本發(fā)明涉及一種光學(xué)裝置，且特別是涉及一種可調(diào)式光學(xué)裝置。

背景技術(shù)：

法布里-珀羅(Fabry-Perot)光學(xué)濾波器是一種利用多光束干涉原理制作而成的濾波器，其通常配置有平行排列的第一反射鏡與第二反射鏡，以定義出法布里-珀羅共振腔。在光穿透第一反射鏡，以入射至法布里-珀羅共振腔之后，光會(huì)在第一反射鏡與第二反射鏡之間來(lái)回振蕩。由于第一反射鏡與第二反射鏡之間維持特定間距，因此具有特定波長(zhǎng)的光會(huì)形成建設(shè)性干涉(constructive interference)，其中形成建設(shè)性干涉的光(即具有特定波長(zhǎng)的光)會(huì)穿透第二反射鏡，以自法布里-珀羅共振腔出射。通常而言，通過(guò)調(diào)整光入射至法布里-珀羅共振腔的角度，或者是調(diào)整第一反射鏡與第二反射鏡之間的間距，便能濾出特定波段的光。

在現(xiàn)有技術(shù)中，調(diào)整第一反射鏡與第二反射鏡之間的間距的方式大多是使第一反射鏡移動(dòng)靠近固定不動(dòng)的第二反射鏡，使得法布里-珀羅共振腔的腔長(zhǎng)(即第一反射鏡與第二反射鏡之間的間距)縮短，因此僅能夠?yàn)V出較短波段的光，且波段范圍也較窄。為使法布里-珀羅(Fabry-Perot)光學(xué)濾波器實(shí)現(xiàn)寬波段濾光，可使第一反射鏡的初始位置相對(duì)遠(yuǎn)離第二反射鏡以達(dá)成，故法布里-珀羅(Fabry-Perot)光學(xué)濾波器通常具有體積過(guò)大且縮小不易的缺點(diǎn)。因此，如何將法布里-珀羅(Fabry-Perot)光學(xué)濾波器微型化，同時(shí)實(shí)現(xiàn)寬波段濾光，便成為當(dāng)前亟待解決的問(wèn)題之一。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種可調(diào)式光學(xué)裝置，不僅符合微型化的設(shè)計(jì)需求，且能同時(shí)實(shí)現(xiàn)寬波段濾光。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明提出一種可調(diào)式光學(xué)裝置，包括基板、至少一支持構(gòu)件、可撓性框架、彈性元件、第一反射元件以及至少一致動(dòng)元件。支持 構(gòu)件固定于基板上。可撓性框架連接支持構(gòu)件，且懸空于基板。彈性元件連接可撓性框架。彈性元件在Z軸方向上的剛性小于可撓性框架在Z軸方向上的剛性。Z軸方向垂直通過(guò)基板。第一反射元件連接彈性元件。致動(dòng)元件位于可撓性框架與基板之間或第一反射元件與基板之間。

