相關(guān)申請的交叉引用本申請要求的2014年12月9日提交的德國專利申請no.102014225199.0的優(yōu)先權(quán)。通過引用將該德國專利申請的全部內(nèi)容并入本文。本發(fā)明關(guān)于連接配置、具有連接配置的光刻系統(tǒng)以及制造連接配置的方法。
背景技術(shù)：
：：因?yàn)椴牧吓c制造，鏡頭由許多構(gòu)件構(gòu)成，尤其是承載結(jié)構(gòu)與光學(xué)裝置。因此，承載結(jié)構(gòu)經(jīng)由連接點(diǎn)連接至光學(xué)裝置。根據(jù)制造接合部的方式，會產(chǎn)生應(yīng)力與變形，這對于光學(xué)裝置有有害的影響。尤其是因?yàn)橛凶钚C(jī)械強(qiáng)度需求，所以迄今來說沒有應(yīng)力與變形的裝配幾乎是不可能的。除了由于該方法所發(fā)生的應(yīng)力與變形以外，裝配期間補(bǔ)償構(gòu)件的形狀與位置公差，而未因此產(chǎn)生額外應(yīng)力與變形，這也相當(dāng)重要。wo2005/106557將由壓配(force-fit)連接所產(chǎn)生變形會由分離(decoupling)元件所吸收的效應(yīng)列入考慮。因?yàn)樵摲蛛x效應(yīng)直接關(guān)于機(jī)械硬度，因此限制此程序只適用于需要高機(jī)械硬度的系統(tǒng)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：針對此背景，本發(fā)明的目的在于改善光刻系統(tǒng)的連接配置，尤其是在一方面，該連接配置是可釋放的，并且在另一方面，各構(gòu)件在安裝位置幾乎無應(yīng)力與無變形地連接。尤其是，本發(fā)明的目的為提供具有連接配置的光刻系統(tǒng)，以及制造連接配置的方法。通過光刻系統(tǒng)的連接配置實(shí)現(xiàn)此目的，其中該配置具有第一構(gòu)件、第二構(gòu)件、第一界面元件和第二界面元件，該第一界面元件在第一接合部處可釋放地連接至第一構(gòu)件，該第二界面元件在第二接合部處可釋放地連接至第二構(gòu)件。該第一界面元件具有第一接觸表面，并且該第二界面元件具有第二接觸表面。在兩個(gè)接觸表面在第三接合部處連接之前，兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)構(gòu)造為對準(zhǔn)和/或選擇為補(bǔ)償該第一構(gòu)件與該第二構(gòu)件之間的偏移。該第一界面元件的第一接觸表面與該第二界面元件的第二接觸表面在該第三接合部處通過材料配合連接來連接。該第一構(gòu)件可為承載結(jié)構(gòu)。該第二構(gòu)件可為光學(xué)裝置。該光學(xué)裝置可具有光學(xué)元件以及用于該光學(xué)元件的框架。不過，所述構(gòu)件之一也可為測量界面、參考結(jié)構(gòu)或光刻系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)構(gòu)件。該第一界面元件可釋放地連接至該第一構(gòu)件。該第二界面元件可釋放地連接至該第二構(gòu)件。該可釋放連接可為壓配(force-fit)和/或形配(form-fit)連接。壓配連接預(yù)先假定在要與另一個(gè)連接的表面上的法向力。壓配連接可通過摩擦鎖定或磁力配合來達(dá)成。只要由靜摩擦或磁力配合引起的反作用力沒有被超過，就可避免表面的相互位移。該第一界面元件的第一接觸表面與該第二界面元件的第二接觸表面通過材料配合(material-fit)連接來連接。在材料配合連接的情況中，通過原子力或分子力將連接雙方保持在一起。材料配合連接為不可釋放連接，只能通過破壞連接裝置的方式分離。材料配合連接可例如由粘性接合、焊接、熔接或硫化來執(zhí)行?！霸趦蓚€(gè)接觸表面在第三接合部處連接之前，兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)構(gòu)造為對準(zhǔn)和/或選擇為補(bǔ)償該第一構(gòu)件與該第二構(gòu)件之間的偏移”的說法可解釋成兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)可適當(dāng)傾斜和/或界面元件可被相應(yīng)選擇，如此兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)在選擇之后適當(dāng)對準(zhǔn)。