顯微鏡的制作方法

文檔序號：11449480閱讀：425來源：國知局

本發(fā)明涉及一種顯微鏡，用于探測位于物體平面上的物體的圖像。

背景技術(shù)：

由現(xiàn)有技術(shù)已知一種系統(tǒng)，其帶有物鏡和集成在顯微鏡本體中同軸照明件。在此，對照適配器被定位在顯微鏡本體中。該已知的系統(tǒng)包括變焦顯微鏡，在該顯微鏡中，同軸的照明饋入件布置在物鏡和變焦本體之間。在此可以更換這些物鏡。

此外，由現(xiàn)有技術(shù)已知一種用于復雜顯微鏡的垂直光軸，該垂直光軸位于物鏡或物鏡旋座與觀察鏡筒之間。

另外由現(xiàn)有技術(shù)已知一種用于顯微鏡的模塊化的同軸的照明件，該照明件布置在物鏡和變焦件之間。特別地，該已知的同軸模塊在立體顯微鏡中被用作明場同軸照明件。

然而，用于顯微鏡照明的已知系統(tǒng)具有缺點：單獨的照明模塊在物鏡上方布置在變焦件與物鏡之間。此外，為了進行偏光顯微和抑制圖像中的干擾的亮度背景，在物鏡下面安置了λ/4板作為單獨的構(gòu)件。由于布置了單獨的照明模塊或作為單獨構(gòu)件的λ/4板，在顯微鏡的觀察光路中需要更多的地方。已知的系統(tǒng)因而在其構(gòu)造高度方面未得到優(yōu)化。另外，具有單獨的照明模塊或者具有λ/4板作為單獨構(gòu)件的已知系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)相當復雜。此外，單獨的照明模塊的組件并非特定地用于不同的物鏡。由此降低了整個系統(tǒng)的圖像質(zhì)量，因為照明模塊必須被設(shè)計用于全部可用的物鏡。已知系統(tǒng)的另一缺點是，可用于操作物體的凈工作距離(即在物鏡與物體平面之間的空留空間)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

基于已知的現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的目的是，提出一種顯微鏡，用于探測位于物體平面中的物體的圖像，其特征在于小的結(jié)構(gòu)高度、最大的凈工作距離、簡單的構(gòu)造和高的圖像質(zhì)量。

該目的通過一種具有權(quán)利要求1的特征的顯微鏡得以實現(xiàn)。有利的改進在從屬權(quán)利要求中給出。

利用具有權(quán)利要求1的特征的顯微鏡，實現(xiàn)了小的結(jié)構(gòu)高度、最大的凈工作距離、簡單的構(gòu)造和高的圖像質(zhì)量，因為特別是集成到顯微鏡物鏡中的分光器被設(shè)置用來輸入同軸的垂直照明。

在這里，集成到顯微鏡物鏡中的分光器在觀察光路中布置在物體平面與圖像平面之間，且在照明光路中布置在光源與物體平面之間，從而由光源產(chǎn)生的光能偏轉(zhuǎn)到位于物體平面中的物體上。觀察光路和照明光路優(yōu)選至少部分地同軸。由此可以實現(xiàn)用于顯微鏡的同軸照明。另外，通過把集成到顯微鏡物鏡中的分光器布置在觀察光路或照明光路中，實現(xiàn)了顯微鏡的小的結(jié)構(gòu)高度、優(yōu)化的凈工作距離、簡單的構(gòu)造和高的圖像質(zhì)量。

在這里，圖像平面可以是視覺的即傳統(tǒng)地設(shè)有鏡筒的顯微鏡的中間圖像平面，或者是數(shù)字顯微鏡的圖像檢測單元比如圖像傳感器的攝像平面。同軸的垂直照明相當于利用側(cè)向地輸入的光從上面照明物體。在此，用于照明的光源設(shè)置在物體平面的上方。另外，觀察光路和照明光路在此至少部分地同軸。