本發(fā)明提出一種可調(diào)式光學(xué)裝置，包括基板、至少一支持構(gòu)件、可撓性框架、彈性元件、第一反射元件、第二反射元件、第一致動(dòng)元件、第二致動(dòng)元件、第一外部電極墊、第二外部電極墊以及第三外部電極墊。支持構(gòu)件包括至少一固定座以及至少兩懸吊結(jié)構(gòu)。固定座固定于基板上。這些懸吊結(jié)構(gòu)分別位于可撓性框架的相對(duì)兩側(cè)?？蓳闲钥蚣芡ㄟ^(guò)這些懸懸吊結(jié)構(gòu)連接至固定座，且懸空于基板?？蓳闲钥蚣芫哂兄黧w部與兩翼部。前述兩翼部分別連接于主體部的相對(duì)兩側(cè)。彈性元件連接可撓性框架的主體部，其中彈性元件在Z軸方向上的剛性小于可撓性框架在Z軸方向上的剛性。Z軸方向垂直通過(guò)基板。第一反射元件連接彈性元件，其中主體部環(huán)繞第一反射元件，且彈性元件位于主體部與第一反射元件之間。第二反射元件設(shè)置于基板上，并與第一反射元件相對(duì)。第一致動(dòng)元件位于第一反射元件與基板之間，其中第一致動(dòng)元件為對(duì)向設(shè)置的第一電極對(duì)與對(duì)向設(shè)置的第二電極對(duì)。第一電極對(duì)的第一上電極與第二電極對(duì)的第二上電極分別連接第一反射元件，且第一電極對(duì)的第一下電極與第二電極對(duì)的第二下電極分別設(shè)置于基板上。第二致動(dòng)元件與第一致動(dòng)元件分別位于任一個(gè)懸吊結(jié)構(gòu)的相對(duì)兩側(cè)，其中第二致動(dòng)元件位于可撓性框架的各個(gè)翼部與基板之間。第二致動(dòng)元件為對(duì)向設(shè)置的第三電極對(duì)與對(duì)向設(shè)置的第四電極對(duì)。第三電極對(duì)的第三上電極與第四電極對(duì)的第四上電極分別設(shè)置于前述兩翼部上，且第三電極對(duì)的第三下電極與第四電極對(duì)的第四下電極分別設(shè)置于基板上。第一外部電極墊設(shè)置于基板上，其中第一上電極與第二上電極分別通過(guò)第一反射元件、彈性元件、可撓性框架、這些懸吊結(jié)構(gòu)以及固定座與第一外部電極墊電連接，且第三上電極與第四上電極分別通過(guò)可撓性框架、這些懸吊結(jié)構(gòu)以及固定座與第一外部電極墊電連接。第二外部電極墊設(shè)置于基板上，其中第一下電極及第二下電極分別與第二外部電極墊電連接。第三外部電極墊設(shè)置于基板上，其中第三下電極及第四下電極分別與第三外部電極墊電連接。

基于上述，本發(fā)明的可調(diào)式光學(xué)裝置可通過(guò)致動(dòng)元件驅(qū)使可撓性框架的至少部分及/或彈性元件產(chǎn)生彈性變形，以令位于可撓性框架上的第一反射元 件移動(dòng)靠近或遠(yuǎn)離基板，從而擴(kuò)大第一反射元件與基板之間的間距的可調(diào)范圍。因此，本發(fā)明的可調(diào)式光學(xué)裝置能在符合微型化的設(shè)計(jì)需求下，同時(shí)實(shí)現(xiàn)寬波段濾光。

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附的附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置的俯視示意圖；

圖2為圖1的可調(diào)式光學(xué)裝置沿剖線A-A的剖面示意圖；

圖3與圖4為圖2的可調(diào)式光學(xué)裝置的作動(dòng)示意圖；

圖5為對(duì)應(yīng)圖4的可調(diào)式光學(xué)裝置的立體示意圖；

圖6為本發(fā)明另一實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置的俯視示意圖；

圖7為本發(fā)明又一實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置的俯視示意圖。

符號(hào)說(shuō)明

100、100A、100B：可調(diào)式光學(xué)裝置

110：基板

111a：第一外部電極墊

111b：第二外部電極墊

111c：第三外部電極墊

120、120a、120b：支持構(gòu)件

121、121a、121b：固定座

122：懸吊結(jié)構(gòu)

123：第一側(cè)壁

124：第二側(cè)壁

130：可撓性框架

131：主體部

132：第一翼部

133：第二翼部

134：第一連接部

135：第二連接部

136：彈性元件

140：第一反射元件

150：第一致動(dòng)元件

151：第一電極對(duì)

151a：第一上電極

151b：第一下電極

152：第二電極對(duì)

152a：第二上電極

152b：第二下電極

160：第二致動(dòng)元件

161：第三電極對(duì)

161a：第三上電極

161b：第三下電極

162：第四電極對(duì)

