技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)一種可調(diào)式光學(xué)裝置,包括基板、至少一支持構(gòu)件、可撓性框架、彈性元件、第一反射元件以及至少一致動(dòng)元件。支持構(gòu)件固定于基板上。可撓性框架連接支持構(gòu)件,且懸空于基板。彈性元件連接可撓性框架。彈性元件在Z軸方向上的剛性小于可撓性框架在Z軸方向上的剛性。Z軸方向垂直通過(guò)基板。第一反射元件連接彈性元件。致動(dòng)元件位于可撓性框架與基板之間或第一反射元件與基板之間。
技術(shù)研發(fā)人員:張家榮;林靖淵;毛俊凱;陳建銘;謝佑圣
受保護(hù)的技術(shù)使用者:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
文檔號(hào)碼:201510940019
技術(shù)研發(fā)日:2015.12.16
技術(shù)公布日:2017.05.24