在材料配合連接的情況中，該連接發(fā)生在所述構(gòu)件的應(yīng)力相對自由的狀態(tài)下。若所述構(gòu)件在粘性接合期間以無接觸方式安裝在安裝位置，則該粘性接合可補(bǔ)償接合間隙中的公差，并且只產(chǎn)生因?yàn)檎澈蟿┑膽?yīng)力。因?yàn)樵撨B接配置具有兩個(gè)可釋放接合部，則可以非破壞性地取代該第一構(gòu)件與該第二構(gòu)件。因?yàn)榻缑嬖膬蓚€(gè)接觸表面中的至少一個(gè)是可調(diào)的，以補(bǔ)償該第一構(gòu)件與該第二構(gòu)件之間的偏移，該連接配置可以意圖安裝在光刻系統(tǒng)中的方式對準(zhǔn)。那么，在第三接合部處的材料配合連接(即在該第一與第二界面元件之間)最終確保了無應(yīng)力與無變形連接。因?yàn)榻缑嬖膬蓚€(gè)接觸表面彼此對準(zhǔn)，所以可在該第三接合部處產(chǎn)生非常薄的材料配合連接。這導(dǎo)致高剛性連接配置。因?yàn)榻缑嬖膬蓚€(gè)接觸表面彼此對準(zhǔn)，所以可在該第三接合部處進(jìn)一步產(chǎn)生平行材料配合連接。這導(dǎo)致例如可在粘合劑固化期間產(chǎn)生的扭矩(torque)最小化。在連接配置的一個(gè)實(shí)施例中，第一和第二界面元件的兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)可關(guān)于最短連接路徑對準(zhǔn)，或關(guān)于與該最短連接路徑垂直的方向?qū)?zhǔn)，和/或關(guān)于兩個(gè)接觸表面關(guān)于彼此的角度對準(zhǔn)。在此情況中，可對準(zhǔn)性可涵蓋所有方向與角度。具有優(yōu)勢的是，兩個(gè)接觸表面因此可以恒定短距離對準(zhǔn)。這允許薄的第三接合部，因此高剛性連接配置，或至少平行連接點(diǎn)，具有關(guān)于該接合應(yīng)力效應(yīng)的優(yōu)勢。所述兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)可關(guān)于連接路徑對準(zhǔn)，即兩個(gè)接觸表面之間的距離可調(diào)。所述兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)可關(guān)于與該連接路徑垂直的方向?qū)?zhǔn)，即，該至少一個(gè)接觸表面可移動，使得從與該至少一個(gè)接觸表面垂直的方向觀察，該至少一個(gè)接觸表面精確地位于另一個(gè)接觸表面上。所述兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)可關(guān)于兩個(gè)接觸表面關(guān)于彼此的角度對準(zhǔn)，即是所述接觸表面可彼此平行對準(zhǔn)。根據(jù)連接配置的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，接觸表面彼此平行。也就是說，接觸表面彼此具有恒定的距離。如此，材料配合連接可良好實(shí)施，并且在該材料配合連接建立期間的應(yīng)力不會產(chǎn)生任何扭矩。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，界面元件中的至少一個(gè)具有不對稱形狀，以補(bǔ)償構(gòu)件之間的偏移。具有優(yōu)勢的是，接觸表面可因此平行定位并且彼此間具有短距離。從多個(gè)界面元件之中可選擇該兩個(gè)界面元件中的至少一個(gè)。因?yàn)樗鼋缑嬖械闹辽僖粋€(gè)構(gòu)造成可替換元件(墊片(shim))，可根據(jù)需求使用合適形狀的界面元件。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，該不對稱形狀為楔形。