162a：第四上電極

162b：第四下電極

170：第二反射元件

D1：第一間距

D2：第二間距

D3：第三間距

具體實(shí)施方式

圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置的俯視示意圖。圖2是圖1的可調(diào)式光學(xué)裝置沿剖線A-A的剖面示意圖。為求清楚表示與便于說(shuō)明，略微放大圖2的比例。請(qǐng)參考圖1與圖2，在本實(shí)施例中，可調(diào)式光學(xué)裝置100包括基板110、至少一支持構(gòu)件120、可撓性框架130、彈性元件136、第一反射元件140、第一致動(dòng)元件150以及第二致動(dòng)元件160。支持構(gòu)件120固定于基板110上?？蓳闲钥蚣?30連接支持構(gòu)件120，且懸空于基板110。彈性元件136連接可撓性框架130。第一反射元件140連接彈性元件136。第一致動(dòng)元件150位于第一反射元件140與基板110之間，且第二致動(dòng)元件160位于可撓性框架130與基板110之間。雖然本實(shí)施例是以同時(shí)配置有第一致動(dòng)元件150與第二致動(dòng)元件160作說(shuō)明，但本發(fā)明不限于此。在其他實(shí) 施例中，可僅配置有位于第一反射元件與基板之間的第一致動(dòng)元件，或者是位于可撓性框架與基板之間的第二致動(dòng)元件。另一方面，致動(dòng)元件的數(shù)量可視設(shè)計(jì)需求而調(diào)整。

基板110例如是可容許特定光波長(zhǎng)穿透的透光基板，其材質(zhì)包括玻璃、壓克力、石英、藍(lán)寶石或其他適用透光者。支持構(gòu)件120可包括至少一固定座121與至少兩懸吊結(jié)構(gòu)122(圖1示意地繪示出四個(gè))，其中固定座121與這些懸吊結(jié)構(gòu)122的材質(zhì)可包括金屬、金屬合金、半導(dǎo)體或半導(dǎo)體氧化物，或者是上述材質(zhì)的組合，又或者是其他適用的導(dǎo)電材質(zhì)。固定座121例如是固定于基板110上的框架結(jié)構(gòu)，且環(huán)繞可撓性框架130、彈性元件136、第一反射元件140、第一致動(dòng)元件150以及第二致動(dòng)元件160。懸吊結(jié)構(gòu)122分別位于可撓性框架130的相對(duì)兩側(cè)，且可撓性框架130通過(guò)這些懸吊結(jié)構(gòu)122連接至固定座121，以懸空于基板110。由于第一反射元件140通過(guò)彈性元件136連接至可撓性框架130，且可撓性框架130通過(guò)這些懸吊結(jié)構(gòu)122連接至固定座121，因此固定座121可用以間隔出第一反射元件140與基板110之間的初始間距。

另一方面，第一反射元件140可以是由金屬、金屬合金、半導(dǎo)體或半導(dǎo)體氧化物等導(dǎo)電材質(zhì)所構(gòu)成，或配置有導(dǎo)電線路層(圖未示)?？蓳闲钥蚣?30與彈性元件136可以是由半導(dǎo)體、金屬或金屬合金等彈性佳的導(dǎo)電材質(zhì)所構(gòu)成，或者是由彈性佳的非導(dǎo)電材質(zhì)(例如介電材料)所構(gòu)成，但混摻有導(dǎo)電粒子或配置有導(dǎo)電線路層(圖未示)。因此，第一反射元件140可通過(guò)彈性元件136、可撓性框架130以及支持構(gòu)件120與位于基板110上的第一外部電極墊111a電連接，其中第一外部電極墊111a位于可撓性框架130之外，而未被可撓性框架130所環(huán)繞。舉例來(lái)說(shuō)，基板110上可配置有導(dǎo)電線路層(圖未示)，用以電連接支持構(gòu)件120與第一外部電極墊111a。

在本實(shí)施例中，固定座121具有第一側(cè)壁123以及與第一側(cè)壁123相對(duì)的第二側(cè)壁124?？蓳闲钥蚣?30通過(guò)其中兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的懸吊結(jié)構(gòu)122連接至固定座121的第一側(cè)壁123，并通過(guò)另兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的懸吊結(jié)構(gòu)122連接至固定座121的第一側(cè)壁124，以使懸空于基板110的可撓性框130能與基板110保持平行。詳細(xì)而言，可撓性框架130具有主體部131、第一翼部132以及第二翼部133。第一翼部132與第二翼部133分別與主體部131保有一間隙，其中第一翼部132例如是通過(guò)第一連接部134與主體部131相連 接，且第二翼部133例如是通過(guò)第二連接部135與主體部131相連接。如圖1所示，其中兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的懸吊結(jié)構(gòu)122自固定座121延伸至第一翼部132與主體部131之間的間隙，以與第一連接部134相連接。另兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的懸吊結(jié)構(gòu)122自固定座121延伸至第二翼部133與主體部131之間的間隙，以與第二連接部135相連接。

