為以下。值越低，則越以低曝光量完成取向，可以說取向感度越高。將結(jié)果示于下述第3表中。A：低于300mJ/cm2B：300mJ/cm2以上且低于500mJ/cm2C：500mJ/cm2以上且低于1500mJ/cm2D：1500mJ/cm2以上〔耐濕熱性〕接著，對(duì)該液晶顯示元件施加±5V，30Hz的矩形波，確認(rèn)具有透明電極的1cm×1cm的部分被遮光的樣子(ON/OFF)。制作10個(gè)元件，將它們放入加速老化壽命試驗(yàn)機(jī)(Pressurecookertest)(溫度60℃/相對(duì)濕度90％、LH-113恒溫恒濕器、ESPECCORP.制)中并確認(rèn)24小時(shí)后的驅(qū)動(dòng)的樣子。評(píng)價(jià)基準(zhǔn)為以下。將結(jié)果示于下述第3表中。A：沒有變化B：元件的20％中有變化C：元件的50％中有變化D：沒有驅(qū)動(dòng)表4表5由第1表～第3表中所示的結(jié)果獲知，在沒有配合具有構(gòu)成單元s1的聚合物時(shí)，即使在實(shí)施光取向處理后注入液晶組合物，取向性及取向感度也均差(比較例1及2)。此外獲知，在配合了不具有構(gòu)成單元s1的其它光取向性的聚合物時(shí)，圖案化性能差(比較例3及4)。與此相對(duì)，獲知滿足上述的條件1～3中的至少一個(gè)、且配合了具有構(gòu)成單元s1的聚合物的感光性樹脂組合物在第1方式及第2方式中的任一者中，取向性及取向感度均變得良好，成為兼作取向膜的層間絕緣膜(實(shí)施例1～53(第1方式)及實(shí)施例54～74(第2方式))。當(dāng)前第1頁1 2 3 當(dāng)前第1頁1 2 3