有利的是，楔形界面元件可補(bǔ)償接觸表面彼此之間的傾斜定位。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，第一界面元件具有基座和可傾斜可固定(tiltablefixable)元件，以相對于基座傾斜第一接觸表面。在此情況中，該基座可以壓配和/或形配連接至第一構(gòu)件。該可傾斜可固定元件可相對于該基座傾斜。在該可傾斜可固定元件對準(zhǔn)之后，其可通過該基座固定。該第一接觸表面可由該第一界面元件的可傾斜可固定元件的一側(cè)來形成。替代地或額外地，第二界面元件具有基座和可傾斜可固定元件，以相對于該基座傾斜第二接觸表面。在此情況中，該基座可以壓配和/或形配連接至第二構(gòu)件。該可傾斜可固定元件可相對于該基座傾斜。在該可傾斜可固定元件對準(zhǔn)之后，其可通過該基座固定。該第二接觸表面可由該第二界面元件的可傾斜可固定元件的一側(cè)來形成。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，第一界面元件的第一接觸表面為平面的，和/或第二界面元件的第二接觸表面為平面的。因?yàn)榻缑嬖慕佑|表面為平面的，所以接觸表面可以材料配合彼此相連。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，第一界面元件和/或第二界面元件的可傾斜可固定元件構(gòu)造成球形蓋，并且其上固定該可傾斜可固定元件的構(gòu)件具有對應(yīng)凹槽。在此情況中，該球形蓋的平面?zhèn)染哂袃蓚€(gè)接觸表面中的至少一個(gè)，并且該球形蓋的彎曲側(cè)可被夾住抵靠對應(yīng)構(gòu)件。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，該基座具有固定元件，其夾住該可傾斜可固定元件抵靠構(gòu)件用于固定。在已經(jīng)對準(zhǔn)接觸表面之后，該固定元件可固定該可傾斜可固定元件。該固定元件可具有曲率。該可傾斜可固定元件可具有對應(yīng)于該固定元件曲率的曲率。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，第一構(gòu)件具有承載結(jié)構(gòu)，并且第二構(gòu)件具有光學(xué)裝置。優(yōu)選地，可以承載結(jié)構(gòu)和光學(xué)裝置制造該連接配置。根據(jù)連接配置的另一個(gè)實(shí)施例，光學(xué)裝置具有框架和反射鏡或透鏡元件。該光學(xué)裝置可具有用于光學(xué)元件的框架。該光學(xué)裝置可為反射鏡或透鏡元件。還提供具有如所述的一個(gè)或多個(gè)連接配置的光刻系統(tǒng)，特別是euv光刻系統(tǒng)。還描述了制造光刻系統(tǒng)的連接配置的方法。該方法具有下列步驟。在步驟a)，第一界面元件可釋放地連接至第一構(gòu)件，并且第二界面元件可釋放地連接至第二構(gòu)件，如此該第一界面元件的可傾斜可固定元件和/或該第二界面元件的可傾斜可固定元件可相對于該第一構(gòu)件和/或該第二構(gòu)件傾斜。在步驟b)，該第一界面元件的第一接觸表面和/或該第二界面元件的第二接觸表面對準(zhǔn)，以補(bǔ)償?shù)谝缓偷诙?gòu)件之間的偏移。在步驟c)，該第一界面元件的可傾斜可固定元件相對于該第一構(gòu)件固定，和/或該第二界面元件的可傾斜可固定元件相對于該第二構(gòu)件固定。在步驟d)，該第一界面元件的第一接觸表面以材料配合連接至該第二界面元件的第二接觸表面。該方法制造具有兩個(gè)可釋放接合部的連接配置。如此，該第一構(gòu)件與該第二構(gòu)件可被替換。使用一個(gè)或多個(gè)可傾斜可固定元件允許對準(zhǔn)該第一界面元件的第一接觸表面和/或該第二界面元件的第二接觸表面。接著，固定所述可傾斜可固定元件。接著，通過粘性接合(adhesivebonding)，可在界面元件之間產(chǎn)生非常薄的材料配合連接。這導(dǎo)致高剛性連接配置。更進(jìn)一步，執(zhí)行在該第三接合部處的材料配合連接作為最終步驟。如此，可制造無應(yīng)力與無變形的連接配置。順序并不受限于單獨(dú)方法步驟所指定的。