有利的是，分光器經(jīng)過構(gòu)造，從而由光源產(chǎn)生的光輸入到觀察光路中。分光器相對于光源經(jīng)過優(yōu)選布置，從而由光源產(chǎn)生的光側(cè)向地輸入到觀察光路中，且側(cè)向地輸入到觀察光路中的光偏轉(zhuǎn)到位于物體平面中的物體上。由此可以實現(xiàn)側(cè)向地輸入由光源產(chǎn)生的光，用于顯微鏡的同軸照明。

優(yōu)選地，在照明光路中在光源與物體平面之間，在顯微鏡座架的面向顯微鏡物鏡的部分中，設(shè)置照明視場光圈和孔徑光圈，從而滿足用于物體照明的科勒條件。由此可以實現(xiàn)對位于物體平面中的物體的科勒照明。

替代于此，光源成像到場平面中，并通過顯微鏡物鏡成像到物體平面中，從而實現(xiàn)對物體的臨界照明。由此代替科勒照明，也可以實現(xiàn)對位于物體平面中的物體的臨界照明。

根據(jù)一種特別優(yōu)選的實施方式有利的是，在沿著照明方向布置在分光器之后的多個物鏡透鏡之間設(shè)置λ/4板，在照明方向上布置在λ/4板之后的物鏡透鏡的透鏡面經(jīng)過構(gòu)造，從而在這些透鏡面上反射的光基本上從觀察光路中偏轉(zhuǎn)出來。由此可以把具有高折光力的物鏡透鏡布置在顯微鏡物鏡的面向物體平面的端部上。

λ/4板尤其是位于物鏡的被照明光路以及觀察光路同樣利用的部分中。

此外有利的是，顯微鏡的特征在于集成到顯微鏡物鏡中的折射部件，其中，顯微鏡物鏡的面向物體平面的部分在觀察光路中布置在物體平面與圖像平面之間，且在照明光路中布置在光源與物體平面之間，其中，集成到顯微鏡物鏡中的折射部件在照明方向上布置在分光器之前，且在照明光路中在光源與物體平面之間布置在顯微鏡物鏡的面向光源的部分中，從而照明孔徑對應于顯微鏡物鏡的物鏡孔徑。由此可以單獨地調(diào)整照明孔徑，而無需用于同軸照明的復雜的布置。同樣，通過可單獨地與顯微鏡物鏡適配的折射部件，可以實現(xiàn)在物體場中優(yōu)化照明的均勻性。

優(yōu)選在顯微鏡物鏡中設(shè)置對照部件。由此可以例如實現(xiàn)清晰地照明位于物體平面中的物體。

此外有利的是，顯微鏡的特征是集成到顯微鏡物鏡中的接口，用于移入不同的對照部件。由此可以使得這些對照部件靈活地適配于相應的顯微鏡物鏡，或者把按不同方式設(shè)計的對照部件引入到照明光路中。

顯微鏡物鏡優(yōu)選是可拆卸的顯微鏡物鏡，其可安裝在顯微鏡座架上或者可拆下。

根據(jù)其它實施例，提出一種顯微鏡物鏡。該顯微鏡物鏡包括顯微鏡物鏡殼體、多個設(shè)置在該物鏡殼體中的物鏡透鏡和至少一個集成在物鏡殼體中的分光器，該分光器被設(shè)置用來輸入同軸的垂直照明。

根據(jù)其它實施例，提出一種顯微鏡系統(tǒng)。該顯微鏡系統(tǒng)包括一種示范性的顯微鏡、一種示范性的帶有分光器的顯微鏡物鏡和至少一個無分光器的其它的可拆卸的顯微鏡物鏡。在此，在安裝無分光器的物鏡時的工作距離和/或焦距大于在安裝帶有分光器的物鏡時的工作距離和/或焦距。

