本發(fā)明涉及光刻機技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種六自由度調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

光電轉(zhuǎn)換芯片是將外界輸入的光信號轉(zhuǎn)換為電信號(psd)或另一種功能光信號(dmd)的一類芯片，如光電位置傳感器(psd)以及微鏡陣列(dmd)，在光刻機中具有廣泛應(yīng)用。如圖1所示，該類芯片的特點是在其外封裝1’上擁有一個感光窗口2’，用于光電信號轉(zhuǎn)換，其外形通常為扁平方六面體，且外形尺寸無嚴(yán)格的公差控制，其感光窗口2’相對外封裝1’的安裝基準(zhǔn)位置也沒有準(zhǔn)確限定，如圖2所示，該芯片的外封裝1’邊長為a，感光窗口2’邊長為b，外封裝1’安裝基準(zhǔn)位置與感光窗口2’的距離為c。由于外封裝1’一般為陶瓷件，安裝基準(zhǔn)位置不易精確控制，加上生產(chǎn)芯片時存在裝配誤差，各個芯片的a值與c值通常存在較大誤差，因此，當(dāng)以芯片外封裝1’為基準(zhǔn)對芯片定位時，其感光窗口2’與設(shè)定位置往往會有偏差。在高精度光刻機中，通常需要準(zhǔn)確定位感光窗口2’相對于光路的準(zhǔn)確位置，此時只能使用調(diào)節(jié)機構(gòu)對芯片相對光路的位置進(jìn)行六自由度調(diào)節(jié)，以將感光窗口2’相對于光路的位置找正鎖緊。

目前現(xiàn)有技術(shù)中提供的調(diào)節(jié)機構(gòu)有很多，通常只能實現(xiàn)2-3個自由度的調(diào)節(jié)功能，如圖3a所示，為二自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)，采用正交的兩個調(diào)節(jié)螺絲3’來調(diào)節(jié)活動板7’相對固定板6’沿x向和z向位置。如圖3b所示，為三自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)，采用一個定位銷4’和兩個調(diào)節(jié)鈕5’連接固定板6’和活動板7’，通過調(diào)節(jié)定位銷4’的長度以調(diào)節(jié)活動板7’的軸向位移，通過旋動調(diào)節(jié)鈕5’對活動板7’進(jìn)行繞x和繞y方向的水平調(diào)節(jié)。然而上述調(diào)節(jié)機構(gòu)都只能實現(xiàn)芯片2-3個自由度 的調(diào)節(jié)，不能滿足高精度光刻機的高精度對準(zhǔn)需求，且轉(zhuǎn)軸軸心離芯片感光窗口2’的軸心相當(dāng)遠(yuǎn)，在相對光軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)時，其它自由度也會發(fā)生變化，因此需要反復(fù)調(diào)節(jié)，操作復(fù)雜，調(diào)節(jié)效率低下。

為了實現(xiàn)六自由度的調(diào)節(jié)，現(xiàn)有技術(shù)中提供了一種六自由度調(diào)節(jié)臺，由1個雙向位移臺和4個單向調(diào)節(jié)臺拼接而成，通過調(diào)節(jié)6個滑臺上的微分頭來實現(xiàn)相應(yīng)的6自由度調(diào)節(jié)。此外，現(xiàn)有技術(shù)中還提供了一種具有角度調(diào)節(jié)功能的樣品托，該技術(shù)中將芯片固定在一個方型的固定基座上，方型的固定基座的下方伸出一v形刀口，卡在一v形塊的v形槽內(nèi)，在v形刀口的左右兩側(cè)的其中一側(cè)固定一拉簧，另一側(cè)安裝一個調(diào)節(jié)螺絲，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲使方型的固定基座帶動其上的芯片實現(xiàn)相對于v形刀口軸線的六自由度轉(zhuǎn)動。然而上述調(diào)節(jié)機構(gòu)依然存在以下三個方面的問題：一是轉(zhuǎn)軸軸心離芯片感光窗口2’的軸心較遠(yuǎn)，在相對光軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時，其它自由度也會發(fā)生變化，因此需要反復(fù)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)效率低下；二是必須結(jié)合其它調(diào)節(jié)機構(gòu)才能實現(xiàn)六自由度調(diào)節(jié)的功能，且重量和體積較大，使用不便；三是無調(diào)節(jié)鎖緊機構(gòu)，調(diào)節(jié)到位后全靠簧力壓緊而不是牢固的螺紋鎖緊，效果不可靠，在使用過程中或受到?jīng)_擊時，容易導(dǎo)致芯片發(fā)生移動從而影響定位效果，未能切實滿足實際應(yīng)用的需要。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明為了克服以上不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷、效果可靠的六自由度調(diào)節(jié)裝置。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種六自由度調(diào)節(jié)裝置，包括定位基座和與所述定位基座連接的六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)包括用于裝配芯片的芯片定位座，用于裝配所述芯片定位座的角度調(diào)節(jié)基板，設(shè)于所述角度調(diào)節(jié)基板上的x/y向水平調(diào)節(jié)組件、z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件及繞z向調(diào)節(jié)組件。