根據(jù)該方法的另一個(gè)實(shí)施例，步驟b)包含：通過使該第一界面元件的第一接觸表面與該第二界面元件的第二接觸表面接觸來傾斜該第一界面元件的第一接觸表面，傾斜該第一界面元件的可傾斜可固定元件，如此該第一界面元件的第一接觸表面與該第二界面元件的第二接觸表面彼此之間具有恒定距離，和/或通過使該第二界面元件的第二接觸表面與該第一界面元件的第一接觸表面接觸來傾斜該第二界面元件的第二接觸表面，傾斜該第二界面元件的可傾斜可固定元件，使該第二界面元件的第二接觸表面與該第一界面元件的第一接觸表面彼此之間具有恒定距離。具有優(yōu)勢的是，通過可傾斜可固定元件可對準(zhǔn)接觸表面。進(jìn)一步說明制造光刻系統(tǒng)的連接配置的方法。該方法具有下列步驟。在步驟a)，選擇和/或制造第一界面元件和第二界面元件。在步驟b)，該第一界面元件可釋放地連接至第一構(gòu)件。在步驟c)，該第二界面元件可釋放地連接至第二構(gòu)件。在步驟d)，該第一界面元件的第一接觸表面以材料配合連接至該第二界面元件的第二接觸表面。該方法制造具有兩個(gè)可釋放接合部的連接配置。如此，該第一構(gòu)件與該第二構(gòu)件可被替換。通過界面元件的選擇和/或制造，可提供合適的界面元件，以補(bǔ)償構(gòu)件之間的偏移。如此，界面元件的接觸表面彼此平行對準(zhǔn)。接著，通過粘性接合，可在界面元件之間產(chǎn)生非常薄的材料配合連接。這導(dǎo)致高剛性連接配置。更進(jìn)一步，執(zhí)行在第三接合部處的材料配合連接作為最終步驟。如此，可制造無應(yīng)力與無變形的連接配置。順序并不受限于單獨(dú)方法步驟所指定的。根據(jù)該方法的另一個(gè)實(shí)施例，首先測量在該第一構(gòu)件與該第二構(gòu)件之間可用的空間，以能夠選擇具有合適形狀的界面元件。具有優(yōu)勢的是，界面元件的接觸表面在選擇與連接至構(gòu)件之后彼此平行對準(zhǔn)。根據(jù)該方法的另一個(gè)實(shí)施例，步驟a)包含：從一組界面元件中選擇第一界面元件和/或第二界面元件，該組界面元件包含具有不同幾何形狀的多個(gè)界面元件。有利的是，合適的界面元件可從一組界面元件當(dāng)中選取。根據(jù)該方法的另一個(gè)實(shí)施例，步驟a)包含：通過研磨、銑削或切割來制造第一界面元件和/或第二界面元件。有利的是，界面元件可直接從基本形狀制造。根據(jù)該方法的另一個(gè)實(shí)施例，步驟d)包含以下步驟：在步驟d1)，第一接觸表面與第二接觸表面移動遠(yuǎn)離彼此，使得粘合劑可施加于兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)上。在步驟d2)，將粘合劑施加于兩個(gè)接觸表面中的至少一個(gè)上。在步驟d3)，將接觸表面放在一起并粘性接合。有利的是，通過該材料配合連接可制造無應(yīng)力與變形的連接配置。針對所提出設(shè)備說明的實(shí)施例與特征相應(yīng)應(yīng)用于所提出的方法。本發(fā)明的其他可能實(shí)施方式也包含上面或底下關(guān)于示例實(shí)施例所描述的特征或?qū)嵤├慕M合(未明確提及)。在此情況中，本領(lǐng)域技術(shù)人員也可增加單獨(dú)方面，改善或強(qiáng)化本發(fā)明各基本形式。附圖說明本發(fā)明的其他有利構(gòu)造與方面為從屬權(quán)利要求的主題以及本發(fā)明示例性實(shí)施例的主題，如底下所描述。更進(jìn)一步，在參閱附圖的優(yōu)選實(shí)施例幫助之下，更詳細(xì)解釋本發(fā)明。圖1顯示euv光刻系統(tǒng)的示意圖；圖2a顯示承載結(jié)構(gòu)和光學(xué)裝置的示意圖；圖2b顯示具有圖2a中的承載結(jié)構(gòu)與光學(xué)裝置的連接配置的第一實(shí)施例的示意圖；圖3顯示連接配置的第二實(shí)施例示意圖；圖4顯示圖3中的連接配置的詳細(xì)剖面圖；圖5顯示用于制造圖3和圖4中的連接配置的設(shè)備的示意圖；以及圖6顯示使用5中的設(shè)備，制造圖3和圖4中的連接配置的方法的示意流程圖。具體實(shí)施方式除非另外指示，否則圖內(nèi)相同的參考編號代表相同或功能相等的元件。