技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種運(yùn)動臺測量系統(tǒng)、方法以及運(yùn)動臺，該運(yùn)動臺測量系統(tǒng)包括：安裝在運(yùn)動臺粗動電機(jī)兩端的加速度傳感器、與所述加速度傳感器連接的信號調(diào)理模塊、與所述信號調(diào)理模塊連接的控制模塊以及與所述控制模塊連接的電機(jī)驅(qū)動模塊，其中，所述加速度傳感器為三向正交振動的加速度傳感器。本發(fā)明采用三向正交振動的加速度傳感器，可以同時測量粗動電機(jī)在X、Y、Z三個方向的加速度，并輸出三個方向的加速度值，實(shí)現(xiàn)空間上的監(jiān)控，加速度值具有相位超前，提前判斷的優(yōu)點(diǎn)，可以及時保護(hù)運(yùn)動臺，解決掉現(xiàn)有技術(shù)中存在的安全隱患。且本發(fā)明中的每個粗動電機(jī)上的加速度傳感器均設(shè)置有兩組，可以精確獲得運(yùn)動臺的實(shí)際速度和位移。

技術(shù)研發(fā)人員：程國苗;賈輝;楊慶華;連國棟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.30
技術(shù)公布日：2017.10.24