進(jìn)一步的，所述芯片定位座為圓柱體形狀，其上表面向下開設(shè)有用于裝配 所述芯片的第一凹槽，所述角度調(diào)節(jié)基板上表面向下開設(shè)有用于裝配所述芯片定位座的第二凹槽。

進(jìn)一步的，所述第二凹槽的內(nèi)半徑大于所述芯片定位座的外半徑。

進(jìn)一步的，所述第一凹槽內(nèi)側(cè)至少一邊設(shè)有定位凸臺。

進(jìn)一步的，所述第一凹槽的側(cè)邊開設(shè)有芯片拆裝孔。

進(jìn)一步的，所述芯片定位座上方設(shè)有芯片壓板，將所述芯片壓緊在所述第一凹槽內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述x/y向水平調(diào)節(jié)組件包括若干水平貫穿所述第二凹槽側(cè)壁的水平調(diào)節(jié)頂絲，使所述芯片定位座可以相對所述角度調(diào)節(jié)基板移動。

進(jìn)一步的，所述水平調(diào)節(jié)頂絲設(shè)有四個，包括一對沿x向?qū)ΨQ分布的x向水平調(diào)節(jié)頂絲和一對沿y向?qū)ΨQ分布的y向水平調(diào)節(jié)頂絲。

進(jìn)一步的，每個所述水平調(diào)節(jié)頂絲上方均設(shè)有水平鎖緊頂絲，所述水平鎖緊頂絲垂向穿過所述角度調(diào)節(jié)基板與所述水平調(diào)節(jié)頂絲接觸鎖緊。

進(jìn)一步的，所述z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件包括若干球頭定位銷和若干平端頂絲，以及與每個所述球頭定位銷連接的球頭銷升降頂絲；所述球頭銷升降頂絲與所述角度調(diào)節(jié)基板螺紋連接，并穿過所述角度調(diào)節(jié)基板與所述球頭定位銷一端的桿體連接，所述球頭定位銷另一端的球頭則與設(shè)置于所述定位基座上的定位盲孔相適配，所述平端頂絲貫穿所述角度調(diào)節(jié)基板，與所述角度調(diào)節(jié)基板螺紋連接。

進(jìn)一步的，所述球頭定位銷和所述平端頂絲的數(shù)量均為2個，所述球頭定位銷和所述平端頂絲按圓心對稱分布于所述角度調(diào)節(jié)基板上。

進(jìn)一步的，所述z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件還包括若干鎖緊螺釘，所述鎖緊螺釘穿過所述角度調(diào)節(jié)基板后與所述定位基座連接。