更進(jìn)一步，請注意，圖內(nèi)所呈現(xiàn)并不必然按照實(shí)際的比例。圖1顯示包含光束成形系統(tǒng)102以及照明系統(tǒng)104和投射系統(tǒng)106的euv光刻系統(tǒng)100的示意圖。光束成形系統(tǒng)102、照明系統(tǒng)104和投射系統(tǒng)106分別提供于真空外殼內(nèi)，其借助于抽空設(shè)備(未詳細(xì)顯示)抽真空。真空外殼由機(jī)械空間(未詳細(xì)顯示)所包圍，其中提供用于機(jī)械移動或光學(xué)元件調(diào)整的設(shè)備。在該機(jī)械空間內(nèi)可進(jìn)一步提供電控制器等等。光束成形系統(tǒng)102具有euv光源108、準(zhǔn)直器110以及單色器(monochromator)112。例如：可提供等離子體源或同步加速器源(其發(fā)出在euv范圍(極紫外范圍)內(nèi)的輻射，即是波長范圍從5nm至20nm)作為euv光源108。euv光源108所發(fā)出的輻射首先由準(zhǔn)直器110準(zhǔn)直，在此由單色器112過濾出所要的操作波長。因此光束成形系統(tǒng)102調(diào)整euv光源108所發(fā)出光的波長以及空間分布。由euv光源108所產(chǎn)生的euv輻射114具有相對低的空氣透射率，因此將光束成形系統(tǒng)102內(nèi)、照明系統(tǒng)104內(nèi)以及投射系統(tǒng)或投影鏡頭106內(nèi)的光束引導(dǎo)空間抽空。在所呈現(xiàn)的示例中，照明系統(tǒng)104具有第一反射鏡116和第二反射鏡118。這些反射鏡116、118可例如配置成用于光瞳成形的分面鏡，并且用于引導(dǎo)euv輻射114至光掩模120上。光掩模120同樣配置為反射光學(xué)元件，并且可布置在系統(tǒng)102、104、106之外。光掩模120具有一結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)通過投射系統(tǒng)106以縮小比例成像于晶片122等等上。為此，投射系統(tǒng)106在光束引導(dǎo)空間內(nèi)具有例如第三反射鏡124和第四反射鏡202。應(yīng)注意，euv光刻系統(tǒng)100的反射鏡數(shù)量并不受限于所呈現(xiàn)的數(shù)量，可提供更多或更少反射鏡。更進(jìn)一步，反射鏡的前側(cè)一般都為彎曲的，用于光束成形。圖2a舉例顯示第四反射鏡202。第四反射鏡202安置于框架204上(反射鏡支撐框架)，第四反射鏡202和框架204可一起形成光學(xué)裝置206?？蚣?04具有楔形突出物208-1和突出物208-2。在此情況中，此楔形突出物208-1代表框架204的任意形狀接觸元件。與楔形突出物208-1相對的是第一界面元件210-1，并且類似地與突出物208-2相對的是第一界面元件210-2。第一界面元件210-1、210-2分別以可釋放的連接216，例如壓配連接和/或形配連接，尤其是螺紋連接(screwing)，固定在承載結(jié)構(gòu)212上。在楔形突出物208-1與相對的第一界面元件210-1之間，并且在突出物208-2與相對的第一界面元件210-2之間，可分別看見間隙214。間隙214代表第二界面元件218和組裝間隙所需的空間。圖2b顯示具有圖2a中承載結(jié)構(gòu)212和光學(xué)裝置206的連接配置200a的第一實(shí)施例。間隙214以楔形第二界面元件218-1并且以第二界面元件218-2封閉。以可釋放連接，在第一接合部220處，將與楔形突出物208-1相對的第一界面元件210-1與承載結(jié)構(gòu)212連接?？蚣?04的楔形突出物208-1在第二接合部222處可釋放地連接至楔形第二界面元件218-1。與楔形突出物208-1相對的第一界面元件210-1具有第一接觸表面226，其面向第二界面元件218-1的方向。楔形第二界面元件218-1具有第二接觸表面228，其面向第一界面元件210-1的方向。第一界面元件210-1和楔形第二界面元件218-1以材料配合在第三接合部224處彼此相連，該第三接合部224位于第一接觸表面226與第二接觸表面228之間。