技術(shù)編號(hào)：12033818
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻機(jī)制造領(lǐng)域，特別涉及一種運(yùn)動(dòng)臺(tái)測(cè)量系統(tǒng)、方法以及運(yùn)動(dòng)臺(tái)。背景技術(shù)現(xiàn)有的光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)臺(tái)的結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示，包括：用以承載硅片的微動(dòng)臺(tái)20和用于驅(qū)動(dòng)所述微動(dòng)臺(tái)20的粗動(dòng)臺(tái)。在對(duì)現(xiàn)有的光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)臺(tái)調(diào)試時(shí)，存在以下問(wèn)題：粗動(dòng)臺(tái)設(shè)置有兩個(gè)并列導(dǎo)軌10，每個(gè)導(dǎo)軌10上各設(shè)置有一用于驅(qū)動(dòng)微動(dòng)臺(tái)20的粗動(dòng)電機(jī)30，運(yùn)動(dòng)時(shí)要完全一致，這就存在多種安全情況，例如：出力不均，出力方向相反，一邊出力另一邊不出力，會(huì)有扭矩力，而雙導(dǎo)軌是鋼性連接，一旦不均衡會(huì)扭傷，甚至可能會(huì)撞到電機(jī)的磁鋼。微動(dòng)臺(tái)20由激光...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。