本發(fā)明特別是克服了用于顯微鏡照明的已知系統(tǒng)的如下缺點。對于放大程度小的物鏡，無需在主要情況下進行同軸照明。而對于已知的系統(tǒng)來說，用于同軸照明的分光器固定地與變焦系統(tǒng)連接，由此妨礙了針對放大程度小的物鏡優(yōu)化整個系統(tǒng)。已發(fā)現(xiàn)，特別是放大程度小的物鏡可以受益于把透鏡安置在通常被用于同軸照明的分光器占據(jù)的安裝空間中。對于折射率小的這些物鏡即帶有較大焦距的物鏡來說，由于透鏡數(shù)量較少，像差矯正的代價下降，這一事實能實現(xiàn)增大這種物鏡的工作距離。附加于此，就已知的系統(tǒng)而言，放大率小的這些物鏡的固定地集成的以例如50/50的分度比例為特點的分光器，在探測器上持久地引起較小的亮度。在此，光源亮度的必需的提高引起光源地點的較高的溫度以及在樣本地點的較高的照明強度。

而本發(fā)明卻能實現(xiàn)有利于工作距離的優(yōu)化，其方式為，把分光器集成在物鏡中。由此可以實現(xiàn)最大可能的工作距離。由于可以采用利用自己的光源的照明方案，所以采用本發(fā)明能夠控制光源亮度，而獨立于可能同時采用的第二種照明，比如環(huán)形光。這對于已知的系統(tǒng)來說是不可能的，因為這里針對兩種照明即環(huán)形光照明和同軸照明采用了一個光源。附加地，本發(fā)明防止對顯微鏡的非最佳的操作，因為代替用于放大率小的物鏡的同軸照明，可以規(guī)定另一種照明。

在已知系統(tǒng)的垂直光軸中，分光器物塊會擺出來。這雖然防止了較高的照明強度。但在工作距離方面也產(chǎn)生了剛剛提到的那些缺點。另外，這些已知的系統(tǒng)雖然能實現(xiàn)對照或清晰的照明。然而這些已知的系統(tǒng)相當復雜，因為與照明軸固定地連接的對照單元在其特性方面必須涵蓋全部被設(shè)置應用在顯微鏡中的物鏡。

而本發(fā)明卻能實現(xiàn)把對照單元在構(gòu)造上固定地集成到物鏡中。這種示范性的應用相比于現(xiàn)有技術(shù)具有如下優(yōu)點：對照單元能滿足物鏡的特定條件，這導致提高了對照單元的功效。相比之下，就已知的伴有模塊化的、同軸的照明的系統(tǒng)而言，通常無法實現(xiàn)對照。

附圖說明

本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點可由后續(xù)說明得到，該說明借助實施例結(jié)合附圖詳述本發(fā)明。其中：

圖1為示范性的顯微鏡的示意圖，其用于利用圖像傳感器探測位于物體平面上的物體的圖像；

圖2為根據(jù)圖1的示范性的顯微鏡的示意圖，帶有成像光路，用于表明對物體的臨界照明。

具體實施方式

圖1所示為示范性的顯微鏡10的示意圖，其用于利用圖像傳感器16探測位于物體平面12上的物體14的圖像。部件16也可以被認為是中間圖像面，進而被認為是用于在顯微鏡中進行視覺觀察的接口。如圖1中所示，顯微鏡10包括顯微鏡座架18和顯微鏡物鏡20。在這里，顯微鏡座架18和顯微鏡物鏡20是顯微鏡10的兩個彼此分開的組件。圖1中所示的顯微鏡10還包括集成到顯微鏡座架18中的光源22。如圖1中所示，圖像傳感器16是安置在顯微鏡座架18上的探測器11的組成部分。替代地，也可以在視覺系統(tǒng)中設(shè)置鏡筒。圖像傳感器16用于探測位于物體平面12上的物體14的兩維的圖像。

另外在圖1中示出在物體平面12與圖像傳感器16之間的帶有軸線13的觀察光路以及在光源22和物體平面12之間的照明光路，該照明光路帶有與軸線13至少部分地同軸的軸線15。觀察光路和照明光路至少部分地同軸。在此，同軸的觀察光路或照明光路垂直于物體平面12。照明方向被規(guī)定為由光源22產(chǎn)生的光的方向，所述光沿著照明光路15在物體平面12的方向上傳播。

