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窄預(yù)沉積激光去除的制作方法

文檔序號(hào):12141716閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種制造光學(xué)裝置的方法,所述光學(xué)裝置包括夾在第一導(dǎo)體層與第二導(dǎo)體層之間的一個(gè)或多個(gè)材料層,所述方法包括:

(i)接收基板,所述基板在其工作表面上具有所述第一導(dǎo)體層;

(ii)在沿著所述基板的周邊的約50%與約90%之間的區(qū)域中移除所述第一導(dǎo)體層的第一寬度,而留下沿著所述周邊與所述第一寬度共同延伸的所述第一導(dǎo)體層的襯墊;

(iii)將所述光學(xué)裝置的所述一個(gè)或多個(gè)材料層和所述第二導(dǎo)體層沉積在所述基板的所述工作表面之上;以及

(iv)沿著所述基板的基本上整個(gè)所述周邊移除所有所述層的第二寬度,其中所述移除的深度至少足以移除所述第一導(dǎo)體層,并且其中所述移除的第二寬度足以移除所述襯墊和所述第一導(dǎo)體層的沿著所述基板的所述周邊的剩余10%至50%,

其中所述第一傳導(dǎo)層和所述第二傳導(dǎo)層中的至少一個(gè)是透明的。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其還包括:

(v)移除所述光學(xué)裝置的所述一個(gè)或多個(gè)層和所述第二導(dǎo)體層的區(qū)域,從而顯露出所述第一傳導(dǎo)層的暴露部分;以及

(vi)向所述第一傳導(dǎo)層的所述暴露部分施加匯流條。

3.如權(quán)利要求1所述的方法,其中由于所述基板在周邊邊緣周圍由載體保持機(jī)構(gòu)遮掩,所述光學(xué)裝置的所述一個(gè)或多個(gè)材料層和所述第二傳導(dǎo)層沉積在所述基板的基本上整個(gè)所述工作表面之上。

4.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一寬度在與所述基板的外邊緣相距約1mm與約10mm之間的距離處。

5.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一寬度在與所述基板的所述外邊緣相距約1mm與約5mm之間的距離處。

6.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一寬度在與所述基板的所述外邊緣相距約10mm的距離處。

7.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一寬度是在約1mm與約5mm之間。

8.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一寬度是約4mm。

9.如權(quán)利要求1所述的方法,其還包括使所述下導(dǎo)體層的所述邊緣變細(xì)。

10.如權(quán)利要求2所述的方法,其還包括向所述第二導(dǎo)體層施加第二匯流條。

11.如權(quán)利要求10所述的方法,其還包括將所述光學(xué)裝置并入絕緣玻璃單元(IGU)中。

12.如權(quán)利要求10所述的方法,其還包括制造包括所述光學(xué)裝置和另一個(gè)基板的層壓物。

13.如權(quán)利要求12所述的方法,其還包括將所述層壓物并入絕緣玻璃單元中。

14.如權(quán)利要求10所述的方法,其中所述第二匯流條被施加到所述第二傳導(dǎo)層的不覆蓋所述第一傳導(dǎo)層的部分上。

15.如權(quán)利要求10所述的方法,其還包括制造至少一條L2劃線以便隔離所述光學(xué)裝置的與所述第一匯流條正交的部分。

16.如權(quán)利要求2所述的方法,其還包括制造L3劃線以便隔離所述光學(xué)裝置的在所述匯流條與所述光學(xué)裝置的有源區(qū)域之間的部分。

17.如權(quán)利要求10所述的方法,其還包括:

制造至少一條L2劃線以便隔離所述光學(xué)裝置的與所述第一匯流條正交的部分;以及

制造L3劃線以便隔離所述光學(xué)裝置的在所述第一匯流條與所述光學(xué)裝置的有源區(qū)域之間的部分。

18.如權(quán)利要求10所述的方法,其中(iv)中足以移除至少所述第一傳導(dǎo)層的所述移除的深度足以移除擴(kuò)散阻擋,并且其中所述第二匯流條被施加到所述第二傳導(dǎo)層的不覆蓋所述第一傳導(dǎo)層或所述擴(kuò)散阻擋的部分上。

19.如權(quán)利要求17所述的方法,其中所述光學(xué)裝置是全固態(tài)且無機(jī)的電致變色裝置。

20.如權(quán)利要求15所述的方法,其中所述基板是回火的或未回火的浮法玻璃,并且所述第一傳導(dǎo)層包括氟化氧化錫。

21.如權(quán)利要求1所述的方法,其還包括在(iv)之前將蒸氣阻擋層沉積在所述第二傳導(dǎo)層上。

22.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述基板是矩形的。

23.如權(quán)利要求1所述的方法,其中(ii)包括圍繞所述基板的所述周邊從三邊移除所述第一傳導(dǎo)層的所述第一寬度。

24.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述基板是圓形或卵形的。

25.如權(quán)利要求23所述的方法,其中所述基板是不規(guī)則矩形,并且所述第一寬度從所述不規(guī)則矩形的兩個(gè)短邊和一個(gè)長(zhǎng)邊被移除。

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