進(jìn)一步的，每個所述鎖緊螺釘外均套設(shè)有消隙彈簧。

進(jìn)一步的，所述繞z向調(diào)節(jié)組件包括水平設(shè)于所述角度調(diào)節(jié)基板外側(cè)的凸邊，沿水平向貫穿所述凸邊并與所述芯片定位座外側(cè)連接的角度調(diào)節(jié)桿，以及 穿過所述凸邊且位于所述角度調(diào)節(jié)桿兩側(cè)的角度調(diào)節(jié)螺絲，所述角度調(diào)節(jié)螺絲與所述角度調(diào)節(jié)桿垂直接觸連接。

進(jìn)一步的，所述芯片為光電芯片，所述芯片定位座、角度調(diào)節(jié)基板和定位基座的軸向中心均設(shè)有用于通光的通孔。

本發(fā)明提供的六自由度調(diào)節(jié)裝置，包括定位基座和與所述定位基座連接的六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)包括用于裝配芯片的芯片定位座，用于裝配所述芯片定位座的角度調(diào)節(jié)基板，設(shè)于所述角度調(diào)節(jié)基板上的x/y向水平調(diào)節(jié)組件、z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件及繞z向調(diào)節(jié)組件。本發(fā)明不僅有效實現(xiàn)對光電轉(zhuǎn)換芯片的六自由度調(diào)節(jié)，無需借助其他定位裝置，精度高、操作簡便；且光電轉(zhuǎn)換芯片的旋轉(zhuǎn)中心與光軸重合，進(jìn)行繞光軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)時，不會使其他自由度發(fā)生變化，調(diào)節(jié)快、效率高，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，重量輕便，成本低廉，切實滿足了實際應(yīng)用的需要。

附圖說明

圖1-2是現(xiàn)有光電轉(zhuǎn)換芯片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3a是現(xiàn)有二自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3b是現(xiàn)有三自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置總體結(jié)構(gòu)圖；

圖5是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)分解圖；

圖6是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)結(jié)構(gòu)分解圖；

圖8是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置芯片定位座結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置芯片角度調(diào)節(jié)基板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置角度調(diào)節(jié)基板下表面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置球頭定位銷及球頭銷升降頂絲的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖12是本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置定位基座的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1-3b中所示：1’、外封裝；2’、感光窗口；3’、調(diào)節(jié)螺絲；4’、定位銷；5’、調(diào)節(jié)鈕；6’、固定板；7’、活動板。

圖4-中所示：1、定位基座；11、定位圓盲孔；12、定位長圓盲孔；13、平端頂絲孔；14、鎖緊螺釘孔；15、通孔；2、六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)；3、芯片定位座；31、第一凹槽；32、定位凸臺；33、芯片壓板；34、定位面；35、芯片拆裝孔；4、角度調(diào)節(jié)基板；41、第二凹槽；42、水平調(diào)節(jié)頂絲孔；43、凸邊；44、圓孔；45、螺絲孔；5、x/y向水平調(diào)節(jié)組件；51、水平調(diào)節(jié)頂絲；6、z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件；61、球頭定位銷；62、球頭銷升降頂絲；63、平端頂絲；71、水平鎖緊頂絲；72、鎖緊螺釘；73、消隙彈簧；8、繞z向調(diào)節(jié)組件；81、角度調(diào)節(jié)桿；82、角度調(diào)節(jié)螺絲；9、光電轉(zhuǎn)換芯片；10、光路組件。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細(xì)描述：

如圖4-7所示，本發(fā)明提供了一種六自由度調(diào)節(jié)裝置，包括定位基座1和與定位基座1連接的六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2，六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2包括用于裝配芯片的芯片定位座3，與芯片定位座3相適配的角度調(diào)節(jié)基板4，以及設(shè)于角度調(diào)節(jié)基板4上的x/y向水平調(diào)節(jié)組件5、z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件6、繞z向調(diào)節(jié)組件8，具體的，芯片為光電轉(zhuǎn)換芯片9，芯片定位座3、角度調(diào)節(jié)基板4和定位基座1的軸向中心均設(shè)有通孔15。具體的，定位基座1用于六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2的預(yù)定位，使光電轉(zhuǎn)換芯片9相對光路處于一個近似正確的位置，便于之后采用x/y向水平調(diào)節(jié)組件5、z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件6和繞z向調(diào)節(jié)組件8以最小的調(diào)節(jié)量將光電轉(zhuǎn)換芯片9調(diào)節(jié)到正確的位置。此外，定位基座1也起到了定位容納光路組件10(如鏡筒)的作用。