如圖1中所示，顯微鏡物鏡20包括面向光源22的部分和面向物體平面12的部分。顯微鏡物鏡20還包括集成的分光器24。此外，顯微鏡物鏡20包括集成的折射部件28，該折射部件在照明方向上布置在分光器24之前，并設(shè)置在顯微鏡物鏡20的面向光源22的部分中。在折射部件28與分光器24之間設(shè)置了對照部件36。此外，顯微鏡物鏡20包括集成的λ/4板26，該板在照明方向上布置在分光器24之后，并設(shè)置在顯微鏡物鏡20的面向物體平面12的部分中。λ/4板26布置在多個物鏡透鏡40a～40d之間，這些物鏡透鏡在照明方向上布置在分光器24之后。在這里，物鏡透鏡40a、40b在照明方向上布置在λ/4板26之前，而物鏡透鏡40c、40d在照明方向上布置在λ/4板26之后。工作距離17等于在顯微鏡物鏡20的面向物體平面12的端面9與物體平面12之間的距離。

顯微鏡座架18包括面向顯微鏡物鏡20的部分。顯微鏡座架18的面向顯微鏡物鏡20的該部分包括在照明方向上布置在光源22之后的光學部件38a、38b和在照明方向上布置在光學部件38a、38b之后的照明視場光圈30。顯微鏡座架18面向顯微鏡物鏡20的部分還包括在照明方向上布置在照明視場光圈30之后的偏光器32。另外，在觀察光路13上，在物體平面12與圖像傳感器16之間，在分光器24的光流下游設(shè)有分析器34。在此，分析器34是安置在顯微鏡座架18上的探測器11的組成部分。

偏光器32的圖1中所示的位置例如在座架18中示出。偏光器也可以集成在物鏡中。此外，分析器也可以替代地集成在座架上的探測器單元中。

除了顯微鏡物鏡20之外，顯微鏡10還包括無分光器的另一顯微鏡物鏡42，該顯微鏡物鏡帶有多個物鏡透鏡44a～44c。圖1中所示的顯微鏡系統(tǒng)特別是包括帶有分光器24的顯微鏡物鏡20和無分光器的另一顯微鏡物鏡42。在這里，顯微鏡物鏡20、42分別是可拆卸的顯微鏡物鏡。此外，在安裝無分光器的物鏡42時的工作距離19和/或焦距大于在安裝帶有分光器24的物鏡20時的工作距離和/或焦距。

對于把另一顯微鏡物鏡42在觀察光路13中設(shè)置在物體平面12與圖像傳感器16之間的情況，在顯微鏡10中替代于或附加于垂直照明，規(guī)定了透射光照明、斜光照明或環(huán)形光照明。這種替代的或附加的照明在圖1中未示出。垂直照明通過按圖1中所示的方式在物體平面12與圖像傳感器16之間把顯微鏡物鏡20引入到觀察光路13中來實現(xiàn)。

按圖1中所示的布置，光源22是發(fā)光二極管(led)，光學部件38a、38b是用于照明光路的專用透鏡，折射部件28是平凸透鏡，物鏡透鏡40a～40d和44a～44c是分別形成顯微鏡物鏡20或42的物鏡透鏡系統(tǒng)的透鏡。

