技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種六自由度調(diào)節(jié)裝置，包括定位基座和與所述定位基座連接的六自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述六自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括用于裝配芯片的芯片定位座，用于裝配所述芯片定位座的角度調(diào)節(jié)基板，設(shè)于所述角度調(diào)節(jié)基板上的X/Y向水平調(diào)節(jié)組件、Z向及繞X/Y向調(diào)節(jié)組件及繞Z向調(diào)節(jié)組件。本發(fā)明不僅有效實(shí)現(xiàn)對光電轉(zhuǎn)換芯片的六自由度調(diào)節(jié)，無需借助其他定位裝置，精度高、操作簡便；且光電轉(zhuǎn)換芯片的旋轉(zhuǎn)中心與光軸重合，進(jìn)行繞光軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)時，不會使其他自由度發(fā)生變化，調(diào)節(jié)快、效率高，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，重量輕便，成本低廉，切實(shí)滿足了實(shí)際應(yīng)用的需要。

技術(shù)研發(fā)人員：王凱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.31
技術(shù)公布日：2017.07.07