第一接觸表面226與第二接觸表面228之間的直接連接路徑或間隙尺寸(即是兩接觸表面226、228之間的距離)，可受到不同厚度界面元件210-1、218-1的選擇的影響。關(guān)于與直接連接路徑垂直的方向，執(zhí)行兩接觸表面226、228相對于彼此的調(diào)整，和/或利用選擇合適的界面元件210-1、218-1，來執(zhí)行同樣大的接觸表面226、228的選擇。兩接觸表面226、228關(guān)于彼此的角度會受到楔形界面元件218-1的角度選擇的影響，為此，可從多個(gè)具有不同楔形角度的楔形界面元件當(dāng)中選擇界面元件218-1。通過界面元件的機(jī)器處理，例如研磨，可形成楔形界面元件218-1。類似地，突出物208-2、第二界面元件218-2、與突出物208-2相對的第一界面元件210-2和承載結(jié)構(gòu)212可彼此相連。在圖2b中，顯示具有兩突出物208-1、208-2的連接配置200a。作為替代，也可有多個(gè)突出物208或只有一個(gè)突出物208。在此情況中，優(yōu)選為三個(gè)突出物分布在連接區(qū)域上。在進(jìn)一步替代方案中，并無突出物208。在此情況中，第二界面元件218可釋放地直接連接至框架204。因?yàn)槌休d結(jié)構(gòu)212和第一界面元件210以及具有突出物208的框架204和第二界面元件218可釋放地彼此相連，可取代承載結(jié)構(gòu)212和光學(xué)裝置206。因?yàn)殚g隙214可以具有第二界面元件218的精確配件封閉，第一接觸表面226和第二接觸表面228可彼此平行對準(zhǔn)。這允許非常薄的第三連接點(diǎn)224，進(jìn)而導(dǎo)致高剛性連接配置200a。圖2b中顯示的第二界面元件218-1為楔形的。作為替代，若需要，可以具有任意所要不對稱或?qū)ΨQ形狀的界面元件來取代楔形第二界面元件218-1或第一界面元件210-1，若此第一接觸表面226可因此平行對準(zhǔn)第二接觸表面228的話。圖3顯示具有承載結(jié)構(gòu)212和光學(xué)裝置206的連接配置200b的第二實(shí)施例。光學(xué)裝置206具有圖1的第四反射鏡202和框架204。承載結(jié)構(gòu)212在第一接合部220處可釋放地連接至第一界面元件210。光學(xué)裝置206通過框架204在第二接合部222處可釋放地連接至第二界面元件218。第一界面元件210具有第一接觸表面226，其面向第二界面元件218的方向。第二界面元件218具有第二接觸表面228，其面向第一界面元件210的方向。第一界面元件210和第二界面元件218以材料配合在第三接合部224處彼此相連，該第三接合部位于第一接觸表面226與第二接觸表面228之間。第二界面元件218可相對于光學(xué)裝置206旋轉(zhuǎn)。如此，第二接觸表面228可與第一接觸表面226平行對準(zhǔn)。那么，第二界面元件218可固定在光學(xué)裝置206上，如此就不可能旋轉(zhuǎn)。接觸表面226、228的平行對準(zhǔn)允許非常薄的第三接合部224，進(jìn)而導(dǎo)致高剛性連接配置200b。因?yàn)槌休d結(jié)構(gòu)212和第一界面元件210以及光學(xué)裝置206的框架204和第二界面元件218可釋放地彼此相連，可取代承載結(jié)構(gòu)212和光學(xué)裝置206。第二界面元件218可具有基座(圖3中未顯示)和可傾斜可固定元件300。該基座可釋放地連接至光學(xué)裝置206的框架204。第二界面元件218的可傾斜可固定元件300可包含第二接觸表面228。那么，第二接觸表面228可相對于該基座傾斜并相對于框架204傾斜。在對準(zhǔn)第二接觸表面228之后，可傾斜可固定元件300通過該基座固定在框架204上。承載結(jié)構(gòu)212優(yōu)選由陶瓷構(gòu)成。框架204也可由陶瓷或金屬構(gòu)成。界面元件210、218優(yōu)選包含陶瓷或金屬。在金屬的情況中，優(yōu)選使用殷鋼(invar)，即具備非常低熱膨脹行為的鐵鎳合金。在第三接合部224處可用多成分粘合劑進(jìn)行粘性接合。