集成到顯微鏡物鏡20中的分光器24用于把由光源22產(chǎn)生的光側(cè)向地輸入到觀察光路13中。此外，側(cè)向地輸入到觀察光路13中的光在使用分光器24的情況下轉(zhuǎn)向到位于物體平面12中的物體14上。為了把同軸光輸入到觀察光路13中，將分光器24集成到顯微鏡物鏡20中，這樣就能實現(xiàn)有利于工作距離地優(yōu)化整個系統(tǒng)。稱為同軸光的光是輸入到觀察光路中的光，所述光轉(zhuǎn)向到位于物體平面12中的物體14上。像圖1中所示的其它顯微鏡物鏡42那樣，無需同軸分光器的物鏡可以被實現(xiàn)具有較大的工作距離和/或較大的焦距，即放大倍數(shù)的較大的變化范圍。由此可以有利地利用用于這些物鏡的有限的安裝空間。像顯微鏡物鏡42那樣無需分光器的物鏡尤其可以被重量優(yōu)化，且被實現(xiàn)以較小的體積。這對于使用者來說尤其是在如下方面是有利的：在傾斜式座架上使用這種顯微鏡系統(tǒng)時，樣本比如具有高的構(gòu)件的印制電路板，可以占用明顯較大的體積，而不會在傾翻時使得樣本與物鏡發(fā)生碰撞。

在照明方向上布置在光源22之后的照明視場光圈30用于給位于物體平面12中的物體14提供科勒照明。在此，照明視場光圈30經(jīng)過適當布置，從而滿足用于物體14的照明的所謂的科勒條件。為了給不同的顯微鏡物鏡供應以用于照明物場的光，同軸光路即至少部分地同軸的觀察光路或照明光路應滿足孔眼成像和小孔成像的可由科勒照明原理導出的條件。如果給定了孔眼和場的嚴格的指配關(guān)系，則場平面f中的光斑延展負責照明場，直至場邊緣(feldrand)。在孔徑光圈平面中的光斑的最大延展決定了物體中的最大的照明角度。該照明角度應經(jīng)過適當選擇，從而在物體上反射的光束經(jīng)由觀察路徑傳輸至探測器(眼睛或攝像機)。

同樣，在同軸光路中可以采用所謂的臨界照明。在這種情況下，光源22成像到場平面f中，并利用顯微鏡物鏡20或42成像到也稱為樣本面的物體平面12的附近。如果要破壞從光源22發(fā)出的光的結(jié)構(gòu)，則這可以特定于每個顯微鏡物鏡各自地通過光學平面的磨毛在顯微鏡物鏡20的也稱為照明部分的、面向光源22的部分中發(fā)生。

圖2所示為根據(jù)圖1的示范性的顯微鏡10的示意圖，其帶有成像光路21a、21b，用于表明對物體的臨界照明。在圖2中未示出位于物體平面12中的物體。圖2中所示的成像光路21a、21b涉及由光源22發(fā)出的光的中央光束或邊緣光束。

為了把光源22成像到場平面f中，以及成像到物體平面12上，采用了在照明方向上布置在光源22之后的光學部件38a、38b。在位于物體平面12中的物體14上反射之后，產(chǎn)生了用于在探測器11的方向上反射的反射光束的相應的光路23a、23b。特別是在圖2中僅示意性地示出了成像光路21a、21b。此外，反射光路未被完全地示出，直至示出探測器11的圖像傳感器16。

集成到顯微鏡物鏡20中的λ/4板26用于影響穿越λ/4板26的光的偏光方向。此外，偏光器32和分析器34被構(gòu)造成交叉式的偏光器。也就是說，分析器34的穿越方向相對于由偏光器32產(chǎn)生的偏光方向偏轉(zhuǎn)了90°。偏光器32、λ/4板26和分析器34引起了改善的明場偏光顯微。改善的明場偏光顯微特別是通過安置和適當?shù)囟ㄏ颚?4板26來實現(xiàn)。此外，通過去除或旋轉(zhuǎn)λ/4板26，也可以實現(xiàn)暗場偏光顯微。在這種情況下，λ/4板26相比于明場偏光顯微情況下的位置偏轉(zhuǎn)45°。