如圖8所示，芯片定位座3為圓柱體形狀，其上表面向下設(shè)置有第一凹槽31，第一凹槽31為方形，第一凹槽31的面積大于通孔15的面積，第一凹槽31 內(nèi)側(cè)至少一邊設(shè)有定位凸臺32，第一凹槽31的邊角設(shè)置有芯片拆裝孔35，芯片拆裝孔35為弧形形狀。

優(yōu)選的，芯片定位座3上方設(shè)有芯片壓板33，將光電轉(zhuǎn)換芯片9壓緊在第一凹槽31的定位面34上。具體的，第一凹槽31為沉孔，在裝配光電轉(zhuǎn)換芯片9時，首先將該芯片設(shè)有感光窗口的一面向下，與定位面34相貼合，并將該芯片的側(cè)邊與定位凸臺32靠緊，接著使用芯片壓板33由上而下進(jìn)行壓緊，將該芯片固定在芯片定位座3上。

如圖9所示，角度調(diào)節(jié)基板4為圓柱體形狀，其上表面向下的中間位置設(shè)有第二凹槽41，且第二凹槽41的半徑大于通孔15的面積。芯片定位座3位于第二凹槽41內(nèi)，第二凹槽41的內(nèi)半徑大于芯片定位座3的外半徑，芯片定位座3可以相對角度調(diào)節(jié)基板4作小幅移動或轉(zhuǎn)動，以對芯片定位座3相對角度調(diào)節(jié)基板4沿x方向或y方向進(jìn)行水平調(diào)節(jié)。

請重點參照圖6，x/y向水平調(diào)節(jié)組件5包括若干水平設(shè)于第二凹槽41側(cè)壁的水平調(diào)節(jié)頂絲51，優(yōu)選的，水平調(diào)節(jié)頂絲51設(shè)有四個，包括一對沿x向?qū)ΨQ分布的x向水平調(diào)節(jié)頂絲和一對沿y向?qū)ΨQ分布的y向水平調(diào)節(jié)頂絲。具體的，第二凹槽41的側(cè)壁設(shè)有與水平調(diào)節(jié)頂絲51相適配的水平調(diào)節(jié)頂絲孔42，水平調(diào)節(jié)頂絲51設(shè)于水平調(diào)節(jié)頂絲孔42內(nèi)，通過旋動x向水平調(diào)節(jié)頂絲和y向水平調(diào)節(jié)頂絲推動芯片定位座3相對角度調(diào)節(jié)基板4分別沿x向和y向的小幅移動，以實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換芯片9沿水平x/y向的調(diào)節(jié)。

優(yōu)選的，每個水平調(diào)節(jié)頂絲51上方均設(shè)有水平鎖緊頂絲71，水平鎖緊頂絲71垂向穿過角度調(diào)節(jié)基板4與水平調(diào)節(jié)頂絲51接觸連接，具體的，當(dāng)通過水平調(diào)節(jié)頂絲51對光電轉(zhuǎn)換芯片9進(jìn)行水平x/y向調(diào)節(jié)之后，通過水平鎖緊頂絲71對其進(jìn)行鎖緊，避免在進(jìn)行其他自由度調(diào)節(jié)時發(fā)生水平x/y向位移。

請繼續(xù)參照圖6，z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件6包括若干球頭定位銷61和若干平端頂絲63、與每個球頭定位銷61螺紋連接的球頭銷升降頂絲62；球頭銷升降頂絲62與角度調(diào)節(jié)基板4螺紋連接，并穿過角度調(diào)節(jié)基板4與球頭定位銷 61一端的桿體連接，球頭定位銷61另一端的球頭則與設(shè)置于定位基座1上的定位盲孔相適配，平端頂絲63貫穿角度調(diào)節(jié)基板4，與角度調(diào)節(jié)基板4螺紋連接。