圖2a、圖2b和圖3分別顯示圖1中euv光刻系統(tǒng)的第四反射鏡202。不過，連接配置200a、200b可用于euv光刻系統(tǒng)100的任何其他反射鏡，或用于euv光刻系統(tǒng)100的另一個(gè)光學(xué)裝置206。圖4顯示圖3中僅示意性描繪的連接配置200b的詳細(xì)剖面圖。第一界面元件210以螺絲釘316可釋放地固定至承載結(jié)構(gòu)212。在第一界面元件210與承載結(jié)構(gòu)212之間可插入軸向隔離物314。第二界面元件218具有可傾斜可固定元件300和基座302，如圖4中可見，可傾斜可固定元件300構(gòu)造為球形蓋。軸向隔離物314補(bǔ)償最短連接路徑，而可傾斜可固定元件300確保傾斜補(bǔ)償。作為替代，界面元件210、218也可構(gòu)造成多個(gè)部件，以滿足多種不同功能。光學(xué)裝置206具有接觸元件304，用來接觸可傾斜可固定元件300?；?02可通過螺帽308可釋放地固定至光學(xué)裝置206，或其框架204。在螺帽308與接觸元件304之間可有墊圈310。接觸元件304在其面向可傾斜可固定元件300的一側(cè)上具有對應(yīng)的凹槽。當(dāng)螺帽308被松開時(shí)，可傾斜可固定元件300可傾斜并受該凹槽引導(dǎo)。當(dāng)螺帽被旋緊時(shí)，基座302的固定元件312壓靠可傾斜可固定元件300，如此后者在第二接合部222處以壓配抵靠接觸元件304而被夾住。那么，可傾斜可固定元件300固定在其位置。通過可傾斜可固定元件300的傾斜，第一接觸表面226和第二接觸表面228可彼此平行對準(zhǔn)。接著，在第三接合部224處執(zhí)行第一接觸表面226與第二接觸表面228之間的材料配合連接。光學(xué)裝置可具有徑向或熱分離器306，用于熱補(bǔ)償。徑向或熱分離器306可包含金屬，尤其是殷鋼(invar)。圖4中所示的熱分離器306包含接觸元件304、連接腹板(web)318和體積元件320。體積元件320通過粘合劑330粘性接合至光學(xué)裝置206或其框架204。圖4中呈現(xiàn)的基座302具有凸緣中空圓筒的形狀?；?02延伸通過可傾斜可固定元件300的開口322。固定元件312由該中空圓筒的凸緣所形成。固定元件312，即中空圓筒的凸緣，沒入可傾斜可固定元件300的凹槽324中。當(dāng)螺帽308已旋緊時(shí)，該固定元件的下側(cè)326壓靠可傾斜可固定元件300的凹槽324的上側(cè)328。可傾斜可固定元件300因此壓靠元件304，并因此固定。選擇性地或額外地，第一界面元件210可具有基座302和可傾斜可固定元件300。那么，第一接觸表面226相對于承載結(jié)構(gòu)212傾斜。在界面元件210、218的球形幾何形狀情況中，對應(yīng)的接觸元件304可具有盤狀球形幾何形狀。優(yōu)選地，第一和第二接觸表面226、228為平面的。那么，可實(shí)現(xiàn)薄的第三接合部。作為替代，界面元件210、218可具有可傾斜可固定元件，其中傾斜機(jī)構(gòu)位于界面元件內(nèi)側(cè)，并且如圖3和圖4中所見，并不通過鄰接構(gòu)件206、212所實(shí)現(xiàn)。那么，可以球窩接頭或以旋轉(zhuǎn)接頭來實(shí)現(xiàn)該傾斜機(jī)構(gòu)。圖5顯示制造圖3和圖4中連接配置200b的設(shè)備416。制造連接配置200b的設(shè)備416具有第一定位裝置400和第二定位裝置410，第一定位裝置400保持承載結(jié)構(gòu)212。通過定位裝置400，可在x、y和z方向上移動承載結(jié)構(gòu)212。更進(jìn)一步，定位裝置400具有第一旋轉(zhuǎn)或球窩接頭402。因此，承載結(jié)構(gòu)212的旋轉(zhuǎn)404是可能的。第二定位裝置410保持光學(xué)裝置206的框架204。通過定位裝置，可在x、y和z方向上移動框架204。更進(jìn)一步，定位裝置410具有第二旋轉(zhuǎn)或球窩接頭412。因此，框架204的旋轉(zhuǎn)414是可能的。承載結(jié)構(gòu)212和框架204在安裝位置可通過定位裝置400、410對準(zhǔn)，即在后續(xù)使用所需的對準(zhǔn)狀態(tài)下。