為了實現(xiàn)改善的明場偏光顯微，偏光器32、λ/4板26和分析器34經(jīng)過適當配置，從而在位于物體平面12中的物體14上反射的光的偏光方向，朝向圖像傳感器16橫穿λ/4板26并到達分析器34，對應于分析器34的穿越方向。在此，由光源22產(chǎn)生的、朝向物體平面12橫穿λ/4板26的光的、通過偏光器32調(diào)節(jié)到的偏光方向，在位于物體平面12中的物體14上反射之后，在朝向圖像傳感器16再次橫穿λ/4板26時，借助于λ/4板26偏轉(zhuǎn)了90°。相反，由光源22產(chǎn)生的、在照明方向上布置在λ/4板26之前的物鏡透鏡40a、40b的透鏡面上反射的、且在反射之后到達分析器34上的光的、由偏光器32引起的偏光方向并不偏轉(zhuǎn)。此外，在照明方向上布置在λ/4板26之后的物鏡透鏡40c、40d的透鏡面強烈地彎曲，從而在這些透鏡面上反射的光從觀察光路偏轉(zhuǎn)出來。因而僅僅在位于物體平面12中的物體14上反射的、兩次地(即在照明方向上和在與照明方向相反的方向上)橫穿λ/4板26的光從分析器34穿過，從而該光被圖像傳感器16探測到。而在物鏡透鏡40a～40d的透鏡面上反射的光并不到達探測器11的圖像傳感器16。

特別地，在λ/4板26按圖1中所示布置于多個物鏡透鏡40a～40d之間的情況下，在照明方向上布置在λ/4板26之后的物鏡透鏡40c、40d是具有高折光力的物鏡透鏡。這對于光學機構(gòu)設(shè)計具有如下優(yōu)點：物鏡透鏡的折光力(brechkraft)可以布置在顯微鏡物鏡20的下端，由此增大了工作距離17。該實施方式特別是有利于下面的透鏡的高折光力的、進而曲率半徑突顯的物鏡。

替代于圖1中所示的布置，λ/4板26優(yōu)選布置在顯微鏡物鏡20的面向物體平面12的端部上。也就是說，在這種情況下，λ/4板26在觀察方向上布置在全部物鏡透鏡40a～40d之后。由此防止在所有這些物鏡透鏡40a～40d的透鏡面上的反射光到達探測器11的圖像傳感器16。

在示范性的同軸照明情況下，避免在布置于觀察光路中的物鏡透鏡的透鏡面上反射的照明光在所得到的圖像中引起干擾的亮度背景(helligkeitsuntergrund)。這通過安置交叉的偏光器即偏光器32和分析器34得到防止。在這里，設(shè)置在照明光路中的偏光器32相對于設(shè)置在觀察光路中的分析器34交叉地朝向。由此可以實現(xiàn)沒有照明光能到達圖像傳感器16，只要光的偏光狀態(tài)不發(fā)生偏轉(zhuǎn)。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例，特別是可以實現(xiàn)兩種顯微方法。這些方法是暗場偏光顯微以及明場偏光顯微。

在暗場偏光顯微的優(yōu)選實施方式中，兩個偏光器32、34適當?shù)嘏渲?，從而全部的光都被阻止，如果其偏光未受到干擾。在這種應用情況下，偏光干擾在否則反射性的樣本上僅通過干擾部位進行，從而觀察者得到了帶有明亮的干擾部位的明顯暗淡的圖像。

在明場偏光顯微的優(yōu)選實施方式中，偏光器32、λ/4板26和分析器34適當?shù)嘏渲?，從而光兩次地即來回地?jīng)過λ/4板26，由此使得返回的光的偏光方向偏轉(zhuǎn)90°。觀察者于是得到明顯明亮的圖像，因為被物體14反射回去的照明光偏轉(zhuǎn)至分析器34的穿越方向。

通過提供λ/4板26作為顯微鏡物鏡20的集成的組成部分，得到了如下優(yōu)點。可以增大物鏡與物體之間的凈工作距離。可以提高光學的成像質(zhì)量，因為不必在物鏡下面安置λ/4板，其會產(chǎn)生不可避免的球形的色像差。也可以給具有高放大率或高分辨率的物鏡設(shè)有集成的λ/4板。在一種實施方式中，λ/4板并非作為最下面的部件，而是設(shè)置在物鏡的透鏡部件之間，按照這種實施方式，雖然其下面的后續(xù)的透鏡面的反射光在原則上也能進入視野，但該實施方式具有如下優(yōu)點：可以實現(xiàn)把透鏡的折光力放置在物鏡的下端。