如圖1所示，主體部131例如是框架結(jié)構(gòu)，第一反射元件140設(shè)置于此框架結(jié)構(gòu)內(nèi)，并通過(guò)彈性元件136與主體部131相連接。換言之，主體部131環(huán)繞第一反射元件140，其中彈性元件136位于主體部131與第一反射元件140之間，且環(huán)繞第一反射元件140。需說(shuō)明的是，本發(fā)明并不限定彈性元件136環(huán)繞于第一反射元件140的配置方式。在其他實(shí)施例中，彈性元件可以是位于第一反射元件的相對(duì)兩側(cè)。另一方面，彈性元件136在Z軸方向上的剛性小于可撓性框架130在Z軸方向上的剛性，其中Z軸方向平行于基板110的法線方向或重力方向，即Z軸方向垂直通過(guò)基板110。由此，當(dāng)可撓性框架130或第一反射元件140作動(dòng)時(shí)，通過(guò)彈性元件136連接至可撓性框架130的第一反射元件140仍可與基板110保持平行。以下將就此詳加說(shuō)明。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖1與圖2，在本實(shí)施例中，第一致動(dòng)元件150與第二致動(dòng)元件160分別位于任一懸吊結(jié)構(gòu)122的相對(duì)兩側(cè)。第一致動(dòng)元件150可包括對(duì)向設(shè)置(或稱對(duì)稱設(shè)置)的第一電極對(duì)151與對(duì)向設(shè)置(或稱對(duì)稱設(shè)置)第二電極對(duì)152。舉例來(lái)說(shuō)，第一電極對(duì)151相對(duì)靠近第一翼部132，而第二電極對(duì)152相對(duì)靠近第二翼部133。詳細(xì)而言，第一電極對(duì)151的第一上電極151a連接第一反射元件140，且第一電極對(duì)151的第一下電極151b設(shè)置于基板110上。相似的，第二電極對(duì)152的第二上電極152a連接第一反射元件140，且第二電極對(duì)152的第二下電極152b設(shè)置于基板110上。雖然本實(shí)施例是以第一上電極151a與第二上電極152a對(duì)稱地設(shè)置于基板110上作說(shuō)明，但本發(fā)明不限于此。在其他實(shí)施例中，第一反射元件可開(kāi)設(shè)用以容納第一上電極與第二上電極的兩容置空間，其中位于前述兩容置空間內(nèi)的第一上電極與第二上電極可以是與第一反射元件直接連接或間接連接。

另一方面，第二致動(dòng)元件160可包括對(duì)向設(shè)置(或稱對(duì)稱設(shè)置)的第三電極對(duì)161與第四電極對(duì)162。第三電極對(duì)161的第三上電極161a設(shè)置于第一翼部132上，且第三電極對(duì)161的第三下電極161b設(shè)置于基板110上。第四電極對(duì)162的第四上電極162a設(shè)置于第二翼部133上，且第四電極對(duì)162 的第四下電極162b設(shè)置于基板110上。換言之，第三電極對(duì)161與第四電極對(duì)162分別位于第一反射元件140的相對(duì)兩側(cè)。詳細(xì)而言，第一電極對(duì)151與第三電極對(duì)161分別位于其中兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的懸吊結(jié)構(gòu)122的相對(duì)兩側(cè)，且第三電極對(duì)152與第四電極對(duì)162分別位于另兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的懸吊結(jié)構(gòu)122的相對(duì)兩側(cè)。

