技術(shù)編號：11634854
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。光刻系統(tǒng)的連接配置相關(guān)申請的交叉引用本申請要求的2014年12月9日提交的德國專利申請No.102014225199.0的優(yōu)先權(quán)。通過引用將該德國專利申請的全部內(nèi)容并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明關(guān)于連接配置、具有連接配置的光刻系統(tǒng)以及制造連接配置的方法。背景技術(shù)因為材料與制造，鏡頭由許多構(gòu)件構(gòu)成，尤其是承載結(jié)構(gòu)與光學(xué)裝置。因此，承載結(jié)構(gòu)經(jīng)由連接點連接至光學(xué)裝置。根據(jù)制造接合部的方式，會產(chǎn)生應(yīng)力與變形，這對于光學(xué)裝置有有害的影響。尤其是因為有最小機械強度需求，所以迄今來說沒有應(yīng)力與變形的裝配幾乎是不可能...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。