λ/4板26優(yōu)選可轉(zhuǎn)動地安置。由此可以控制圖像中的得到偏光的反射光與未得到偏光的反射光的比例。這允許在上述明場場景與暗場場景之間切換。

λ/4板通?？尚D(zhuǎn)。由此可以隨意地調(diào)節(jié)其對偏光的作用。特別地，在照明光路中的偏光器或偏光濾光器和在觀察光路中的分析器在工廠側(cè)被預先調(diào)節(jié)好，且相互間固定地形成90°。附加地，可以把λ/4板安置在所述地點，該板根據(jù)可旋轉(zhuǎn)的姿態(tài)允許從物體反射回來的光偏轉(zhuǎn)至分析器的穿越方向。如果使得λ/4板相對于該作用位置轉(zhuǎn)動45°，該板就不會有效地起到任何作用，也就是說，光被分析器擋住了(就好像未安置λ/4板一樣)。

集成到顯微鏡物鏡20中的折射部件28用于使得照明孔徑匹配于顯微鏡物鏡20的物鏡孔徑。在這里，折射部件28經(jīng)過選取，從而用于同軸照明的照明孔徑等于相應的設(shè)置在觀察光路中的顯微鏡物鏡20的物鏡孔徑。由此對于具有各不相同的物鏡孔徑的不同物鏡的同軸照明無需復雜的照明布置。使得照明孔徑總是等于顯微鏡物鏡20的物鏡孔徑，由此防止相應的顯微鏡物鏡20的分辨能力減小。這里有利的是，照明臂(beleuchtungsarm)的光學機構(gòu)的一部分，即設(shè)置在顯微鏡物鏡20的面向光源22的部分中的折射部件28，是相應的顯微鏡物鏡20的整體的組成部分。由此更換帶有物鏡的該部分，且允許針對物鏡單獨地調(diào)整照明光束。

此外，借助于集成的折射部件28，利用單獨地針對每個物鏡規(guī)定的折光力，能夠?qū)崿F(xiàn)按下述對同軸光路進行特定的調(diào)整：例如改善物體平面12上的均勻度。

通過在折射部件28與分光器24之間把對照部件36引入到照明光路中，可以實現(xiàn)清晰的照明。在這里，對照部件36的造型例如可以包括鐮刀形的或圓形的造型，或者包括帶直邊的造型。這種造型尤其可以滿足相應物鏡的條件。

示范性的顯微鏡10特別是包括集成到物鏡中的用于輸入照明的分光器和照明光路的至少一個集成到物鏡中的折光力、固定地集成到物鏡中的對照部件、集成到物鏡中的用于移入不同的對照部件的接口48或集成到物鏡中的λ/4板，其中，該λ/4板可旋轉(zhuǎn)地安置。

通過優(yōu)選的實施方式，在顯微鏡中實現(xiàn)了照明接口。特別是在顯微鏡座架與位于物體平面上的物體之間提供了照明接口。照明接口在此對應于集成到物鏡中的分光器、集成到物鏡中的λ/4板或集成到物鏡中的折射部件。通過照明源與物鏡的在構(gòu)造上的分離，可以實現(xiàn)借助于規(guī)定的照明接口簡單且靈活地調(diào)整不同的物鏡。光源在此集成到座架中，這在熱量排放方面帶來了優(yōu)點，因為熱敏感的光學觀察機構(gòu)或物鏡在地點上進而在熱學方面與光源明顯分開地布置。對照單元集成到物鏡中，其由此可以針對物鏡中的條件進行專門設(shè)計。

附圖標記清單

10顯微鏡

11探測器

12物體平面

13、15光路的軸線

21a、21b、23a、23b光路

14物鏡

16圖像傳感器或圖像平面

17、19工作平面

18顯微鏡座架

20、42顯微鏡物鏡

21顯微鏡物鏡殼體