由于第一反射元件140可通過(guò)彈性元件136、可撓性框架130、懸吊結(jié)構(gòu)122以及固定座121與位于基板110上的第一外部電極墊111a電連接，因此連接第一反射元件140的第一上電極151a與第二上電極152a會(huì)分別與第一外部電極墊111a電連接。此外，位于可撓性框架130上的第三上電極161a與第四上電極162a可通過(guò)可撓性框架130、懸吊結(jié)構(gòu)122以及固定座121與位于基板110上的第一外部電極墊111a電連接。換言之，第一上電極151a、第二上電極152a、第三上電極161a以及第四上電極162a都會(huì)與第一外部電極墊111a電連接，且第一外部電極墊111a例如是接地電極。另一方面，位于基板110上的第一下電極151b與第二下電極152b可分別通過(guò)基板110上的導(dǎo)電線路層(圖未示)與第二外部電極墊111b電連接，且位于基板110上的第三下電極161b與第四下電極162b可分別通過(guò)基板110上的導(dǎo)電線路層(圖未示)與第三外部電極墊111c電連接。如圖1所示，第二外部電極墊111b與第三外部電極墊111c都位于可撓性框架130之外，而未被可撓性框架130所環(huán)繞。

在本實(shí)施例中，可調(diào)式光學(xué)裝置100還包括第二反射元件170。第一反射元件140與第二反射元件170可包括布拉格反射鏡，其中第二反射元件170設(shè)置于基板110上，且與第一反射元件140相對(duì)應(yīng)。如圖2所示，第二反射元件170位于第一反射元件140的正下方(或稱第一反射元件140在基板110上的正投影與第二反射元件170相重疊)，且位于基板110上的第一電極對(duì)151與第二電極對(duì)152的電極例如是分別位于第二反射元件170的相對(duì)兩側(cè)。在其他實(shí)施例中，第一電極對(duì)與第二電極對(duì)的其中一電極可設(shè)置于第二反射元件上。

由于第一反射元件140與位于基板110上的第二反射元件170保持平行，且兩者之間具有第一間距D1(即第一反射元件140與基板110之間的初始間距減去第二反射元件170的厚度)，因此第一反射元件140與第二反射元件170可定義出法布里-珀羅共振腔。在光穿透第一反射元件140，以入射至法 布里-珀羅共振腔之后，光會(huì)在第一反射元件140與第二反射元件170之間來(lái)回反射振蕩。由于第一反射元件140與第二反射元件170之間具有第一間距D1，因此具有第一特定波長(zhǎng)的光會(huì)形成建設(shè)性干涉，其中形成建設(shè)性干涉的光(即具有第一特定波長(zhǎng)的光)會(huì)穿透第二反射元件170，以自法布里-珀羅共振腔射出。

圖3與圖4是圖2的可調(diào)式光學(xué)裝置的作動(dòng)示意圖。圖5是對(duì)應(yīng)圖4的可調(diào)式光學(xué)裝置的立體示意圖。請(qǐng)參考圖1至圖3，當(dāng)通過(guò)第一外部電極111a與第二外部電極墊111b施加偏壓于第一電極對(duì)151與第二電極對(duì)152時(shí)，位于第一反射元件140上的第一上電極151a與第二上電極152a在受到驅(qū)動(dòng)后會(huì)分別朝向位于基板110上的第一下電極151b與的第二下電極152b移動(dòng)，使得可撓性框架130的主體部131以及與可撓性框架130的主體部131相連接的彈性元件136產(chǎn)生彈性變形，以縮減第一反射元件140與基板110之間的間距。換言之，以這些懸吊結(jié)構(gòu)122為支點(diǎn)，第一反射元件140會(huì)移動(dòng)靠近基板110，以與第二反射元件170之間具有第二間距D2，而第一翼部132及第二翼部133未隨主體部131變形，且仍與基板110保持平行。由于彈性元件136的剛性例如是小于或等于可撓性框架130的主體部131的剛性，因此能釋放可撓性框架130的主體部131產(chǎn)生彈性變形時(shí)的應(yīng)力，以使通過(guò)彈性元件136與主體部131相連接的第一反射元件140仍可與第二反射元件170保持平行。