優(yōu)選的，球頭定位銷61和平端頂絲63的數(shù)量均為2個，且球頭定位銷61和平端頂絲63通過圓心對稱分布于角度調(diào)節(jié)基板4上，即一對球頭定位銷61和平端頂絲63沿x向?qū)ΨQ分布在角度調(diào)節(jié)基板4的外圈下方，用于繞x向的調(diào)節(jié)；另一對球頭定位銷61和平端頂絲63沿y向?qū)ΨQ分布在角度調(diào)節(jié)基板4的外圈下方，用于繞y向調(diào)節(jié)。定位基座1上設(shè)有分別與兩個球頭定位銷61對應(yīng)的定位圓盲孔11和定位長圓盲孔12，以及與平端頂絲63相適配的平端頂絲孔13，如圖12所示。具體的，將兩個球頭定位銷61分別插入定位基座1上表面的定位圓盲孔11和定位圓盲孔12，實現(xiàn)六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2相對光路沿豎直z向以及繞x/y向的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)；在豎直z向上，六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2采用四角支撐方式。其中2個角通過2個球頭定位銷61球面分別頂在定位圓盲孔11和定位長圓盲孔12的底平面，另兩個角依靠2個平端頂絲63頂在定位基座1上平面來定位，由于球頭定位銷61和平端頂絲63沿z向的長度可按光路要求組合調(diào)節(jié)。其中針對定位圓盲孔11的位置，通過轉(zhuǎn)動球頭銷升降頂絲62，使其在位于角度調(diào)節(jié)基板4對應(yīng)的螺孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，就可以實現(xiàn)角度調(diào)節(jié)基板4對應(yīng)一角沿z向的調(diào)節(jié)，繼而實現(xiàn)芯片定位座3對應(yīng)一角沿z向的調(diào)節(jié)，同時，由于球頭定位銷61的固定作用，此外，在角度調(diào)節(jié)基板4升降的過程中角度調(diào)節(jié)基板4不會發(fā)生沿水平x/y向的位移，定位效果可靠。針對定位長圓盲孔12的位置，除了定位圓盲孔11和定位長圓盲孔12的形狀不同，其調(diào)節(jié)機理與定位圓盲孔11位置相似，此處球頭定位銷61伸入定位長圓盲孔12內(nèi)，轉(zhuǎn)動其上方的球頭銷升降頂絲62，實現(xiàn)芯片定位座3對應(yīng)一角的升降功能。同時，六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2的另外兩個角則通過旋轉(zhuǎn)平端頂絲63在平端頂絲孔13內(nèi)進(jìn)行升降運動，以完成六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2沿z向的調(diào)節(jié)。此外定位長圓盲孔12內(nèi)的球頭定位銷61與定位圓盲孔11內(nèi)的球頭定位銷61結(jié)合也可實現(xiàn)定位六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2繞z向的軸向旋轉(zhuǎn)rz。以此完成了六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2相對于光路沿豎直z 向以及沿光軸繞x/y向的調(diào)節(jié)，也即實現(xiàn)了光電轉(zhuǎn)換芯片9相對于光路沿豎直z向以及沿光軸繞x/y向的調(diào)節(jié)。

優(yōu)選的，z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件6還包括設(shè)于角度調(diào)節(jié)基板4與定位基座1之間的若干鎖緊螺釘72，定位基座2上設(shè)有與鎖緊螺釘72相適配的鎖緊螺釘孔14。在對角度調(diào)節(jié)基板4的四個角調(diào)好之后，將鎖緊螺釘72穿過角度調(diào)節(jié)基板4與鎖緊螺釘孔14進(jìn)行鎖緊，避免其在使用過程中或受到?jīng)_擊而發(fā)生位移，從而影響定位效果。

