技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓目檢的顯微鏡，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括目鏡、物鏡、載物臺(tái)，所述目鏡與物鏡通過(guò)筒體連接，所述筒體通過(guò)支架與載物臺(tái)相連接，所述載物臺(tái)上安裝有底座，所述底座為可拆卸底座，所述底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中。本發(fā)明用于晶圓目檢的顯微鏡，通過(guò)在顯微鏡的載物臺(tái)上安裝有可拆卸的帶有平行卡槽的不銹鋼底座，含有框架的晶圓從載物臺(tái)右端平行插入底座上的卡槽中，不僅可以有效預(yù)防物鏡對(duì)晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動(dòng)作符合人體工學(xué)原理，操作簡(jiǎn)單、方便易行。

技術(shù)研發(fā)人員：沈順金
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽超元半導(dǎo)體有限公司
文檔號(hào)碼：201510697432
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.22
技術(shù)公布日：2017.03.22