換言之，當(dāng)施加偏壓于第一電極對(duì)151與第二電極對(duì)152時(shí)，僅有第一反射元件140移動(dòng)靠近基板110，而與第二反射元件170之間具有小于第一間距D1的第二間距D2。在光穿透第一反射元件140，以入射至法布里-珀羅共振腔之后，光會(huì)在第一反射元件140與第二反射元件170之間來(lái)回反射振蕩。由于第一反射元件140與第二反射元件170之間具有第二間距D2，因此具有第二特定波長(zhǎng)的光會(huì)形成建設(shè)性干涉，其中形成建設(shè)性干涉的光(即具有第二特定波長(zhǎng)的光)會(huì)穿透第二反射元件170，以自法布里-珀羅共振腔出射。由于第二間距D2小于第一間距D1，因此第二特定波長(zhǎng)會(huì)小于第一特定波長(zhǎng)。

請(qǐng)參考圖1、圖4與圖5，當(dāng)通過(guò)第一外部電極墊111a與第三外部電極墊111c施加偏壓于第三電極對(duì)161與第四電極對(duì)162時(shí)，位于第一翼部132上的第三上電極161a在受到驅(qū)動(dòng)后會(huì)朝向位于基板110上的第三下電極 161b移動(dòng)，且位于第二翼部133上的第四上電極162a在受到驅(qū)動(dòng)后會(huì)朝向位于基板110上的第四下電極162b移動(dòng)，使得可撓性框架130的主體部131產(chǎn)生彎曲變形(bending)。以這些懸吊結(jié)構(gòu)122為支點(diǎn)，可撓性框架130的主體部131會(huì)帶動(dòng)第一反射元件140移動(dòng)遠(yuǎn)離基板110，而可撓性框架130的第一翼部132與第二翼部133會(huì)分別移動(dòng)靠近基板110。

由于彈性元件136在Z軸方向上的剛性例如是小于彈性元件136在X軸或Y軸方向上的剛性，因此能通過(guò)彈性元件136所產(chǎn)生的彈性變形來(lái)釋放可撓性框架130的主體部131產(chǎn)生彎曲變形時(shí)的扭矩應(yīng)力，以使通過(guò)彈性元件136與主體部131相連接的第一反射元件140仍可與第二反射元件170保持平行，而不會(huì)產(chǎn)生傾斜或形變。此時(shí)，第一反射元件140與第二反射元件170之間可具有大于第一間距D1的第三間距D3。在光穿透第一反射元件140，以入射至法布里-珀羅共振腔之后，光會(huì)在第一反射元件140與第二反射元件170之間來(lái)回反射振蕩。由于第一反射元件140與第二反射元件170之間具有第三間距D3，因此具有第三特定波長(zhǎng)的光會(huì)形成建設(shè)性干涉，其中形成建設(shè)性干涉的光(即具有第三特定波長(zhǎng)的光)會(huì)穿透第二反射元件170，以自法布里-珀羅共振腔出射。由第三間距D3大于第一間距D1，因此第三特定波長(zhǎng)會(huì)大于第一特定波長(zhǎng)。

簡(jiǎn)言之，通過(guò)施加偏壓于第一電極對(duì)151與第二電極對(duì)152或第三電極對(duì)161與第四電極對(duì)162能使可撓性框架130的至少部分產(chǎn)生彈性變形，藉以調(diào)整第一反射元件140與第二反射元件170之間的間距。由于前述間距的可調(diào)范圍(例如介于第二間距D2至第三間距D3之間)被擴(kuò)大，因此本實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置100能在符合微型化的設(shè)計(jì)需求下，同時(shí)實(shí)現(xiàn)寬波段(例如介于第二特定波長(zhǎng)至第三特定波長(zhǎng)之間)濾光。換句話說(shuō)，本實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置100可具有較寬的光譜掃描范圍。另一方面，在第一反射元件140移動(dòng)靠近或遠(yuǎn)離第二反射元件170的過(guò)程中，第一反射元件140始終與第二反射元件170保持平行。因此，本實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置100可具有良好的光譜分辨率。