在此安裝位置，連接配置200b組裝時(shí)并無應(yīng)力與變形。圖6顯示使用圖5中設(shè)備416制造根據(jù)圖3和圖4中的連接配置200b的方法。在第一步驟s1，第一界面元件210可釋放地連接至承載結(jié)構(gòu)212，并且第二界面元件218可釋放地連接至光學(xué)裝置206的框架204。在此情況中，第二界面元件218的可傾斜可固定元件300相對于光學(xué)裝置206的框架204是可傾斜的。在第二步驟s2，第二界面元件218的第二接觸表面228對準(zhǔn)，以補(bǔ)償承載結(jié)構(gòu)212與光學(xué)裝置206的框架204之間的偏移。第一接觸表面226和第二接觸表面228會接觸。因此第二界面元件218的第二接觸表面228傾斜。第二界面元件218的可傾斜可固定元件300因此同樣傾斜。在接觸之后，接觸表面226、228彼此之間具有恒定距離，即是它們平行對準(zhǔn)。在第三步驟s3，第二界面元件218的可傾斜可固定元件300相對于光學(xué)裝置206的框架204固定。對準(zhǔn)之后，通過基座302的固定元件312抵靠光學(xué)裝置206的接觸元件304或其框架204，夾住第二界面元件218的可傾斜可固定元件300。因此，固定可傾斜可固定元件300。在第四步驟s4，已經(jīng)平行對準(zhǔn)的第一和第二接觸表面226、228現(xiàn)在于第三接合部224處以材料配合連接。為此，第一和第二接觸表面226、228彼此遠(yuǎn)離，直到粘合劑可施加于接觸表面226、228上。在施加粘合劑之后，將接觸表面226、228放回在一起并彼此粘性接合。作為替代，可傾斜可固定元件300也可布置在第一界面元件210中。更進(jìn)一步，界面元件210、218可具有可傾斜可固定元件300。選擇性地或額外地，在前兩個(gè)步驟之后，可測量承載結(jié)構(gòu)212與光學(xué)裝置260之間可用的空間。借助于此測量的結(jié)果，可選擇具有合適不對稱或?qū)ΨQ形狀以及正確密度的界面元件210、218，如關(guān)于圖2b的示例所描述的。光刻系統(tǒng)100不需要為euv光刻系統(tǒng)，而是也可使用不同波長的光(例如通過arf準(zhǔn)分子激光器的193nm)。更進(jìn)一步，也可使用透鏡元件取代上述反射鏡，尤其是上述的投射系統(tǒng)106。雖然已經(jīng)借助于示例實(shí)施例說明本發(fā)明，不過可用許多方式來修改。附圖標(biāo)記列表100euv光刻系統(tǒng)102光束成形系統(tǒng)104照明系統(tǒng)106投射系統(tǒng)108euv光源110準(zhǔn)直器112單色器114euv輻射116第一反射鏡118第二反射鏡120光掩模122晶片124第三反射鏡200連接配置200a根據(jù)第一實(shí)施例的連接配置200b根據(jù)第二實(shí)施例的連接配置202第四反射鏡204框架206光學(xué)裝置208框架上的突出物208-1框架上的楔形突出物208-2框架上的突出物210第一界面元件210-1與楔形突出物相對的第一界面元件210-2與該突出物相對的第一界面元件212承載結(jié)構(gòu)214間隙216可釋放連接218第二界面元件218-1楔形第二界面元件218-2第二界面元件220第一接合部222第二接合部224第三接合部226第一接觸表面228第二接觸表面300可傾斜可固定元件302基座304接觸元件306徑向或熱分離器308螺帽310墊圈312固定元件314軸向隔離物316螺絲釘318連接腹板320體積元件322可傾斜可固定元件的開口324可傾斜可固定元件的凹槽326固定元件的下側(cè)328可傾斜可固定元件的凹槽的上側(cè)330粘合劑400第一定位裝置402第一旋轉(zhuǎn)或球窩接頭404承載結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)410第二定位裝置412第二旋轉(zhuǎn)或球窩接頭414框架的旋轉(zhuǎn)416制造連接配置的設(shè)備418最短連接路徑420與最短連接路徑垂直的方向當(dāng)前第1頁12當(dāng)前第1頁12