請繼續(xù)參照圖6，鎖緊螺釘72的數(shù)量為4個，均勻分布在角度調(diào)節(jié)基板4的外圈，每個鎖緊螺釘72的外圈套設(shè)消隙彈簧73，用于在裝調(diào)過程中消掉鎖緊螺釘72與設(shè)于定位基座1上的鎖緊螺釘孔14之間的螺紋間隙，進(jìn)一步提高了定位效果。

請重點參照圖7，繞z向調(diào)節(jié)組件8包括水平設(shè)于角度調(diào)節(jié)基板4外側(cè)的凸邊43，沿水平貫穿凸邊43與芯片定位座3外側(cè)連接的角度調(diào)節(jié)桿81，以及穿過凸邊43的角度調(diào)節(jié)螺絲82，角度調(diào)節(jié)螺絲82與角度調(diào)節(jié)桿81垂直接觸連接。優(yōu)選的，凸邊43的兩側(cè)均設(shè)有與角度調(diào)節(jié)桿81垂直接觸連接的角度調(diào)節(jié)螺絲82，凸邊43內(nèi)部設(shè)有與角度調(diào)節(jié)桿81相適配的圓孔44，以及與角度調(diào)節(jié)螺絲82相適配的螺絲孔45。具體的，圓孔44的尺寸大于角度調(diào)節(jié)桿81的尺寸，角度調(diào)節(jié)螺絲82的數(shù)量為2個，位于凸邊43的兩側(cè)，且與圓孔44相通，通過這2個角度調(diào)節(jié)螺絲82的組合作用，可以對角度調(diào)節(jié)桿3在很小范圍內(nèi)進(jìn)行高精度扳動，從而實現(xiàn)芯片定位座2相對角度調(diào)節(jié)基板4的繞光軸即z向的角度調(diào)節(jié)rz。

該六自由度調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)過程如下：首先將光電轉(zhuǎn)換芯片9通過芯片壓板33與定位面34貼合，將該芯片固定在芯片定位座3上；其次，將芯片定位座3置于角度調(diào)節(jié)基板4的第二凹槽41內(nèi)，完成芯片定位座3與角度調(diào)節(jié)基板4的初步固定；接著將角度調(diào)節(jié)基板4與定位基座1通過球頭定位銷61和平端頂絲63進(jìn)行預(yù)固定；然后依次通過x/y向水平調(diào)節(jié)組件5、z向及繞x/y向調(diào) 節(jié)組件6以及繞z向調(diào)節(jié)組件8對六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2依次進(jìn)行x/y向、z向及繞x/y向以及繞z向的六自由度調(diào)節(jié)，以完成對光電轉(zhuǎn)換芯片9的六自由度調(diào)節(jié)。

由于本發(fā)明六自由度調(diào)節(jié)裝置中定位基座1和六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2均由鋁材料制成，質(zhì)量輕便，且芯片定位座3與角度調(diào)節(jié)基板4，以及六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2和定位基座1之間結(jié)構(gòu)緊湊，因此占用空間小，很好地滿足了高精度光刻機的需要。

本發(fā)明提供的六自由度調(diào)節(jié)裝置，包括定位基座1和與定位基座1連接的六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2，六自由度調(diào)節(jié)機構(gòu)2包括芯片定位座3，與芯片定位座3相適配的角度調(diào)節(jié)基板4，以及設(shè)于角度調(diào)節(jié)基板4上的x/y向水平調(diào)節(jié)組件5、z向及繞x/y向調(diào)節(jié)組件6、繞z向調(diào)節(jié)組件8。本發(fā)明不僅有效實現(xiàn)對光電轉(zhuǎn)換芯片9的六自由度調(diào)節(jié)，無需借助其他定位裝置，精度高、操作簡便；且芯片的旋轉(zhuǎn)中心與光軸重合，進(jìn)行繞光軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)時，不會使其他自由度發(fā)生變化，調(diào)節(jié)快、效率高，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，重量輕便，成本低廉，切實滿足了實際應(yīng)用的需要。

雖然說明書中對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了說明，但這些實施方式只是作為提示，不應(yīng)限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種省略、置換和變更均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。