需特別說(shuō)明的是，本發(fā)明用以驅(qū)使可撓性框架的至少部分及/或彈性元件產(chǎn)生彈性變形的致動(dòng)元件并不限定于對(duì)向設(shè)置的電極對(duì)。在其他實(shí)施例中，可采用熱致動(dòng)元件、壓電致動(dòng)元件或靜電致動(dòng)元件等，以驅(qū)使可撓性框架的至少部分及/或彈性元件產(chǎn)生彈性變形。舉例來(lái)說(shuō)，壓電制動(dòng)元件可設(shè)置于第 一反射元件上或可撓性框架的第一翼部與第二翼部上，以驅(qū)使可使撓性框架的至少部分及/或彈性元件沿Z軸方向產(chǎn)生彈性變形，進(jìn)而達(dá)成相同的制動(dòng)模態(tài)。

以下將列舉其他實(shí)施例以作為說(shuō)明。在此必須說(shuō)明的是，下述實(shí)施例沿用前述實(shí)施例的元件標(biāo)號(hào)與部分內(nèi)容，其中采用相同的標(biāo)號(hào)來(lái)表示相同或近似的元件，并且省略了相同技術(shù)內(nèi)容的說(shuō)明。關(guān)于省略部分的說(shuō)明可參考前述實(shí)施例，下述實(shí)施例不再重復(fù)贅述。

圖6是本發(fā)明另一實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置的俯視示意圖。請(qǐng)參考圖6，本實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置100A與上述實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置100大致相似，兩者的差異在于：可調(diào)式光學(xué)裝置100A的支持構(gòu)件120a的固定座121a例如是對(duì)應(yīng)于這些懸吊結(jié)構(gòu)122設(shè)置的四個(gè)島狀結(jié)構(gòu)。換言之，各個(gè)懸吊結(jié)構(gòu)122會(huì)與對(duì)應(yīng)的島狀結(jié)構(gòu)相連接。

圖7是本發(fā)明又一實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置的俯視示意圖。請(qǐng)參考圖7，本實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置100B與上述實(shí)施例的可調(diào)式光學(xué)裝置100大致相似，兩者的差異在于：可調(diào)式光學(xué)裝置100B的支持構(gòu)件120b的固定座121b例如是分設(shè)于可撓性框架130的相對(duì)兩側(cè)的兩個(gè)條狀結(jié)構(gòu)。換言之，位于可撓性框架130的同側(cè)的其中兩個(gè)懸吊結(jié)構(gòu)122會(huì)與對(duì)應(yīng)的條狀結(jié)構(gòu)相連接。在其他實(shí)施例中，支持構(gòu)件的固定座可以是島狀結(jié)構(gòu)與條狀結(jié)構(gòu)的組合，或其他適用的結(jié)構(gòu)。

綜上所述，本發(fā)明的可調(diào)式光學(xué)裝置可通過(guò)第一致動(dòng)元件或第二致動(dòng)元件驅(qū)使可撓性框架的至少部分及/或彈性元件產(chǎn)生彈性變形，以令位于可撓性框架上的第一反射元件移動(dòng)靠近或遠(yuǎn)離第二反射元件，從而擴(kuò)大第一反射元件與第二反射元件之間的間距的可調(diào)范圍。因此，本發(fā)明的可調(diào)式光學(xué)裝置能在符合微型化的設(shè)計(jì)需求下，同時(shí)實(shí)現(xiàn)寬波段濾光。換句話說(shuō)，本發(fā)明的可調(diào)式光學(xué)裝置具有較寬的光譜掃描范圍。

另一方面，在第一反射元件移動(dòng)靠近或遠(yuǎn)離第二反射元件的過(guò)程中，由于彈性元件在Z軸方向上的剛性例如是小于或等于可撓性框架的主體部的在Z軸方向上的剛性，因此能釋放可撓性框架的主體部產(chǎn)生彈性變形時(shí)的應(yīng)力時(shí)，以使通過(guò)彈性元件與主體部相連接的第一反射元件仍可與第二反射元件保持平行。據(jù)此，本發(fā)明的可調(diào)式光學(xué)裝置可具有良好的光譜分辨率。

雖然結(jié)合以上實(shí)施例公開(kāi)了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以附上的權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。